為了保障鈣鈦礦太陽(yáng)能電池的性能與質(zhì)量，電池廠商往往都會(huì)關(guān)注其沉積薄膜的各種參數(shù)信息，從而采取有效的方式進(jìn)行薄膜優(yōu)化，提升鈣鈦礦太陽(yáng)能電池的性能。「美能光伏」擁有的美能探針式臺(tái)階儀，憑借其出色和強(qiáng)大的數(shù)據(jù)處理功能，并使用不同位置的多點(diǎn)自動(dòng)測(cè)量確認(rèn)ITO薄膜等各種類型薄膜的高度、薄膜應(yīng)力等一系列參數(shù)信息，通過(guò)這些參數(shù)信息的反饋，更好的幫助電池廠商進(jìn)行太陽(yáng)能電池性能的提升！本期「美能光伏」將給您介紹美能探針式臺(tái)階儀出色和強(qiáng)大的數(shù)據(jù)處理功能！

美能探針式臺(tái)階儀

美能探針式臺(tái)階儀是一款先進(jìn)的微納測(cè)量?jī)x器，采用了出色的儀器系統(tǒng)構(gòu)造和最優(yōu)化的測(cè)量及數(shù)據(jù)處理軟件，從而實(shí)現(xiàn)可靠、高效、簡(jiǎn)易以及完善的樣品測(cè)量。相對(duì)于傳統(tǒng)表面形貌測(cè)量，美能探針式臺(tái)階儀采用的接觸式表面形貌測(cè)量是一個(gè)突破性的發(fā)展，其接觸力最小可達(dá)1mg，且對(duì)襯底材料沒(méi)有什么特別的要求，具有充分的采樣靈活性。

● 配備500W像素高分辨率彩色攝像機(jī)

● 臺(tái)階高度重復(fù)性1nm

● 超高直線度導(dǎo)軌、反應(yīng)樣品微小形貌

● 亞埃級(jí)分辨率、13μm量程下可達(dá)0.01埃

● 高低噪比與低線性誤差

薄膜粗糙度、波紋度

高效測(cè)量

在測(cè)量鈣鈦礦太陽(yáng)能電池的沉積薄膜方面，美能探針式臺(tái)階儀可通過(guò)2D/3D紋理，量化薄膜的粗糙度以及波紋度，并運(yùn)用出色的數(shù)據(jù)處理軟件中的軟件過(guò)濾功能將測(cè)量值分離為粗糙度和波紋度的部分，從而計(jì)算出諸如均方根（RMS）粗糙度等20余項(xiàng)粗糙度參數(shù)。

薄膜粗糙度示意圖

與傳統(tǒng)的薄膜測(cè)量方式不同，美能探針式臺(tái)階儀可測(cè)量薄膜表面的2D/3D形狀或翹曲，包括對(duì)晶圓翹曲的測(cè)量。通過(guò)對(duì)這些角度的針對(duì)性測(cè)量，生成實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)于電腦軟件，清晰客觀的給予電池廠商準(zhǔn)確的測(cè)量結(jié)果。

薄膜應(yīng)力

針對(duì)樣品精密計(jì)算

由于在產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)過(guò)程中，太陽(yáng)能電池的薄膜沉積工藝經(jīng)常會(huì)出現(xiàn)薄膜應(yīng)力，薄膜應(yīng)力是指沿截面厚度均勻分布的應(yīng)力成分，它等于沿所考慮截面厚度的應(yīng)力平均值，薄膜應(yīng)力會(huì)對(duì)薄膜的機(jī)械性能產(chǎn)生較大的影響，嚴(yán)重時(shí)還會(huì)使薄膜發(fā)生變形，大大影響到了測(cè)量效率與測(cè)量結(jié)果。

薄膜沉積的形狀變化示意圖

為了對(duì)薄膜應(yīng)力的具體情況進(jìn)行深度剖析，「美能光伏」憑借自身豐富的檢測(cè)經(jīng)驗(yàn)，生產(chǎn)了具有全新探針式表面輪廓測(cè)量技術(shù)的美能探針式臺(tái)階儀，該設(shè)備能夠測(cè)量在產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)中包括多個(gè)工藝層的薄膜沉積后的鈣鈦礦太陽(yáng)能電池的薄膜應(yīng)力，并使用應(yīng)力卡盤樣品支撐在中性位置精確測(cè)量樣品翹曲。然后通過(guò)應(yīng)用Stoney方程，利用諸如薄膜沉積工藝的形狀變化來(lái)計(jì)算應(yīng)力。

「美能光伏」憑借在光伏檢測(cè)行業(yè)獨(dú)特的檢測(cè)技術(shù)與高效的品質(zhì)服務(wù)，贏得了廣大光伏企業(yè)的盛贊！在鈣鈦礦太陽(yáng)能電池的薄膜沉積生產(chǎn)工藝方面，「美能光伏」生產(chǎn)了可在產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)中檢測(cè)薄膜性能，獲取各種薄膜參數(shù)信息的美能探針式臺(tái)階儀。未來(lái)，「美能光伏」還將繼續(xù)為光伏企業(yè)生產(chǎn)高品質(zhì)的檢測(cè)設(shè)備，助力“碳中和”的宏偉方針早日達(dá)成！