近日,上海交大化學院李學剛教授主導的1500噸/年二氯二氫硅(DCS)制甲硅烷生產線落戶通威股份子公司四川永祥能源科技有限公司。此舉標志著以該模型作為DCS制甲硅烷新工藝全球首個工業示范的正式啟動。
據悉,甲硅烷作為微電子、光電子領域的關鍵氣體,被廣泛應用于半導體芯片、顯示屏以及太陽能光伏等產業。同時,以甲硅烷為硅源前驅體的硅碳復合材料,被視為下一代高性能鋰離子電池負極材料的發展方向。
根據上海交大化學院發布的信息,傳統的甲硅烷生產工藝以三氯氫硅(TCS)為原料,經過歧化反應生成四氯化硅(STC),但存在效率低下、能耗較高的問題。李學剛教授團隊研發出以改良西門子法多晶硅工藝中氫化、還原等環節產生的DCS為原料,借助反應精餾多功能反應器制備甲硅烷的新型工藝。
他們成功解決了DCS原料除雜難題,實現了DCS歧化反應過程強化和反應進度有效調控,使得中間歧化產物TCS成為優勢副產物,最終歧化副產物STC的選擇性低于5%。
副產的TCS可返回多晶硅工段生產多晶硅,實現了甲硅烷工藝與改良西門子法多晶硅工藝的有機結合。相較于傳統TCS路線,新技術的固定資產投資和單位產品能耗分別降低了15%和60%以上。
四川永祥能源科技有限公司成立于2021年7月,隸屬于通威股份旗下四川永祥股份有限公司,專注于高純晶硅(多晶硅、單晶硅、電子級多晶硅)的研發、生產和銷售。
永祥股份在冷氫化、大型精餾節能、尾氣回收、熱能梯級綜合利用、氯氫元素閉路循環等技術領域擁有自主知識產權400余項,工藝技術已迭代升級至“第七代永祥法”。
其產品N型單晶純度高達90%以上,覆蓋電子級和太陽能級,純度達到99.999999999%,實現了高純晶硅的“中國智造”。
永祥股份是全球最大的高純晶硅生產商,基于自身業務需求,經過多次技術溝通和交流后,決定采用李學剛教授團隊研發的甲硅烷新技術建設工業示范裝置。上海韻申新能源科技有限公司擔任項目總包方(工藝包為單次許可)。
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