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翼菲晶圓搬運(yùn)機(jī)器人勇立潮頭—助力半導(dǎo)體晶圓智造

機(jī)器人在線訂閱號(hào) ? 來源:機(jī)器人在線訂閱號(hào) ? 2023-09-08 16:57 ? 次閱讀

近兩年,美國政府針對(duì)中國電子半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展,出臺(tái)了一系列的限制打壓政策,對(duì)于這些不斷升級(jí)的舉措,中國產(chǎn)業(yè)界,以及政府相關(guān)部門也在持續(xù)研究,想辦法應(yīng)對(duì),且開始逐步適應(yīng)這種非正常狀態(tài)。

面對(duì)美國的限制政策,中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈各環(huán)節(jié)都在探尋解決方法,以便使相關(guān)芯片產(chǎn)線,以及下游的電子設(shè)備系統(tǒng)“有米下鍋”。其中,最為重要的兩個(gè)環(huán)節(jié)是芯片設(shè)計(jì)和半導(dǎo)體設(shè)備,只要能在這兩方面快速提升,就可以很好地緩解美國禁售政策所形成的壓力。

但就我們關(guān)注的半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域,本土半導(dǎo)體設(shè)備廠商在涂膠顯影、刻蝕、離子注入、薄膜沉積、CMP(化學(xué)機(jī)械拋光)、清洗等關(guān)鍵設(shè)備方面加大、加強(qiáng)、加快研發(fā)投入,并取得了明顯成績,為本土晶圓廠解決燃眉之急提供著助力。從今年的SEMICON CHINA的展會(huì)中也可窺到端倪,國產(chǎn)設(shè)備廠商如雨后春筍般蓬勃發(fā)展。

半導(dǎo)體晶圓制造工藝流程包括晶圓加工-氧化-光刻-刻蝕-薄膜沉積-互連-測(cè)試-封裝,那么這些流程需要各類清洗設(shè)備、勻膠顯影設(shè)備、***、刻蝕設(shè)備、薄膜沉積設(shè)備、劃片機(jī)、測(cè)試機(jī)等等,這些流程不斷重復(fù)加工,直到最終完成成品,在這個(gè)重復(fù)的過程中各個(gè)工藝流程各個(gè)設(shè)備之間對(duì)晶圓片運(yùn)輸?shù)母咝屎蜐崈舫潭扔蟹浅8叩囊螅苯佑绊懗善返钠焚|(zhì)。

工欲善其事,必先利其器。翼菲科技全系列Lobster晶圓搬運(yùn)機(jī)器人,可助力半導(dǎo)體和泛半導(dǎo)體相關(guān)行業(yè)的工藝設(shè)備廠商,快速形成產(chǎn)能、降低成本和提升效率,賦予您強(qiáng)大的競(jìng)爭力。

l高中低檔次配置,靈活的搭配組合

翼菲Lobster晶圓搬運(yùn)機(jī)器人,采用平臺(tái)化設(shè)計(jì)開發(fā),滿足潔凈度ISO Class 1 @0.1um。按驅(qū)動(dòng)方式可分為具有直驅(qū)電機(jī)版本(高精度/高動(dòng)態(tài)響應(yīng)/主動(dòng)防撞)、伺服電機(jī)版本(行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)版本)和步進(jìn)電機(jī)版本(高性價(jià)比之選),從而滿足涵蓋前道和后道的多種工藝單元的應(yīng)用需求。

同時(shí),所有機(jī)器人的手臂和基座可以互換,面對(duì)某些工藝修改和增容的要求,可單獨(dú)訂購手臂和基座,快速完成適配。

l豐富的配置

手臂支持單臂、雙臂的配置,同時(shí)我們也可以提供樣式豐富的末端執(zhí)行器,包括真空吸附式、邊框夾持式、邊緣夾持式、翻轉(zhuǎn)式、疊層式和伯努利吸盤式等。

機(jī)器人可選裝多種Mapping傳感器和橫移軸,形成不同的組合形式

l極致節(jié)省空間

機(jī)器人有220框和260框兩種省空間的基座配置,并且支持控制箱內(nèi)置的版本。

l支持客制化定制

支持客制化定制和改造,以滿足客戶的個(gè)性化需求。

從目前的情況來看,半導(dǎo)體制裁的整體狀況還不樂觀,有些措施和辦法只是權(quán)宜之計(jì),“三板斧”過后,要想實(shí)現(xiàn)更大程度的“芯片自由”,還有很長的路要走,需要付出更多的心血,且要耐得住寂寞,肯坐冷板凳,潛心研究。翼菲科技也將和行業(yè)內(nèi)的客戶和合作伙伴一起,精誠團(tuán)結(jié),砥礪前行,形成更強(qiáng)的合力,為祖國獨(dú)立自主的半導(dǎo)體事業(yè)開創(chuàng)貢獻(xiàn)力量。

聲明:本文內(nèi)容及配圖由入駐作者撰寫或者入駐合作網(wǎng)站授權(quán)轉(zhuǎn)載。文章觀點(diǎn)僅代表作者本人,不代表電子發(fā)燒友網(wǎng)立場(chǎng)。文章及其配圖僅供工程師學(xué)習(xí)之用,如有內(nèi)容侵權(quán)或者其他違規(guī)問題,請(qǐng)聯(lián)系本站處理。 舉報(bào)投訴
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原文標(biāo)題:翼菲晶圓搬運(yùn)機(jī)器人勇立潮頭—助力半導(dǎo)體晶圓智造

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