作為中國電子產業的領軍企業，華為最近在芯片領域取得了一系列突破。除了麒麟9000S芯片的研發，華為還公布了多條專利信息。其中一項便是關于晶圓制造的，這將有利于提高晶圓對準效率和對準精度。

根據企查查公開的信息顯示，這項新專利的名稱為“晶圓處理裝置和晶圓處理方法”，申請日期為2022年6月2日，申請公布日為2023年12月12日，申請公開號為CN117219552A。

（圖片來源：企查查）

根據專利摘要顯示，本公開的實施例涉及晶圓處理裝置和晶圓處理方法。

晶圓處理裝置包括：晶圓載臺，晶圓載臺可沿旋轉軸線旋轉；機械臂，包括機械手，用于搬運晶圓并將晶圓放置在晶圓載臺上；控制器；以及校準組件（包括：光柵板，相對于晶圓載臺固定；光源，相對于光柵板固定；以及成像元件，固定設置在機械臂上，并且適于接收從光源發出的、透過光柵板的光）。

其中，控制器被配置成基于成像元件對接收到的光的檢測，控制機械臂或機械臂上的調整裝置來調整晶圓的位置；其中，在晶圓載臺承載晶圓的情況下，光柵板和成像元件分別位于晶圓載臺的上表面所在平面相對兩側，上表面用于承載晶圓。

專利摘要指出，本公開的實施例提供的裝置和方法，能夠提高晶圓對準效率和對準精度。

（專利原理示意圖）

這些年，華為雖然遭受了外界的打壓，但卻絲毫沒有影響其在科研領域的研究，尤其是專利數量方面，一直在不斷攀升。

未來，我們可以期待華為在芯片領域的更多創新和突破，為中國科技發展貢獻更多的力量。

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