氯氣，我們在初中化學中已經接觸過，知道它是一種劇毒氣體，但是在芯片制造中，氯氣卻是一種十分重要的氣體。那么氯氣在芯片制造中有哪些應用？氯氣對人能產生哪些嚴重傷害？在使用中如何保證氯氣的安全性呢？

氯氣的結構

氯氣(Cl2)是由兩個相同的氯原子組成的雙原子分子,每個氯原子有17個電子，分布在不同的電子層上。在最外層，每個氯原子有7個價電子。通過共用一對電子形成的共價鍵，兩個氯原子形成氯氣分子.

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氯氣的性質

物理性質

外觀：常溫下，氯氣呈黃綠色，有強烈的刺激性氣味的劇毒氣體。

密度：氯氣的密度比空氣大，在空氣中會沉降。

溶解性：氯氣在水中的溶解度相對較好，溶于水后可以形成次氯酸，用來漂白或消毒.

沸點和熔點：沸點約為-34.04°C，熔點約為-101.5°C

化學性質

化學活性：氯是一種非常活潑的非金屬元素，容易與金屬發生反應，形成氯化物。

氧化性：氯氣是一種強氧化劑。

氯氣在芯片制造中的應用

氯氣主要用于干法刻蝕工序,用來刻蝕硅和金屬等. 硅刻蝕:氯氣可與硅反應生成氯化硅（SiCl?），從而實現硅的刻蝕,化學反應方程式為:

Si+2Cl2→SiCl4 鋁刻蝕:

2Al+3Cl2→2AlCl3 鎢刻蝕:

W+Cl2→WCl6 鈦刻蝕:

Ti+2Cl2→TiCl4

這些氯化物由于其易揮發的特性，可以通過真空系統從刻蝕腔室中移除，從而實現材料的精確刻蝕。當然在刻蝕中還會摻雜一些其他氣體,不僅僅是Cl2一種氣體.

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氯氣的危險性

呼吸系統損害：氯氣是一種強烈的刺激性和腐蝕性氣體，吸入后可以嚴重刺激和燒傷呼吸道,導致咳嗽、呼吸困難、胸痛，甚至肺水腫。

眼睛和皮膚損害：氯氣接觸眼睛或皮膚時，會引起強烈的灼燒感。眼睛會疼痛、紅腫、視力模糊等，甚至暫時性或永久性失明。皮膚接觸氯氣則可能引起皮膚紅腫、疼痛、灼傷,水泡等。

如何保證安全

1.泄露檢測器：

在機臺,潔凈間,儲存間中安裝氯氣泄漏檢測器，以便在氯氣泄漏時及時發出警報。

準備應急洗眼器和淋浴設施，以便在皮膚或眼睛接觸氯氣后立即沖洗。

2.儲存：

在干燥、陰涼、通風良好的地方放置氯氣罐，避免熱源和陽光直射。確保氯氣容器牢固地固定，嚴謹傾倒。

3.操作：

所有操作氯氣的人員都必須接受嚴格的培訓，了解氯氣的危害、安全操作程序和應急響應措施。遵守所有安全操作規程和標準作業流程。

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尾氣如何處理

一般是機臺端與廠務端結合使用:機臺端可能會先進行初步的尾氣處理，如過濾,吸附,洗滌等，然后將尾氣輸送到廠務端進行洗滌,燃燒等。

審核編輯：劉清