日本晶圓設備巨頭DISCO于2023年末發布了全新SiC(碳化硅)切割設備,成功提升碳化硅晶圓切割速度10倍以上。初期產品已經交貨給客戶。由于碳化硅的硬度極高,僅次于金剛石和碳化硼,聚硅的1.8倍,切割難度極大。
值得一提的是,10多年前,DISCO就曾研發出能降低HBM高帶寬內存制造成本的設備。隨著AI技術的發展,此類設備銷量大增。面對HBM的高昂成本,存儲芯片制造商多選擇將后段流程外包,這無疑加大了對DISCO制造設備的需求。
報道稱,DISCO在晶圓切割與研磨設備市場占有率高達70~80%,2023年股價翻番,研發開支沖破250億日元(約合1.75億美元)。目前,DISCO專注于HBM以及碳化硅晶圓切割設備的研究。
2023年7月,DISCO宣告在日本熊本縣成立“中間工藝研發中心”,涵蓋成品晶圓切割環節,該步驟對于良品率及生產效率至關重要,操作需慎之又慎。
雖然美日加大了半導體設備對華出口限制力度,然而DISCO在中國市場的銷售額暫無明顯下滑跡象。據2022年3月數據,其中國市場收入占比約為31%,并在后續的7至9月份進一步升至34%。
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