壓電納米位移臺的結構

壓電納米定位臺具有移動面，是通過帶有柔性鉸鏈的機械結構將壓電陶瓷產生的位移及出力等進行輸出，分直驅與放大兩種結構。以壓電陶瓷作為驅動源，結合柔性鉸鏈機構實現X軸、Z軸、XY軸、XZ軸、XYZ軸精密運動的壓電平臺，驅動形式包含壓電陶瓷直驅機構式、放大機構式。運動范圍可達500μm，具有體積小、無摩擦、響應速度快等特點，配置高精度傳感器，可實現納米級分辨率及定位精度且具有較高的可靠性，在精密定位領域中發揮著主要作用。

壓電納米定位臺的工作原理

納米位移臺主要采用超精密運動控制技術超精密技術是由光、機、電、控制軟件等多領域技術集成的運動控制技術。

內部由一個或多個壓電陶瓷作為驅動，其產生單軸或者多軸的運動；通過柔性鉸鏈技術將壓電陶瓷產生的運動傳遞和放大；經超精密電容傳感器將運動信息傳遞給控制系統，再由控制系統對該運動進行修正、補償和控制；在對運動系統進行閉環控制時，可實現納米、亞納米級別的運動分辨率和運動控制精度。

壓電納米定位臺的特點

壓電納米定位臺內部采用無摩擦柔性鉸鏈導向機構，一體化的結構設計。機構放大式驅動原理，內置高性能壓電陶瓷，可實現高精度位移，定位精度可達納米級。具有超高的導向精度，有高剛性、高負載、無摩擦等特點。

壓電納米位移臺典型應用

壓電納米定位臺憑借高穩定性、高分辨率等優良特性，廣泛應用于半導體設備、顯微成像、納米技術、激光與光學、航天航空、生物醫學、航天航空等領域。

01納米位移臺應用于計量型掃描電鏡系統

02納米位移臺應用于超高分辨掃描系統

03納米位移臺在納米探針上的應用

04納米位移臺在微加工系統上的應用

05納米位移臺在激光直寫上的應用

06納米位移臺在生物醫學上的應用癌癥診斷掃描儀

第四代基因測序

三英精控相關產品

三英精控近年來從解耦控制、反饋控制、前饋控制、協同控制等多個方面深耕超精密運動臺控制相關研究，并不斷進步持續獲得進展和突破。

三英精控高精度運動控制平臺定位精度已達到納米級，性能穩定。

NS-X700-01超大行程X軸納米定位臺

典型應用：顯微成像、光學對準 、光柵刻寫、半導體加工 、生物材料分析

NS-Z8-01微型Z軸納米定位臺

典型應用：半導體、表面檢測 、光學探針、AFM/SPM/SNOM 、高密度存儲

NS-Z700-01超大行程Z軸物鏡定位臺

典型應用：晶圓切割、顯微成像 、微電子精密加工、物鏡調焦及掃描、可定制不同的物鏡接口

NS-XY100-02真空吸盤XY二維納米定位臺

典型應用：表面檢測、顯微成像、激光技術、半導體加工與測試 、高密度光存儲與磁存儲

NS-XY200-02大負載XY二維納米定位臺

典型應用：激光加工、顯微成像、表面分析 、光學對準、光學測量

NS-XY400-01超大行程XY二維納米定位臺

典型應用：激光加工、顯微成像、表面分析 、光學對準、光學測量

NS-XY20Z5-01AFM專用XYZ三維納米掃描臺

典型應用：AFM/SPM/SFM 、光學探針、表面檢測 、半導體加工、高密度存儲

NS-XY25Z20-01超緊湊型XYZ三維納米定位臺

典型應用：AFM/SPM/SNOM、表面檢測、光學探針、高密度存儲、半導體加工

NS-XY400Z100-01超大行程XYZ三維納米定位臺

典型應用：顯微成像、激光加工 、半導體檢測、超分辨率成像、大樣品AFM/SPM/SNOM

為了貼合不同領域的應用需求，三英精控還可以根據不同需求來進行定制，具有極高的靈活性，操作簡便，滿足不同應用場合。更多產品信息，請持續關注三英精控微信公眾平臺或來電咨詢。

審核編輯 黃宇