色哟哟视频在线观看-色哟哟视频在线-色哟哟欧美15最新在线-色哟哟免费在线观看-国产l精品国产亚洲区在线观看-国产l精品国产亚洲区久久

0
  • 聊天消息
  • 系統消息
  • 評論與回復
登錄后你可以
  • 下載海量資料
  • 學習在線課程
  • 觀看技術視頻
  • 寫文章/發帖/加入社區
會員中心
創作中心

完善資料讓更多小伙伴認識你,還能領取20積分哦,立即完善>

3天內不再提示

HTR-4立式4寸快速退火爐(芯片熱處理設備)

謝偉華 ? 來源:east001 ? 作者:east001 ? 2023-08-16 18:24 ? 次閱讀

HTR-4立式4寸快速退火爐

wKgZomTS7HeAJOi5AAAezdH3hSI757.jpg

HTR-4立式4寸快速退火爐(芯片熱處理設備)廣泛應用在IC晶圓、LED晶圓、MEMS、化合物半導體和功率器件等多種芯片產品的生產,和歐姆接觸快速合金、離子注入退火、氧化物生長、消除應力和致密化等工藝當中,通過快速熱處理以改善晶體結構和光電性能,技術指標高、工藝復雜、專用性強。

主要應用領域:

1.快速熱處理(RTP),快速退火(RTA),快速熱氧化(RTO),快速熱氮化(RTN);

2.離子注入/接觸退火;

3.金屬合金;

4.熱氧化處理;

5.化合物合金(砷化鎵、氮化物等);

6.多晶硅退火;

7.太陽能電池片退火;

8.高溫退火;

9.高溫擴散。

產品特點:

·可測大尺寸樣品:可測單晶片樣品的尺寸為4英寸。

·壓力控制系統創新設計:高精度控制壓力,以滿足不同的工藝要求。

·存儲熱處理工藝:方便工藝參數調取,提高實驗效率,數據可查詢。

·快速控溫與高真空:最高升溫速率可達150℃/s,真空度最高可達到10-5Pa。

·程序設定與氣路擴展:可實現不同溫度段的精確控制,進行降溫段的自動轉接,并能夠對工藝菜單進行保存,方便調用。采用MFC精確控制氣體流量,實現不同氣氛環境(真空、氮氣等)下的熱處理。

·獨特的腔體空間設計:保證大尺寸樣品的溫場均勻性 ≤1%。

·全自動智能控制:采用全自動智能控制,包括溫度、時間、氣體流量、真空、冷卻水等均可實現自動控制。

·超高安全系數:采用爐門安全溫度開啟保護、溫控器開啟權限保護以及設備急停安全保護三重安全措施,全方位保障設備使用安全。

·

·主要技術參數:

最大樣品尺寸 4英寸(直徑100mm)
控溫范圍 RT~1200℃
升溫速率(max) 150℃/s
高溫段降溫速率(max) 1200℃/min
控溫精度 ±0.5℃
溫場均勻性 ≤1%
氣體流量 標配1路MFC控制(氮氣)可擴展至4路
壓力控制 ~1bar,±100Pa
工藝條件 支持真空、氧化、還原、惰性氣體等工藝氣氛,一鍵設置通過軟件控制真空及通氣時間




審核編輯 黃宇

·

聲明:本文內容及配圖由入駐作者撰寫或者入駐合作網站授權轉載。文章觀點僅代表作者本人,不代表電子發燒友網立場。文章及其配圖僅供工程師學習之用,如有內容侵權或者其他違規問題,請聯系本站處理。 舉報投訴
  • 芯片
    +關注

    關注

    455

    文章

    50719

    瀏覽量

    423164
  • 晶圓
    +關注

    關注

    52

    文章

    4890

    瀏覽量

    127934
  • 退火爐
    +關注

    關注

    0

    文章

    2

    瀏覽量

    1064
收藏 人收藏

    評論

    相關推薦

    真空退火爐物聯網解決方案

    真空退火爐主要用于各類合金材料的熱處理過程,處理后的產品具備表面光潔、不氧化、不脫碳。具有生產效率高、能耗低、污染少等優勢,其核心工作原理涉及真空環境、加熱機制、溫度控制以及冷卻系統等多個方面
    的頭像 發表于 10-15 17:22 ?170次閱讀
    真空<b class='flag-5'>退火爐</b>物聯網解決方案

    TC wafer 快速退火爐溫場均勻性校準 熱電偶校準儀

    精確測量和校準,以確保爐內溫度均勻性和準確性。 快速退火爐通常用于半導體制造過程中的退火處理,而溫場均勻性對于保證半導體器件的質量和性能至關重要。因此,使用TC wafer校準儀進行
    的頭像 發表于 05-21 15:22 ?1444次閱讀
    TC wafer <b class='flag-5'>快速</b><b class='flag-5'>退火爐</b>溫場均勻性校準 熱電偶校準儀

    紅外熱像技術在退火爐的應用

    退火爐是冷軋鋼產品生產工序中的一個重要設備,影響著冷軋鋼生產的生產成本和產品質量。但你知道嗎?這樣的設備也會"生病",那就是爐襯在使用過程中容易被燒壞。那么我們該如何發現這一
    的頭像 發表于 04-18 18:04 ?260次閱讀
    紅外熱像技術在<b class='flag-5'>退火爐</b>的應用

    退火爐 不銹鋼退火爐 網帶釬焊爐 光亮退火爐

    工控退火爐
    jf_23850907
    發布于 :2024年01月17日 16:33:30

    退火爐鈦合金絲退火爐銅包鋼絲退火爐

    工控退火爐
    jf_23850907
    發布于 :2024年01月17日 16:32:40

    爐 鐵絲連續退火爐 鋼絲連續退火爐 鍍鋅絲連續退火爐

    工控退火爐
    jf_23850907
    發布于 :2024年01月17日 16:31:30

    #托輥爐 #黃銅管退火爐# 輥軸爐# 連續退火爐

    工控退火爐
    jf_23850907
    發布于 :2024年01月17日 16:26:41

    多管退火爐 不銹鋼絲光亮退火爐

    工控退火爐
    jf_23850907
    發布于 :2024年01月17日 16:19:24

    鐵芯退火爐 硅鋼片退火爐 臥式真空退火爐 磁性材料退火爐

    退火爐
    jf_23850907
    發布于 :2024年01月17日 16:16:13

    橫磁爐 非晶退火爐 微晶真空退火爐 納米晶合金退火爐

    退火爐
    jf_23850907
    發布于 :2024年01月17日 16:11:53

    #銅箔光亮退火爐 #銅帶連續退火爐 #銅材退火爐

    工控退火爐
    jf_23850907
    發布于 :2024年01月17日 16:04:04

    #不銹鋼管退火爐# 鋼帶爐# 氫氣保護光亮退火爐#連續退火爐

    工控退火爐
    jf_23850907
    發布于 :2024年01月17日 15:27:47

    # 臺車爐# 真空退火爐# 銅材光亮退火爐# 紫銅管退火爐# 銅排光亮退火爐

    工控退火爐
    jf_23850907
    發布于 :2024年01月17日 15:26:24

    # 鋼管退火爐# 輥底爐# 輥軸爐# 鋼管光亮退火爐# 連續退火爐

    工控退火爐
    jf_23850907
    發布于 :2024年01月17日 15:21:08

    不銹鋼波紋管退火爐 氨分解氣體保護光亮退火爐#plc

    工控退火爐
    jf_23850907
    發布于 :2024年01月17日 15:15:17
    主站蜘蛛池模板: 久久精品男人影院| 用震蛋调教女性下面视频| 涩涩免费视频软件| 日本50人群体交乱| 色噜噜狠狠色综合中文字幕| 日日撸影院在线| 无码射肉在线播放视频| 亚洲成人免费在线| 最近中文字幕高清中文| 6080yy 久久 亚洲 日本| caoporen超碰在线视频| 成人中文字幕在线| 黑人BBCVIDEOS极品| 老头狠狠挺进小莹体内视频| 欧美一区二区三区播放| 无码99久热只有精品视频在线| 亚洲欧美高清在线| 在线色av| 丰满的女朋友韩国版在线观看| 国产亚洲精品影视在线| 欧美 亚洲 日韩 中文2019| 丝袜诱惑qvod| 99精品久久| 国内精品乱码卡一卡2卡三卡| 男女一边摸一边做羞羞的事情免费| 色人阁久久| 99久久免费国产精精品| 国产综合无码一区二区色蜜蜜| 欧美gv明星| 伊人久久中文| 国产人妻午夜无码AV天堂| 麻花豆传媒剧国产免费mv观看| 亚洲AV无码一区二区色情蜜芽| 69国产精品成人无码视频| 国产在线精彩亚洲| 日韩精品专区在线影院重磅| 18未满不能进的福利社| 国产在线观看不卡| 乌克兰成人性色生活片| 成年视频xxxxxx在线| 欧美肥胖女人bbwbbw视频|