色哟哟视频在线观看-色哟哟视频在线-色哟哟欧美15最新在线-色哟哟免费在线观看-国产l精品国产亚洲区在线观看-国产l精品国产亚洲区久久

0
  • 聊天消息
  • 系統消息
  • 評論與回復
登錄后你可以
  • 下載海量資料
  • 學習在線課程
  • 觀看技術視頻
  • 寫文章/發帖/加入社區
會員中心
电子发烧友
开通电子发烧友VIP会员 尊享10大特权
海量资料免费下载
精品直播免费看
优质内容免费畅学
课程9折专享价
創作中心

完善資料讓更多小伙伴認識你,還能領取20積分哦,立即完善>

3天內不再提示

晶圓表面形貌及臺階高度測量方法

中圖儀器 ? 2023-11-02 11:21 ? 次閱讀
加入交流群
微信小助手二維碼

掃碼添加小助手

加入工程師交流群

晶圓在加工過程中的形貌及關鍵尺寸對器件的性能有著重要的影響,而形貌和關鍵尺寸測量如表面粗糙度、臺階高度、應力及線寬測量等就成為加工前后的步驟。以下總結了從宏觀到微觀的不同表面測量方法:單種測量手段往往都有著自身的局限性,實際是往往是多種測量方法配合使用。此外,除表面形貌和臺階測量外,在晶圓制程中需要進行其他測量如缺陷量測、電性量測和線寬量測。通過多種測量方式的配合,才能保證器件的良率和性能。

以下是幾種晶圓表面形貌及臺階高度的測量方法:

1、光學3D表面輪廓儀

SuperViewW系列光學3D表面輪廓儀以白光干涉掃描技術為基礎研制而成,以光學非接觸的掃描方式對樣品表面微觀形貌進行檢測。其輪廓尺寸測量功能支持納米級別的臺階高和微米級別的平面尺寸測量,包含角度、曲率等參數;可用于半導體減薄片、鍍膜片晶圓IC的粗糙度、微觀輪廓測量。

wKgaomVDFOuASAilAAMfiL6VwGg768.pngwKgZomVDFPWAHy05AAQHbhhRnaw768.png

針對半導體領域大尺寸測量需求,SuperViewW3型號配備兼容型12英寸真空吸盤,一鍵測量大尺寸微觀三維形貌。

wKgaomVDFPGAdvCNAAFK-PKCeN0428.pngSuperViewW3

半導體領域專項功能
1.同步支持6、8、12英寸三種規格的晶圓片測量,并可一鍵實現三種規格的真空吸盤的自動切換以適配不同尺寸晶圓;
2.具備研磨工藝后減薄片的粗糙度自動測量功能,能夠一鍵測量數十個小區域的粗糙度求取均值;
3.具備晶圓制造工藝中鍍膜臺階高度的測量,覆蓋從1nm~1mm的測量范圍,實現高精度測量;

wKgaomVDFQ-AJyrVAANjAYO5K6k428.png

2、共聚焦顯微鏡

VT6000共聚焦顯微鏡以轉盤共聚焦光學系統為基礎,是以共聚焦技術為原理的光學3D表面形貌檢測儀。不同的是,SuperViewW系列光學3D表面輪廓儀擅長亞納米級超光滑表面的檢測,追求檢測數值的準確;VT6000共聚焦顯微鏡更擅長微納級粗糙輪廓的檢測,能夠提供色彩斑斕的真彩圖像便于觀察。

wKgaomVDFQaAAbzpAAHunkD39tc807.pngwKgZomVDFRiAOGeGAALymXICeNQ280.png有圖晶圓


3、CP系列臺階儀

CP系列臺階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器。它采用了線性可變差動電容傳感器LVDC,具備超微力調節的能力和亞埃級的分辨率,同時,其集成了超低噪聲信號采集、超精細運動控制、標定算法等核心技術,使得儀器具備超高的測量精度和測量重復性。

wKgaomVDFWKATnjcAAGpr7pbZP0898.pngwKgaomVDFWeAbuDxAAN2GLIMO7E689.png


在半導體晶圓制造過程中,能夠測量樣品表面的2D形狀或翹曲:因多層沉積層結構中層間不匹配所產生的翹曲或形狀變化,或者類似透鏡在內的結構高度和曲率半徑。


4、無圖晶圓幾何量測系統

WD4000無圖晶圓幾何量測系統采用高精度光譜共焦傳感技術、光干涉雙向掃描技術,完成非接觸式掃描并建立3D Mapping圖,實現晶圓厚度、TTV、LTV、Bow、Warp、TIR、SORI、等反應表面形貌的參數。

wKgaomVDFXyAF0n1AAFyyUl46SM811.png


WD4000無圖晶圓幾何量測系統采用白光光譜共焦多傳感器和白光干涉顯微測量雙向掃描技術,完成非接觸式掃描并建立表面3D層析圖像。通過非接觸測量,將晶圓的三維形貌進行重建,強大的測量分析軟件穩定計算晶圓厚度,TTV,BOW、WARP、在高效測量測同時有效防止晶圓產生劃痕缺陷,實現Wafer厚度、翹曲度、平面度、線粗糙度、總體厚度變化(TTV)及分析反映表面質量的2D、3D參數。

wKgZomVDFYGAeiPsAAJitdA5zzU126.png無圖晶圓厚度、翹曲度的測量wKgZomVDFYiAVTBAAALUXvUmd9E890.png無圖晶圓粗糙度測量

單種測量手段往往都有著自身的局限性,實際是往往是多種測量方法配合使用。除表面形貌和臺階測量外,在晶圓制程中需要進行其他測量如缺陷量測、電性量測和線寬量測。通過多種測量方式的配合,才能保證器件的良率和性能。

半導體制造過程中,晶圓的制備和加工是一個復雜的過程,其中很多參數和條件都會對晶圓的表面形貌產生影響。通過合理運用專業檢測設備對晶圓表面形貌進行測量,可以了解到這些參數和條件的變化對晶圓的影響程度,從而優化制造過程,提高晶圓制備的穩定性和一致性,減少晶圓的不良品率。

聲明:本文內容及配圖由入駐作者撰寫或者入駐合作網站授權轉載。文章觀點僅代表作者本人,不代表電子發燒友網立場。文章及其配圖僅供工程師學習之用,如有內容侵權或者其他違規問題,請聯系本站處理。 舉報投訴
  • 3D
    3D
    +關注

    關注

    9

    文章

    2961

    瀏覽量

    110927
  • 晶圓
    +關注

    關注

    53

    文章

    5177

    瀏覽量

    130043
  • 測量
    +關注

    關注

    10

    文章

    5281

    瀏覽量

    113695
  • 表面輪廓儀
    +關注

    關注

    0

    文章

    70

    瀏覽量

    753
收藏 0人收藏
加入交流群
微信小助手二維碼

掃碼添加小助手

加入工程師交流群

    評論

    相關推薦
    熱點推薦

    觸針式輪廓儀 | 臺階儀 | 納米級多臺階高度的精準測量

    臺階高度作為納米結構的關鍵參數,其測量精度直接影響相關研究與應用。本文利用觸針式輪廓儀對三臺階高度樣品進行
    的頭像 發表于 07-22 09:52 ?88次閱讀
    觸針式輪廓儀 | <b class='flag-5'>臺階</b>儀 | 納米級多<b class='flag-5'>臺階</b><b class='flag-5'>高度</b>的精準<b class='flag-5'>測量</b>

    邊緣 TTV 測量的意義和影響

    摘要:本文探討邊緣 TTV 測量在半導體制造中的重要意義,分析其對芯片制造工藝、器件性能和生產良品率的影響,同時研究測量方法測量設備精
    的頭像 發表于 06-14 09:42 ?188次閱讀
    <b class='flag-5'>晶</b><b class='flag-5'>圓</b>邊緣 TTV <b class='flag-5'>測量</b>的意義和影響

    表面缺陷類型和測量方法

    在半導體制造領域,堪稱核心基石,其表面質量直接關乎芯片的性能、可靠性與良品率。
    的頭像 發表于 05-29 16:00 ?1037次閱讀
    <b class='flag-5'>晶</b><b class='flag-5'>圓</b><b class='flag-5'>表面</b>缺陷類型和<b class='flag-5'>測量方法</b>

    MICRO OLED 金屬陽極像素制作工藝對 TTV 厚度的影響機制及測量優化

    與良品率,因此深入探究二者關系并優化測量方法意義重大。 影響機制 工藝應力引發變形 在金屬陽極像素制作時,諸如光刻、蝕刻、金屬沉積等步驟會引入工藝應力。光刻中,光刻膠的涂覆與曝光過程會因光刻膠固化收縮產生應力。蝕刻階段,蝕刻氣體或液體對
    的頭像 發表于 05-29 09:43 ?211次閱讀
    MICRO OLED 金屬陽極像素制作工藝對<b class='flag-5'>晶</b><b class='flag-5'>圓</b> TTV 厚度的影響機制及<b class='flag-5'>測量</b>優化

    wafer厚度(THK)翹曲度(Warp)彎曲度(Bow)等數據測量的設備

    和成本控制的核心參數。通過WD4000幾何形貌測量系統在線檢測,可減少其對芯片性能的影響。 WD4000
    發表于 05-28 16:12

    wafer幾何形貌測量系統:厚度(THK)翹曲度(Warp)彎曲度(Bow)等數據測量

    在先進制程中,厚度(THK)翹曲度(Warp)彎曲度(Bow)三者共同決定了的幾何完整性,是良率提升和成本控制的核心參數。通過WD4000幾何
    發表于 05-28 11:28 ?2次下載

    wafer幾何形貌測量系統:厚度(THK)翹曲度(Warp)彎曲度(Bow)等數據測量

    在先進制程中,厚度(THK)翹曲度(Warp)彎曲度(Bow)三者共同決定了的幾何完整性,是良率提升和成本控制的核心參數。通過WD4000幾何
    的頭像 發表于 05-23 14:27 ?615次閱讀
    wafer<b class='flag-5'>晶</b><b class='flag-5'>圓</b>幾何<b class='flag-5'>形貌</b><b class='flag-5'>測量</b>系統:厚度(THK)翹曲度(Warp)彎曲度(Bow)等數據<b class='flag-5'>測量</b>

    的環吸方案相比其他吸附方案,對于測量 BOW/WARP 的影響

    設計,與傳統或其他吸附方案相比,對 BOW/WARP 測量有著顯著且復雜的影響。 一、常見吸附方案概述 傳統的吸附方案包括全表面吸附、邊緣點吸附等。全表面吸附利用真空將
    的頭像 發表于 01-09 17:00 ?639次閱讀
    <b class='flag-5'>晶</b><b class='flag-5'>圓</b>的環吸方案相比其他吸附方案,對于<b class='flag-5'>測量</b><b class='flag-5'>晶</b><b class='flag-5'>圓</b> BOW/WARP 的影響

    臺階基底貼蠟方法

    臺階基底貼蠟方法是半導體制造中的一個關鍵步驟,特別是在處理具有高階臺金屬結構的時。以下
    的頭像 發表于 12-18 09:47 ?406次閱讀
    高<b class='flag-5'>臺階</b>基底<b class='flag-5'>晶</b><b class='flag-5'>圓</b>貼蠟<b class='flag-5'>方法</b>

    的TTV,BOW,WARP,TIR是什么?

    ,指在其直徑范圍內的最大和最小厚度之間的差異。 測量方法在未緊貼狀態下,測量
    的頭像 發表于 12-17 10:01 ?1972次閱讀
    <b class='flag-5'>晶</b><b class='flag-5'>圓</b>的TTV,BOW,WARP,TIR是什么?

    如何測量表面金屬離子的濃度

    ??? 本文主要介紹如何測量表面金屬離子的濃度。??? 金屬離子濃度為什么要嚴格控制????? 金屬離子在電場作用下容易發生遷移。如Li?,Na?、K?等可遷移到柵氧化層,導致閾值
    的頭像 發表于 11-26 10:58 ?716次閱讀
    如何<b class='flag-5'>測量</b><b class='flag-5'>晶</b><b class='flag-5'>圓</b><b class='flag-5'>表面</b>金屬離子的濃度

    表面污染及其檢測方法

    表面潔凈度會極大的影響后續半導體工藝及產品的合格率。在所有產額損失中,高達50%是源自于表面
    的頭像 發表于 11-21 16:33 ?1881次閱讀
    <b class='flag-5'>晶</b><b class='flag-5'>圓</b><b class='flag-5'>表面</b>污染及其檢測<b class='flag-5'>方法</b>

    去除表面顆粒的原因及方法

    本文簡單介去除表面顆粒的原因及方法。   在12寸(300毫米)晶圓廠中,清洗是一個至關重要的工序。晶圓廠會購買大量的高純度濕化學品如硫酸,鹽酸,雙氧水,氨水,氫氟酸等用于清
    的頭像 發表于 11-11 09:40 ?1229次閱讀

    優可測白光干涉儀助力紅外探測行業發展——襯底檢測

    襯底的質量對紅外探測器芯片性能至關重要,優可測白光干涉儀可以高精度測量襯底的亞納米級粗糙度、納米級
    的頭像 發表于 08-30 17:38 ?1084次閱讀
    優可測白光干涉儀助力紅外探測行業發展——<b class='flag-5'>晶</b><b class='flag-5'>圓</b>襯底檢測

    基于SLM的四波橫向剪切干涉表面形貌測量方法

    隨著光電元器件和集成電路等微納結構的制造工藝不斷突破,迫切需要高性能的測量設備來滿足日益增長的高精度表面形貌測量需求。目前,表面
    的頭像 發表于 08-21 17:37 ?988次閱讀
    基于SLM的四波橫向剪切干涉<b class='flag-5'>表面</b><b class='flag-5'>形貌</b><b class='flag-5'>測量方法</b>
    主站蜘蛛池模板: 青春禁区动漫免费观看 | 网址在线观看你懂我意思吧免费的 | 北条麻妃のレズナンパ | 国产亚洲日韩另类在线播放 | 国产在线播放KKK | 在线亚洲精品国产一区麻豆 | 熟女人妻AV五十路六十路 | 最近2019中文字幕MV免费看 | 国产免费人视频在线观看免费 | 99热国产这里只有精品9九 | 狠狠色狠狠色综合日日91app | 日日AV夜夜添久久奶无码 | 最近更新2019中文字幕国语 | 男人天堂2018亚洲男人天堂 | 亚洲成 人a影院青久在线观看 | 女子叉开腿让男子桶免费软件 | 百度影音第四色 | 韩国g奶空姐 | 亚洲AV无码久久流水呻蜜桃久色 | 你是淫荡的我的女王 | 忘忧草在线影院www日本 | 99RE6国产精品视频播放 | 国内精品伊人久久久影院 | 亚洲免费大全 | 色欲狠狠躁天天躁无码中文字幕 | 成人精品综合免费视频 | 午夜婷婷精品午夜无码A片影院 | 受喷汁红肿抽搐磨NP双性 | 两个人的视频免费 | 国色精品VA在线观看免费视频 | 国产精品无码人妻在线 | 国产成人久视频免费 | a级全黄试频试看30分钟 | 综合网伊人 | 亚洲欧美自拍清纯中文字幕 | 少女开女包www | 亚洲视频中文字幕在线观看 | 91热久久免费频精品动漫99 | 久久亚洲网站 | 免费在线观看国产 | 成人毛片免费在线观看 |

    電子發燒友

    中國電子工程師最喜歡的網站

    • 2931785位工程師會員交流學習
    • 獲取您個性化的科技前沿技術信息
    • 參加活動獲取豐厚的禮品