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果納半導體:首家實現(xiàn)晶圓傳輸設(shè)備自主研發(fā)批量出貨

微云疏影 ? 來源:綜合整理 ? 作者:綜合整理 ? 2023-12-08 10:33 ? 次閱讀

近年來,在內(nèi)生利好、外部壓力環(huán)境下,晶圓工廠更加關(guān)注設(shè)備供應(yīng)鏈安全,國內(nèi)科研攻關(guān)也備受重視,國產(chǎn)化進程不斷加快。

果納半導體成立于2020年,已經(jīng)在晶圓晶體管領(lǐng)域具有一定的知名度和影響力。作為一家專業(yè)晶片晶體管前端模塊制造企業(yè),郭娜著眼于國內(nèi)外半導體設(shè)備供應(yīng)商的技術(shù)動向和產(chǎn)品指南,開發(fā)了大量替代進口產(chǎn)品。

果納半導體主要致力于集成電路傳送領(lǐng)域。研究開發(fā)組均來自國內(nèi)外知名集成電路設(shè)備企業(yè),技術(shù)人員所占比重超過70%。其主要產(chǎn)品有晶圓前端傳輸模塊、晶圓分選機、晶圓存儲系統(tǒng)和傳輸領(lǐng)域關(guān)鍵零組件等。果納半導體是鈑金車間,機加工車間,萬級和千級凈化張江建設(shè),建立了完整的產(chǎn)品加工生產(chǎn)線,滿足自身研究及oem生產(chǎn)管理和產(chǎn)品收率保障的同時,建立穩(wěn)定的供應(yīng)鏈國產(chǎn)化方案,減少了供應(yīng)鏈風險。

目前,北方華創(chuàng)、華海清科、中微半導體、長江存儲、格科微、積塔、新昇、奕斯偉等近30家設(shè)備企業(yè)和近20家晶片制造工廠成為國納的客戶。迄今為止,果納的晶圓前端傳送模塊產(chǎn)品已售出200臺以上。

作為致力于研究開發(fā)和創(chuàng)新的企業(yè),果納半導體非常注重知識產(chǎn)權(quán)保護,共批準了50項知識產(chǎn)權(quán),其中包括36項發(fā)明專利。每款車型都通過了semi s2和f47認證。此外,果納半導體獲得國家高新技術(shù)企業(yè)認證、上海市專業(yè)化特新企業(yè)認證、上海市專利示范企業(yè)、半導體投資聯(lián)盟產(chǎn)業(yè)鏈突破獎等諸多榮譽。

果納半導體憑借晶圓傳送模塊的出色業(yè)績,在ic排名中獲得了“年度優(yōu)秀創(chuàng)新產(chǎn)品獎”和“年度品牌創(chuàng)新獎”。

晶圓傳輸模塊(efem front end模塊是弱者,即裝備前面模塊),業(yè)界一般干凈的等級較高的微環(huán)境模塊成品秒干凈的等級的,為了儲存晶片干燥環(huán)境、單片晶片通過精密機械高頻,效率,順利傳送至工藝,并且測量模塊,保證設(shè)備系統(tǒng)內(nèi)部清潔等級(class 1)。

和我擁有完全獨立的知識產(chǎn)權(quán),擁有晶片收發(fā)器模塊領(lǐng)域的核心核心技術(shù)。該公司是第一家獨自研發(fā)晶片收發(fā)器設(shè)備并統(tǒng)一出庫的企業(yè),銷量居首位,精密度、無質(zhì)量等技術(shù)水平居國內(nèi)首位,在國際上也處于領(lǐng)先地位。所有產(chǎn)品都已經(jīng)通過了semi s2和f47半導體設(shè)備安全認證。

果納半導體研制的EFEM可手動或自動天車搬運系統(tǒng)(OHT)/無人搬運車(AGV)對接,采用多關(guān)節(jié)單臂雙叉型機器人,通過多軸復(fù)合運動實現(xiàn)晶圓取放片,極大提高了傳片效率和穩(wěn)定性,能夠滿足長期使用的高潔凈度要求;同時,具有優(yōu)異的內(nèi)部氣流導向結(jié)構(gòu)設(shè)計,保證了內(nèi)部空間微環(huán)境的潔凈度滿足ISO Class 1級別要求,甚至能達到更高的無塵要求。不僅如此,EFEM還具備很高的集成度和很大的靈活性,可以根據(jù)不同的的用戶需求訂制晶圓承載臺數(shù)量,設(shè)備內(nèi)部可以合理布局搭載不同功能的模塊,兼容所有符合SEMI標準的FOUP、FOSB 、SMIF和OC料盒。

果納半導體堅持攻關(guān)核心關(guān)鍵技術(shù),自主研發(fā)核心關(guān)鍵零部件,并且組建了一流的軟件團隊,利用軟件的優(yōu)勢實現(xiàn)快速彎道超車。

果納半導體直言,立志打破晶圓傳輸設(shè)備被國外壟斷的局面,推動完善產(chǎn)業(yè)鏈的國產(chǎn)化。

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