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華為、哈工大聯手:基于硅和金剛石的三維集成芯片專利公布

微云疏影 ? 來源:綜合整理 ? 作者:綜合整理 ? 2023-11-22 09:25 ? 次閱讀

最近,華為技術有限公司和哈爾濱工業大學申請的“一種基于硅和金剛石的三維集成芯片的混合鍵合方法”專利被公布為cn116960057a。

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摘要本發明涉及芯片制造技術領域。硅基的cu/sio2混合結合樣品和金剛石基礎的cu/sio2混合結合樣品的準備后,進行等離子體活性。經等離子體活性處理后,將cu/sio2混合結合試料浸泡在有機酸溶液中清洗后干燥。硅基/或者金剛石基cu/sio2混合結合樣本的干燥后結合降低大氣表面氟化氫酸溶液硅基/金剛石基cu/sio2混合結合使樣本量身定制,預結算獲得的芯片,詞典結合打開壓縮芯片結合,退火處理,但獲得混合結合雙樣品。該發明實現了以cu/sio2混合結合為基礎的硅/金剛石的三維異質集成。

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