2023年9月，杭州朗迅科技股份有限公司正式發布晶圓制造虛擬仿真實訓系統。系統采用虛擬仿真和虛擬現實技術，按8英寸晶圓真實FAB線環境的要求，對車間環境、真實設備、工藝流程等進行高度模擬仿真，主要包括單晶硅生長、硅襯底制備、氧化、光刻、刻蝕、離子注入、化學氣相淀積（CVD）、物理氣相淀積（PVD）、化學機械拋光（CMP）等9大工序。系統采用3D沉浸式互動方式讓學生體驗和參與整體工藝、參數設置等技術流程，進而掌握集成電路制造工藝的基本原理、設備認識、工藝實訓以及參數設置等技術技能。

作為國內知名的集成電路測試專業化服務企業和典型的集成電路產教融合型企業，朗迅科技堅持秉持建設世界一流的集成電路測試基地、以先進技術、創新模式持續賦能“中國芯” 愿景，專注于集成電路產業生態建設與服務、產教融合與人才培養，助力國家集成電路產業實現高水平科技自立自強。

今年3月，朗迅科技的虛擬仿真研發團隊針對國內近100所高等院校集成電路相關專業課程的開設情況和教學模式開展了為期一個月的深入調研和訪談。4月初，我司正式啟動了晶圓制造虛擬仿真實訓系統的開發工作，以針對性解決實訓教學過程中“高投入、高難度、高風險，難實施、難觀摩、難再現”等痛點和難點問題，有效實現人才培養的信息化、智能化和現代化。

晶圓制造虛擬仿真實訓系統是對全鏈路虛擬仿真實訓系統的進一步完善，可以有效地鏈接封裝實訓系統和測試實訓系統，最終實現集成電路實訓操作的完整閉環。同時，有意向的院?？梢耘c我司聯系進行產品體驗與試用！

一、實訓系統的五大特色

1采用3D建模高度還原晶圓制造車間原貌及制造工藝全流程，讓學生身臨其境地“邊體驗邊學習”晶圓制造工藝和技能。

2新增微觀原理動畫和原理講解，將抽象的理論知識具象化，幫助學生理解制造工序過程中芯片內部發生的系列反應。

3復雜運行流程可視化。模擬晶圓制造設備內部真實的運行過程，學生可更直觀地看到設備內部運行情況。（下圖為離子注入設備內部的反應動畫）

4實訓中各大小步驟可自由切換，方便教師隨時調取所需內容用于課堂重點解析，同時學生也可從中間任意環節開啟實訓，一改傳統流程工藝“不可返回、從頭開始”的不良體驗。

5設備介紹視頻板塊全新升級，增加設備內部運行原理和設備結構動畫。

二、實訓系統的應用場景

1助力課堂教學，支持專業課程開展

通過虛擬現實這種新穎、互動的新型教學模式，將虛擬現實技術與院校重點專業相結合，改革傳統實驗操作模式；同時將過去設備昂貴、實驗代價較高的操作實訓課，轉入虛擬空間，讓學生輕松安全地完成實訓學習。

2賦能學生&教師技能競賽比拼

朗迅晶圓制造虛擬仿真實訓系統，“始于顏值，樂于體驗，終于內容”，開啟實訓教學新模式，強化課堂教學及實踐效果，可有效助力學生及教師技能提升與比拼。

3推動虛擬仿真實訓基地建設

朗迅集成電路封裝虛擬仿真實訓系統和測試虛擬仿真實訓系統，此前已成功助力多所院校申報國家級、省級虛擬仿真實訓基地。通過實訓基地大大加強實訓課程設計的專業性和兼容性，完善與虛擬仿真相適應的實訓教學課程體系，整合實訓教學內容，研究開發實訓教學資源，打造高水平教學團隊，優化人才培養方案和實訓方式。

三、豐富的配套教學資源&服務

1系統優質的教學課件和微課資源

幫助教師節約備課時間，轉而將更多地時間投入到如何更高效地開展教學工作、促進人才培養的教學法當中。

2全面深化知識點的實訓指導書

相較于封裝和測試實訓指導書，該書內容更加豐富和完善：不僅提供了實訓系統操作的指導教程，還針對不同的工序，增加了知識背景、原理講解、設備運行原理等內容，使學生真正做到知其然且知其所以然。

3全面系統的師資培訓

對于初建專業或者系統使用方式不清晰的院校，我司可免費安排專業的師資培訓以及實訓系統使用的相關培訓。

朗迅科技匯聚其產業和教育的多方資源和力量，提供專業的虛擬現實教育資源與服務—還原真實場景，構建教學環境，延展實訓教學時間和空間，拓展實訓教學內容廣度和深度、提升實訓教學質量和水平，有效構建職業能力和職業素質有機結合的教學實訓體系。

朗迅充分利用VR/AR等新型技術，助力學校優秀專業群建設，共探以集成電路為核心的虛擬仿真課程資源體系和創新型人才培養模式。依托高度還原的集成電路全產業鏈虛擬仿真實訓系統系列產品（含制造、封裝和測試等），創設沉浸式教學環境，加強實訓及考核，讓學生學到最新的技術和操作技能，真切融入集成電路產業工作崗位，為學生走向社會打下堅實的基礎。