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基于MIM光機械系統的超聲波探測

MEMS ? 來源:MEMS ? 2023-08-29 09:12 ? 次閱讀
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光學腔對于提高分子吸收光譜的靈敏度至關重要,分子吸收光譜在高靈敏度氣體傳感中有著廣泛的應用。然而,高精細度腔的使用會限制操作波長范圍,從而阻礙更廣泛的應用。

據麥姆斯咨詢報道,近日,華東師范大學精密光譜科學與技術國家重點實驗室的科研團隊在Nature Communications期刊上發表了以“Dual-comb optomechanical spectroscopy”為主題的論文。Shuo Li和Jin Pan為該論文的共同第一作者,通訊作者為閆明研究員、盛繼騰研究員、武海斌教授和曾和平教授。

這項研究展示了將雙梳光譜學(DCS)與腔光力學相結合的超靈敏多路復用光譜。在雙梳激勵下,將多路復用分子吸收光譜下轉換為外差超聲信號,再轉換為機械諧振器的振動。中間膜(MIM)腔光機械系統以高位移靈敏度實時探測機械諧振器的振動。這種雙梳光機械光譜(DCOS)憑借其優異的靈敏度以及在光譜帶寬、分辨率和采集速度等方面的優勢,在氣體傳感應用領域具有廣闊的前景。

圖1闡述了DCOS的原理,主要包括兩個部分:(1)利用雙梳作為激發光產生超聲波;(2)基于MIM光機械系統的超聲波探測。圖2a為該實驗設置,包括雙梳源和用于超聲波探測的MIM系統。

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圖1 雙梳光機械光譜學(DCOS)

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圖2 實驗設置及結果

為了獲得光譜信息,研究人員對持續2秒的時域軌跡進行傅里葉變換,該時域軌跡包含40個干涉圖,結果如圖3所示。

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圖3 傅里葉變換的DCOS

為了探究DCOS的靈敏度,研究人員在室溫和一個大氣壓(~ 10? Pa)下使用含有1ppm C2H2的N2標準氣體混合物。研究人員首先通過比較帶有光機械腔與不含光機械腔記錄的光聲(PA)光譜來證實探測增強效果。在MIM系統的幫助下,該實驗獲得了約兩個數量級的超聲探測增強。

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圖4 超靈敏探測實驗結果

綜上所述,該研究闡述了DCOS方法,該方法在不使用諧振腔(或等效裝置)來增強分子吸收情況下可提供ppb級靈敏度,并且避免了在波長、鏡面涂層、物理尺寸等方面的限制。該方法利用光學梳有望實現覆蓋全光譜范圍的光譜測量(即從紫外波段到太赫茲波段)。而寬響應帶寬(?10 dB下340 kHz)是該系統的另一項優勢,這有利于實時的多路復用光譜測量。該方法將DCS與腔光力學兩種革命性的技術相結合,有望用于光譜測量,并且具有寬光譜、高分辨率、短測量時間以及最重要的超高探測靈敏度等特性。將這些特性集成到光聲傳感平臺上,將為具備選擇性和靈敏度的光譜氣體傳感及其應用(如痕量檢測、多氣體監測等)帶來了新的發展機遇。

審核編輯:彭菁

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原文標題:雙梳光機械光譜(DCOS)助力高靈敏度氣體傳感

文章出處:【微信號:MEMSensor,微信公眾號:MEMS】歡迎添加關注!文章轉載請注明出處。

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