由于集成電路技術和微機電系統(MEMS)技術的迅猛進步,非制冷紅外焦平面陣列探測器技術已經日臻成熟,并且相關產品也開始逐漸實現系列化。在學術界和產業界的共同推動下,非制冷紅外焦平面探測器技術的發展速度加快,探測器的靈敏度顯著提高,像元間距持續縮小,陣列規格也在不斷擴大。由于其低成本、小尺寸、低功耗易集成等優點,非制冷紅外成像技術已經在商業領域得到了廣泛的推廣和應用。
非制冷紅外焦平面陣列探測器的工作原理
非制冷紅外焦平面探測器是一種能在-40℃到+70℃溫度范圍下工作,將目標的紅外輻射轉換成電子視頻信號的成像傳感器。
非制冷紅外焦平面探測器是基于MEMS技術制造的微型傳感器,它由MEMS芯片、半導體制冷器、吸氣劑、窗口、管殼等部分組成。
紅外吸收層面可以高效地吸收外來的紅外輻射,引起溫度變化,從而改變熱敏薄膜的阻值,再將將微測輻射熱計陣列的電阻變化放大處理,轉換為視頻電信號并輸出。
非制冷紅外焦平面探測器的關鍵技術參數主要包括陣列規格、像元中心距、噪聲等效溫差(NETD)、工作幀頻、熱響應時間等。其中,陣列規格可以表征圖像的分辨率。像元中心距與光學系統共同決定了成像系統的空間分辨率。在非制冷紅外焦平面陣列探測器的發展中,像元中心距已經可以低至10微米。NETD是非制冷紅外焦平面陣列探測器最重要的性能指標,它決定了紅外探測器的靈敏度。工作幀頻和熱響應時間決定了運動目標圖像的延遲。
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