關于光刻機,大家還記得美國荷蘭日本的三方協議嗎?來回憶一下。
隨著芯片在各個領域的重要性不斷提升,人們對芯片制造的關注也日益增加。
但半導體產業鏈非常復雜,不僅僅涉及到底層的架構設計,還需要通過一系列環節如制造、封裝、測試等。
在這其中,制造過程顯得尤為關鍵,而高端光刻機則是制造過程中不可或缺的設備。
光刻機在微電子制造過程中扮演核心角色,其要求具備高度精密的光學系統、復雜的機械結構和先進的控制技術。
只有高端光刻機才能實現極高的分辨率和精度,能夠實現微米甚至納米級的圖案轉移。
由于其高度先進性,光刻機的價格以億美元計算,不屬于普通產業設備,甚至涉及到國家間的限制。
而眾所周知,荷蘭一直以來都是半導體技術的發源地,長期以來在高精尖技術領域擁有無可爭議的優勢。
為了遏制我國,美國不僅相繼出臺了一系列的芯片禁令,特別是針對華為等中企,試圖限制其發展。
甚至為了保持自身在芯片技術上的絕對優勢,美國與日本、荷蘭簽署了三方協議,試圖限制向中國企業出口中高端光刻機。
但怎么說呢,中國的訂單利益是非常大的,大到即便協議在身,也一樣會想辦法繼續合作。
所以,情況完全沒有按照美國的預期發展,以光刻機為例。
根據媒體報道,僅在2023年11月,我國護眼共進口了42臺光刻機,主要來源于荷蘭和日本。
其中,來自荷蘭ASML的16臺光刻機,以及日本的尼康和佳能合共15臺,引人矚目。
值得關注的是,我國11月從荷蘭進口的16臺光刻機,較10月的21臺光刻機雖減少,但采購金額卻明顯上升,表明進口設備主要以更高端的光刻機為主。
為什么會出現這種情況呢?很簡單。
對企業而言,限制意味著潛在損失,為減小損失,他們會在限制實施前抓住時間窗口,加速設備出貨。在這方面,ASML表現尤為突出。
ASML一季度來自我國的營收占比為8%,二季度達到24%,三季度增至46%,盡管在第四季度荷蘭實施了限制,但ASML表示已經獲得許可,年底前仍可繼續向中方企業供貨。
察覺到ASML的積極態度,日本的尼康和佳能自然不愿落后,也加大了出貨力度。
盡管他們可能不敢違反日本的管制措施,但很可能出貨的主要是成熟制程的光刻機。
可見,設備商們都在爭分奪秒,盡最大可能在有限時間內向中方企業提供更多設備。
然后,截至2024年1月1日,ASML正式宣布取消兩張許可證,分別涉及NXT2050i兩款光刻機,由此不再向中國大陸銷售。ASML指出,此舉將對部分晶圓廠產生影響。
隨后,ASML明確表示中國大陸客戶預付購買的DUV光刻機積壓訂單已經基本全部交付,即表示中國大陸所需的訂單已全部滿足。
在ASML確認所有預付訂單交付完成的同時,數據顯示,中國大陸在1-11月份從ASML進口的光刻機金額超過了500億元,相較去年的約200億元增長了一倍半。
預計全年的進口金額將達到大約600億元左右,相當于去年采購金額的3倍。
ASML優先滿足中國大陸的訂單,這也是中方與ASML雙方共同努力的結果。
由于美國對光刻機的購買實施愈發嚴格的禁令,2024年前仍能購得先進的DUV光刻機,但此后最先進的兩款將不再可得。
雖然不知道未來如何,但這次結果還是比之前想象的要好了。
審核編輯 黃宇
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