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2023年12月1日， 2023上海國際微技術研究與創新論壇（2023 SITRI DAY），暨上海工研院十周年慶、第四屆菊園科技創新論壇、MEMS WORLD SUMMIT活動在科創之城——上海嘉定順利舉辦。

本次SITRI DAY活動由上海市科學技術委員會、上海市經濟和信息化委員會、上海市國有資產監督管理委員以及上海市嘉定區人民政府聯合指導，由上海微技術工業研究院、嘉定區菊園新區管委會、MEMS WORLD SUMMIT主辦，上海新微科技集團有限公司、上海菊園經濟發展中心聯合主辦，上海嘉定區菊園科技企業服務中心、中國傳感器與物聯網產業聯盟、上海市集成電路行業協會、上海集成電路材料研究院協辦。本次活動以“面向世界科技前沿、面向經濟主戰場、面向國家重大需求、面向人民生命健康”為核心宗旨，通過建設打造一個高水平的技術交流平臺，促進科技創新資源的協同配置，并進一步強化上海工研院作為公共服務平臺的科技創新策源功能，加快推進產業技術創新應用和成果轉化，從而引領“超越摩爾”產業向中高端邁進，實現產業的高質量發展。

本次論壇采取線上線下相結合，除主題演講外，還設有MEMS技術、硅光技術、生命信息技術和投資孵化路演四個分論壇活動。會議邀請了中國科學院院士祝世寧教授、中國科學院院士褚君浩教授、中國工程院院士吳漢明教授、歐洲科學院及比利時皇家學院雙料院士Johan Hofkens教授、加拿大皇家科學院及工程院兩院院士Andreas Mandelis教授、法國國家醫學科學院外籍通訊院士及上海交通大學醫學院沈柏用教授、教育部長江學者及上海交通大學物理與天文學院金賢敏教授、德國弗勞恩霍夫光電微系統研究所（Fraunhofer IPMS）副所長J?rg Amelung先生、國際傳感器行業協會（全球董事）及萬物云首席科學家丁險峰先生以及來自博世、TDK、廣東增芯、賽微電子、豫信電科、聯合微電子、矽睿科技等一眾行業重點企業的高管、地區負責人及技術專家和來自長三角國創中心、粵港澳大灣區國創中心、國家智能傳感器創新中心、國家信息光電子創新中心、中國電子信息產業發展研究院等機構的負責人、高管、技術專家以及中國半導體行業協會副理事長及上海市集成電路行業協會秘書長郭奕武先生、SEMI中國高級總監張文達先生、全國微機電技術標準化技術委員會李根梓秘書長等眾多產業界企業、平臺、機構的負責人和技術專家以及來自上海市科委、廣東省工信廳、嘉定區經委、嘉定區科委、嘉定區國資委以及嘉定菊園新區的領導共計700余人，與其他26000余名線上產業界人士共同謀劃“超越摩爾”集成電路產業的升級與深化發展的長久之道。

上海市科委副主任王曄先生、中國科學院院士祝世寧教授及菊園新區黨工委書記陳懿先生為本次活動致辭。

上海市科委副主任王曄先生致辭

王曄副主任介紹了上海工研院作為上海市首家研發與轉化功能型平臺的建設背景，以及首批15家平臺的落地對上海市科創中心建設所起到的基石作用，并寄語上海工研院未來繼續瞄準世界科技前沿技術，引領產業科技發展方向，肩負起歷史賦予平臺的重任，勇做新時代科技創新的排頭兵。

中國科學院院士祝世寧教授致辭

祝世寧院士作為產業專家，回顧了他與上海工研院在硅光平臺建設過程中的淵源及雙方共同創立光電子集成芯片立強論壇的種種情景，期待在未來的發展中可以與平臺在光電子領域有更多的合作與交流，雙方共同推動中國光電子技術的發展，為產業的提升作出更大的貢獻。

嘉定區菊園新區黨工委書記陳懿先生致辭

嘉定區菊園新區黨工委書記陳懿先生代表地方對本次活動的順利舉辦表示了祝賀，并代表菊園科技創新論壇的主辦單位對與會嘉賓的到來表示了歡迎，同時對于上海工研院落地菊園十載為當地“超越摩爾”集成電路產業發展所帶來的積極作用表示了感謝，并強調在未來的日子里菊園新區要進一步加強對產業、平臺的服務，推動創新鏈產業鏈資金鏈人才鏈深度融合，全面推動地區產業發展。

上海工研院董事長謝曉明研究員致歡迎辭

在各位嘉賓致辭完畢后，由中國科學院上海微系統所所長、上海工研院董事長謝曉明研究員代表本次論壇的主辦方向各位與會領導、專家以及產業界人士致歡迎辭。謝董事長首先感謝前來參加本次活動的參會嘉賓，隨后回顧了上海工研院響應上海市集成電路產業發展需求，探索信息領域創新機制、奠定上海研發與轉化功能型平臺運行模式的十年發展歷程。他還表示未來上海工研院將繼續探索“超越摩爾”技術研發與轉化以及產業生態建設路徑，充分發揮銜接科研和產業以及產業技術策源地功能，為相關企業提供高水平的技術供給和高質量的技術服務。

隨后大會啟動了成果發布儀式，由上海工研院發布了“MEMS標準工藝模塊”以及“90nm硅光集成工藝”兩項“超越摩爾”技術成果。兩項成果均來自于上海工研院承擔的國家及市級重大專項所取得的階段性成果，可為中小企業提供MEMS制造和硅光子器件的標準化工藝，大幅提高產品設計效率，其中硅光集成工藝器件庫更是達到國際領先水平。

“超越摩爾”成果發布儀式

成果發布儀式后，上海工研院與摩侖科技、上海汽車芯片工程中心、聯影微電子、國家信息光電子中心、浙江大學微納電子學院、上海精測、增芯科技、利揚芯片、煒盛科技及大立科技等“超越摩爾”集成電路生態圈戰略合作伙伴代表簽訂戰略合作協議，旨在打通長三角與粵港澳大灣區以及中部地區產業區域限制，實現從設備、芯片生產、設計到封裝測試的全產業鏈布局，助力上海“超越摩爾”集成電路產業高質量發展。

“超越摩爾”集成電路生態圈戰略合作伙伴代表簽約儀式

活動過后，上海工研院總經理董業民博士作了《建設具有全球影響力的“超越摩爾”功能型創新平臺》的主題報告。報告回顧了上海工研院十年以來發展的芯路歷程以及取得的一些成績，在未來的發展過程中，上海工研院將繼續圍繞上海集成電路一體兩翼戰略，聚焦“超越摩爾”芯片制造核心技術及產業孵化，打造一個具有全球影響力的“超越摩爾”集成電路產業生態。

上海工研院董業民博士發言

歐洲科學院/比利時皇家科學與藝術學院雙料院士及比利時魯汶大學化學系終身教授Johan Hofkens教授分享了《The Power of One: From Single Molecule Investigations to Materials Research and Beyond》的主題報告，報告探討了單分子光譜學對應用該技術的各個領域都產生的巨大影響，從催化、等離子體學、聚合物物理學、生物物理學到細胞生物學和 DNA 測序。此外，報告中還分享了單分子技術和新顯微鏡模式的開發如何推動材料科學和生物科學的發展。

比利時魯汶大學Johan Hofkens教授發言

來自中國電子信息產業發展研究院集成電路所所長周峰先生隨后分享了《智能傳感器及硅光技術行業趨勢》的主題報告，報告詳細闡述了國內外智能傳感器的分類、技術路線以及行業發展趨勢，其中重點介紹了硅光技術在智能傳感器領域的應用和未來發展趨勢。

來自TDK-InvenSense副總裁張宏達博士帶來了《Enriching Lives with Sensing Solutions——運用傳感解決方案豐富生活》的主題演講，報告介紹了TDK MEMS傳感器的工作原理和產品特點，特別介紹了TDK-InvenSense 專有的 CMOS-MEMS 片上系統平臺在傳感器制造中的優勢。

來自德國弗勞恩霍夫光電微系統研究所（Fraunhofer IPMS）的J?rg Amelung先生以及Sandro Koch博士分享了《From Concept to Production: Unleashing the Potential of MEMS-based Ultrasound》的主題報告。報告介紹了MEMS器件的進步和特定技術發展的關系，以及弗勞恩霍夫光電微系統研究所開發的基于MEMS的微機械超聲換能器（MUT）所獨有的特性技術等創新應用案例。

主論壇最后舉行了第五屆菊園科技創新論壇輪值主席交接儀式。第四屆論壇主辦單位中國科學院上海微系統所代表俞文杰副所長與下一屆主辦單位中國工程物理研究院上海激光等離子體研究所代表黨委副書記高妍琦先生完成了論壇輪值主席的交接儀式，順利完成了主論壇活動。

菊園科技創新論壇輪值主席交接儀式

各分論壇環節

下午MEMS技術、硅光技術、生命信息技術分論壇和投資孵化路演活動同時開展，各論壇集聚了包括吳漢明院士、褚君浩院士、祝世寧院士、沈柏用院士、Andreas Mandelis院士、Robert Pan博士，李昕欣研究員（國家杰青）、金賢敏教授（長江學者）以及來自華為、華進半導體、華大科技、安靠封裝、大立科技、博世、聯影微電子、藥明生物、國家信息光電子中心和上海工研院的二十余位專家為大家帶來了主題報告、圓桌論壇等技術分享活動。投資孵化路演活動現場集聚了十五家創新科技企業的創新項目和近百位投資人，為創新企業的發展帶來了機遇。

本次上海國際微技術研究與創新論壇活動依托上海工研院平臺優勢，進一步暢通了“超越摩爾”產業鏈上下游企業的溝通渠道，協同推動產業技術的創新應用和成果轉化，為中小企業的孵化、培育和發展提供了更好的創新服務。同時擴大了上海打造集成電路“一體兩翼”空間布局影響力，將吸引更多全產業鏈企業落戶上海，加快構筑上海集成電路產業新高地。

審核編輯 黃宇