通過可視化的設備狀態監視實現細微化工藝段的穩定生產
隨著半導體微細化/積層化，生產流程的精度與日俱增，對設備環境的變化也越來越敏感。然而，目前很難根據產品生產過程中出現的品質問題捕捉現象，對于生產周期較長的半導體生產流程而言，保障產品品質穩定成為一大課題。
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根據溫度變化特征量及時捕捉設備運行時的狀態變化，保障品質穩定
可通過判斷溫度變化特征量數據是否處于正常范圍內，捕捉設備狀態變化，提高產品合格率。
2
通過監視控制設備和負載的狀態，進一步確保穩定生產
可持續監視支持設備正常運行的控制設備和負載的狀態變化。
■監視設備狀態
■監視負載狀態
審核編輯：劉清
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原文標題：高級溫控方案 | 通過可視化的設備狀態監視，實現細微化工藝段的穩定生產
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