長鑫存儲科技有限公司“沉積設(shè)備、靜電卡盤、加熱系統(tǒng)及其控溫技術(shù)”
據(jù)天眼查披露，長鑫存儲技術(shù)有限公司于2024年4月5日發(fā)布了其關(guān)于“沉積設(shè)備、靜電卡盤、加熱機構(gòu)及其控溫方法”的專利，專利號為CN117821945A。
此項發(fā)明涉及一種新型沉積設(shè)備、靜電卡盤和加熱機構(gòu)，并提供了相應(yīng)的控溫方法。加熱機構(gòu)主要由導(dǎo)熱板、加熱組件及控制器組成。加熱組件包含至少兩個加熱元件，其中一個為主加熱元件，其他則作為備用。控制器負責(zé)控制各加熱組件的運行，并在主加熱元件發(fā)生故障時啟動備用加熱元件。當(dāng)某加熱組件的主加熱元件失效時，其備用加熱元件會立即投入使用，由于備用加熱元件與主加熱元件在導(dǎo)熱板上的位置基本重合，因此能夠有效防止加熱過程中出現(xiàn)中斷，確保導(dǎo)熱板受熱均勻，從而提高加熱機構(gòu)的穩(wěn)定性和控溫效果，進而保障產(chǎn)品的加工質(zhì)量。
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