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本次為大家介紹一款一維大負載電容傳感壓電納米定位臺-XD605.X90。產品外觀如下圖所示。

X向運動、大負載

XD605.X90可實現一維X向直線運動，行程可達到95μm，負載可達10kg，分辨率可達3nm，為大負載應用提供更優質的解決方案。

電容式傳感器

XD605.X90閉環版本采用電容傳感，閉環線性度可達0.021%F.S.，閉環重復定位精度可達0.005%F.S.，由于電容式傳感器是根據兩個電極之間的電容變化來測量物理量，所以它不受溫度、磁場環境等因素影響，在精度、響應速度、穩定性、可靠性和成本方面具有很多優勢。

三種位姿、易使用

XD605.X90它在使用放置方式上進行突破，可正立、側臥、倒置三種位置使用，可滿足更多設備或系統對負載位姿的要求。

產品應用

顯微掃描、光路調整、納米操控技術、激光干涉、納米光刻、生物科技、光通信、納米測量、顯微操作、納米壓印等。

技術參數

配套控制器

E53.D1C-H系列壓電控制器是一款模擬與數字式控制器，具有閉環伺服控制功能，是專為驅動配備電容式傳感器的壓電產品而研發設計。外形尺寸為148×125×27.5mm，供電為24VDC/1.5A。機身帶有散熱區域，可快速導出產生的熱量，且體積小巧，易于集成。

XD605.X90C電容式壓電平臺與E53.D1C-H電容閉環壓電控制器

審核編輯 黃宇