憑借高亮度、高可靠性、低功耗、可實現無縫拼接等優勢，Micro LED成為當今新型顯示技術的熱點。

未來，在透明、柔性、車載、超高清大屏幕、全息投影等領域，Micro LED均具有廣闊的市場應用前景。

12月7日下午-12月8日，由高工LED、高工產業研究院（GGII）主辦，東山精密總冠名的以“微顯巨變，再現光芒”為主題的2023高工LED年會暨十五周年慶典在深圳機場凱悅酒店盛大舉行。

作為一年一度的LED行業盛會，本次年會共設4大專場，分別由明微電子、兆元光電、凱格精機、諾瓦星云冠名，議題覆蓋芯片、封裝、照明、顯示、設備、驅動等LED全產業鏈，超500位企業領袖、行業專家、投資精英到場，研判技術路線，把脈行業趨勢。

12月7日下午，在由凱格精機冠名的主題為“打通Mini/Micro LED制程最后‘一公里’”的設備專場上，海目星激光新型顯示行業中心總經理彭信翰發表了主題為《打通Micro LED激光制程工藝》的演講，主要從“新型顯示行業裝備項目的未來”，“激光巨量轉移技術”，“巨量轉移技術發展與未來”等方向與參會嘉賓展開分享。

新興技術的變革之路總是充滿挑戰，Micro LED技術也是如此。盡管Micro LED市場前景廣闊，但Micro LED制程也面臨著巨量轉移、焊接精度、生產良率、檢測返修等諸多難題。

彭信翰也提出，“在Micro LED領域實現與國際領先水平并駕齊驅甚至領跑已成為當務之急，加快發展顯示制造裝備已是迫在眉睫。”

的確，Micro LED顯示面板的制造工序較多，其中Micro LED巨量轉移、巨量焊接及巨量修復是Micro LED顯示屏的必備制程，激光技術及其裝備是Micro LED顯示面板產業的關鍵核心裝備，相較于原來OLED制程裝備大部分仰賴進口，Micro LED制程國產化裝備有望領跑國際。

就激光巨量轉移設備來說，主要應用于Micro LED巨量轉移和單點修復制程，可實現對任意尺寸任意間距RGB芯片選擇性轉移，在修復段用于芯片單點轉移。

據彭信翰介紹，激光轉移具有高產出、高精度等特點，且在可選擇性轉移方面有較大優勢。目前，Micro LED巨量轉移技術主要有兩大技術路線，分別為透過Mask選擇性轉移以及控制激光束轉移。

其中，控制激光束轉移是當前的主流技術路線，海目星激光通過這一技術路線推出二極管泵浦固體(DPSS)激光器，目前已經實現轉移像素密度超600PPI,制程良率已達99.99%以上，轉移基板尺寸超過11”，達到國際領先水平，可實現巨量轉移+轉移修復+面板修復。

二極管泵浦固體(DPSS)激光器應用于Micro LED巨量鍵合制程，搭配高精度溫控激光器、快速視覺對位與演算法實現本應用。本制程為使用光斑整形后的線型光斑，將預先排列于玻璃上的LED以線掃方式，通過吸收激光之能量后實現巨量焊接的工藝。

就工藝效果而言，Micro LED巨量焊接設備在完成焊接后，透過目檢可看到芯片對位精準，在點亮測試中可實現點亮與控制皆符合制程要求。彭信翰直言，“目前Micro LED巨量焊接設備已實現12”以上基板RGB三色焊接工藝，良率至高達99.99%以上(排除來料芯片等異常)。”

焊接完成之后，面板屏上會存在一些缺陷，這就需要做修復工作。為此，海目星還推出Micro LED Trimming設備，針對Micro LED制程中產生的缺陷，進行膠層、芯片去除與焊盤修整，以利后續修補制程。

經過該設備修復之后，面板生產芯片點亮良率可達到99.9%，甚至99.99%，修補后良率達到99.9999%，甚至100%。彭信翰表示，該項技術將解決Micro LED顯示面板無法完美修復的問題，并推進新型顯示關鍵設備的國產自主化，降低生產成本。

當Micro LED制程難點得以解決，Micro LED應用爆發還有多遠？降本成為關鍵！

彭信翰認為，Micro LED降本主要有以下三大途徑：“第一，裝備及材料國產化；第二，創新技術及制程的推出；第三，生產規模化，良率提升。”

作為國內設備廠商領先者，海目星激光憑借強大的研發實力和對市場的洞察力，迅速在Micro LED設備領域嶄露頭角，并成為推動Micro LED技術變革的關鍵力量。

早在2017年，當大多數企業還在觀望Micro LED市場的時候，海目星激光則敏銳地察覺到了這一新興市場的巨大潛力，并迅速組建團隊進行了深入調研、分析、論證。

經過長達4年的技術儲備，2021年，海目星激光正式成立新型顯示行業中心，全力以赴進軍Micro LED設備市場。不同于大多數設備企業選擇在Mini LED封裝設備市場中分一杯羹，海目星選擇堅定地深耕Micro LED設備市場。

“Mini LED技術已經非常成熟，市場逐漸進入紅海。而Micro LED則是未來的風口，它的興起需要大家共同推動。”彭信翰最后提到。

審核編輯：劉清