目前芯片蝕刻是我國半導體行業的關鍵技術之一,芯片蝕刻主要是利用化學反應來蝕刻掉芯片表面不需要的部分,以實現芯片電路的制造。在半導體生產中會涉及到很多特殊氣體,而多數都有毒性和腐蝕性,如氯化氫、溴化氫、氟化氫等。
如何及時準確地檢測到有害氣體超標并快速告警,對于確保生產環境的安全和員工的生命健康具有重要作用,需要在現場部署有害氣體監測儀來實現24小時不間斷連續實時在線監測。對此,物通博聯提供基于工業物聯網的解決方案,助力實現工廠內各種有害氣體監測儀的數據采集與遠程監控,從而增強安全管理水平與響應能力。
根據國家政策標磚與行業生產要求,通常要求在抽風口或環境點安裝有害氣體監測儀,并接入自動控制系統PLC實現通風排期設備的相互互鎖動作,出現異常快速關閉所有氣源。其中設備運行狀態對于是否快速響應至關重要。
因此,通過將物通博聯工業智能網關部署在抽風口和環境點中,接入有害氣體監測儀、PLC中,進行實時數據采集并上傳到本地上位機或云平臺中,構建實時高效的通信網絡,能夠監測有害氣體超標并快速報警,從而采取措施及時管理控制,確保生產安全與生命安全。
企業預定設定報警閾值與通知方式,當網關采集到異常超標數據時就能自動報警并通過微信、短信、郵件、聲光等方式進行通知,從而提醒工作人員及時采取措施管理控制,通過停機停工、啟停風機等行動去保護自身,避免因人工監測誤差而導致的意外事故。
此外,通過實時數據與歷史數據的比較分析,結合運維工作經驗,合理調整設備運維周期與生產習慣,確保巡檢、維護等工單工作有序開展,更能借助數據分析實現預測性維護,更進一步增強安全管理水平,防患于未然。
審核編輯 黃宇
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