激光干涉儀作為現代精密測量儀器的代表，在精密制造、計量等各個行業領域中得到了廣泛的應用，在精密位移、直線度、垂直度等測量領域發揮著重要的作用。什么是決定激光干涉儀測量精度的關鍵因素？您正在使用或購買的激光干涉儀精度能夠達到指標要求么？如何對激光干涉儀的精度和性能進行驗證評價？

SJ6000激光干涉儀

激光干涉儀的測量精度與哪些因素有關？

激光干涉儀在實際使用中，需要確認其在各個測量應用中能夠達到的真實精度水平以確保測量數據準確可靠。激光干涉儀的測量讀數最終均與激光波長有關，因此激光器頻率的準確性和穩定性是激光干涉儀測量精度的保障。此外，激光干涉儀的環境條件補償系統（壓力、溫濕度傳感器）的讀數準確性對最終的測量精度有著重要的影響。

總結起來，影響激光干涉儀測量精度的因素包括：
1.激光器頻率（波長）及頻率穩定性；
2.測量讀數軟件系統帶來的誤差；
3.反射鏡、角錐棱角誤差；
4.溫濕度、壓力傳感器誤差；

當然，在具體測量任務中的測量精度還與測量人員、現場環境條件等因素有關。

激光干涉儀的校準與精度驗證

激光干涉儀在購置投入使用前應進行關鍵性能的驗證。且隨著使用年限的增加，激光干涉儀（包括環境補償系統）的性能可能會因老化或使用不當出現衰退，對測量精度造成影響。因此需要定期對激光干涉儀測量系統的關鍵性能參數進行校準，以確保在精密測量應用中獲得準確的數據結果。根據國家計量檢定規程的要求，需要對激光干涉儀激光頻率、測距誤差、測角誤差、環境補償傳感器進行定期校準。

審核編輯 黃宇