在現代工業和科技應用中，壓力變送器是不可或缺的關鍵元件之一。而在特定環境下，如受到高強度震動沖擊、高溫高壓等極端條件的影響時，濺射薄膜壓力變送器就顯得尤為重要。濺射薄膜技術是一種先進的制造工藝，它為壓力變送器的性能和可靠性提供了關鍵保障。本文將深入介紹濺射薄膜壓力變送器的工作原理、制造工藝以及在各個領域中的廣泛應用。通過了解這一先進技術的原理和特點，我們將更好地理解其在工程實踐中的實際應用，為解決復雜環境下的壓力測量問題提供有力支持。

01產品介紹

CYB4300系列壓力變送器是一種棒狀小外形壓力變送器。采用高可靠金屬濺射薄膜芯體作為敏感核心，經過溫度補償、數字電路修正和信號調理，輸出標準的工業應用和組網信號。介質測量部分為17-4PH彈性不銹鋼，具有良好的耐介質性能。

CYB4300系列壓力變送器經過精心設計、元器件篩選、工藝驗證固化、循環加載去應力、老煉、環境模擬測試等過程，保障每只產品穩定可靠。

02基本特性

濺射薄膜壓力傳感器特點

濺射薄膜壓力傳感器是近二十余年來薄膜技術與半導體技術綜合而發展起來的高穩定品種。它的壓力敏感芯體是利用離子束濺射成膜設備在高強度耐蝕不銹鋼沉淀絕緣及敏感薄膜，取代傳統粘貼式有機化合基底及金屬敏感柵，然后濺射保護膜保護敏感膜而形成的。其次薄膜壓力傳感器是通過激光焊接或等離子焊接的辦法將敏感芯體和不銹鋼壓力接嘴焊接成一個整體，因此濺射薄膜壓力傳感器具有以下特點：

1.長期穩定性好、工作溫度寬、精度高、重復性好。

2.耐高強度震動和沖擊、不泄漏、耐腐蝕。

3.溫度特性好。

4.測量真實、頻響高。

工作原理

圖1 薄膜壓力傳感器的功能示意圖

圖2 合金薄膜壓力傳感器膜層結構

圖3 芯片感測原理圖

薄膜壓力傳感器的主要組成部分：基體、轉換元件以及信號調理電路等，如圖1 所示。

合金薄膜壓力傳感器一般采用濺射、蒸鍍等方法把合金沉積在彈性基體上，具體膜層結構如圖2 所示。薄膜電阻層通過感受彈性元件的應變而產生相應電阻變化，通過信號調理電路輸出相應的電壓信號，從而完成非電量到電量的轉換。

在敏感電阻和彈性體之間采用薄膜工藝淀積了絕緣介質薄膜用于隔離。金屬彈性體上的典型薄膜結構分為四層，其中最底層是絕緣膜，上層依次為淀積電阻膜，和為確保惠斯頓電橋橋臂電阻穩定可靠的引線電極金膜和鈍化保護膜，如圖3a所示。圖3b所示為應變電阻組成的惠斯頓電橋。濺射薄膜式壓力傳感器的工作原理為：當被測介質壓力（P1）作用于彈性不銹鋼膜片一側時，彈性膜片受到壓力作用產生變形，位于另一面的惠斯頓電橋橋臂電阻薄膜的幾何尺寸發生相應的變形，阻值隨之相應改變，電橋因阻值改變而產生與壓力成線性比例的輸出信號，將此信號經放大調節等處理，再傳輸給處理電路（通常是A/D轉換和CPU）顯示或執行機構。

03應用領域

冶金

化工

燃氣管網

石油管道

煤炭

航運航天

煉油

自動控制

審核編輯：湯梓紅