上海伯東某客戶是日本半導體設備廠精密零件供應商, 生產的鐳射焊接電磁閥用于半導體設備上, 由于半導體工業上用的氣體如矽烷 SiH4, 氨氣 NH3 等等都是有毒或有腐蝕性的氣體, 所以對所用的閥及相關部件, 漏率要求非常嚴格, 要求電磁閥成品最終漏率低于 5-10 mbar l / s, 經過伯東推薦采用氦質譜檢漏儀 ASM 340 完成電磁閥閥芯的泄漏檢測.

電磁閥閥芯需要檢漏
客戶生產的電磁閥閥芯, 經過鐳射焊接后, 懷疑焊縫存在微小的泄漏, 單個閥芯最終漏率需要低于 5-10 mbar l / s.

電磁閥閥芯檢漏方法
來料先用放大鏡目視檢測, 閥芯鐳射焊接完成后再目視檢測, 最后用氦質譜檢漏儀檢漏, 漏率值以檢漏儀檢測的數據作為標準.
一共有5個型號, 月產量 2000-3000 個.

電磁閥閥芯檢漏操作說明
1. 先將閥接入工裝, 形成一個密閉的腔體. 再將檢漏儀連接到工裝上.
2. 啟動氦質譜檢漏儀, 真空模式下,設置漏率值 5-10 mbar l / s, 檢漏儀開始抽取密閉腔體中的氣體, 同時顯示一個漏率值.
3. 在電磁閥鐳射焊縫和懷疑有漏的地方噴氦氣, 同時觀察檢漏儀上顯示的漏率值有無變化.
4. 如果漏率值上升, 說明噴氦氣的地方有漏, 該被檢對象品質不合格. 如果漏率值能達到要求, 該被檢物件合格, 檢漏檢測完成.

結合了 Pfeiffer 與 Adixen 兩家檢漏儀的技術優勢, 上海伯東德國 Pfeiffer 推出全系列新型號氦質譜檢漏儀, 從便攜式檢漏儀到工作臺式檢漏儀滿足各種不同的應用. 氦質譜檢漏儀替代傳統泡沫檢漏和壓差檢漏, 利用氦氣作為示蹤氣體可精確定位, 定量漏點. 氦質譜檢漏儀滿足單機檢漏, 也可集成在檢漏系統或 PLC.

鑒于客戶信息保密, 若您需要進一步的了解電磁閥檢漏, 請聯絡上海伯東葉女士