激光驅動白光光源(Laser Driven Light Source),簡稱LDLS,是一款利用高能聚焦激光束來驅動氙等離子體的超高亮寬光譜光源。該系列產品不僅可以在170 nm至2100 nm的光譜范圍內提供超高發光亮度,比如在DUV的亮度就是傳統光源如氙燈的10倍以上,而且整個光源的發光壽命相比較于傳統光源也高出了整整一個數量級(>9000 h)。
該系列產品可廣泛應用于:
? 紫外-可見光光譜分析
? 單色儀光源
? 薄膜檢測
? 濾光片/光學元件測試
? 原子吸收光譜
? 材料特征檢測
? 環境分析
? 高光譜成像
? 氣相分析測量
? 光學傳感器檢測
? 生命科學與生物成像
LDLS原理介紹
傳統光源都是采用電致發光原理,電極材料會在使用中逐漸蒸發甚至損壞,在亮度、穩定性、UV波長覆蓋、壽命上都有很大的限制。LDLS大有不同,其采用非電極加熱結構。
▲LDLS工作原理
非電極加熱結構在點燈后,電極不再持續加熱為氙等離子體供能,而采用外置的1000 nm左右波長的激光匯聚到光源燈室中被激發的氙等離子體的方法維持其高溫發光狀態。
LDLS光源因為發光的氙等離子體被壓縮于激光焦點處,所以發射點與氙燈相比非常小。這提供了許多好處,例如更容易聚焦成一個對稱性好且尺寸極小的光斑、更容易濾除雜散光從而提高光的利用率等。LDLS 可以形成具有比氙燈更小的發散角的理想準直光,小的發散角非常有利于將光有效地聚焦或耦合到更精細的光路中。
激光產生的高溫等離子體發出幾乎平坦的光譜,從紫外到近紅外區域,亮度比氙燈高得多。
LDLS產品系列
根據使用環境和輸出功率的不同需求,可以選擇不同型號的LDLS光源進行匹配。其中,LDLS光源提供自由空間輸出或光纖耦合輸出的EQ-99系列、自由空間輸出的緊湊型EQ-9系列、高亮度自由空間輸出的EQ-77系列、高功率應用的超高亮度EQ-400系列。
此外,基于LDLS光源,濱松還開發了高亮度可調諧光源LDTLS系列,以及2022年還發布了可以精準控制輸出光譜分布的CES光源(Chromatiq Spectral Engine)點擊【新品】CSE光源,完美復刻真實世界中每一種光譜可了解該產品。
LDLS優勢性能
LDLS產品系列的優勢性能正如前面所介紹的一共有4點:高亮度、寬光譜分布、長壽命和高穩定性。
高亮度
? LDLS光源是高亮度光源,所謂的高亮度光源是指光源被壓縮成一個極小的點,擁有極高的功率密度;
? LDLS光源作為一種高亮度光源,適用于成像應用和測量諸如微芯片,生物細胞等精密測量樣本的應用;
? LDLS使用的是百微米量級超強點光源;
? 超小光點成像(<1 mm)變得更容易;
? LDLS光源更容易耦合進光纖、光譜儀等各種光學設備中;
寬光譜分布
? LDLS光譜分布涵蓋了深紫外—可見光—近紅外的光譜范圍;
? 光譜分布平坦;
? 提供了傳統光源無法比擬的深紫外波段光譜強度(>10X);
▲EQ-99X和鹵鎢燈光譜分布對比
▲LDLS系列光源光譜強度分布和傳統光源對比
長壽命
? 具有超長燈室壽命,超9000小時典型時長(低耗材成本);
? 校準時間間隔更長,與傳統光源(氙燈、氘燈、鹵鎢燈)相比漂移更低;
高穩定性
? 以每秒200幀的速度收集和存儲2500張圖像 ;
? 使用ImageJ(圖像分析軟件)計算每張圖像的質心;
? 發光等離子體質心位置標準差: 水平方向:0.145 μm;垂直方向:0.094 μm;
審核編輯 黃宇
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