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探訪世界頂尖德國20nm晶圓工廠:匪夷所思的IC制造

454398 ? 來源:電子發燒友網 ? 作者:春波綠影 ? 2012-06-20 17:26 ? 次閱讀

電子發燒友網訊:星期五的早晨,一群記者從德累斯頓城市中心酒店步出,打算前往位于市郊的格羅方德的fab1 complex工廠。沿著一條狹窄的街道我們可以找到一個著名的教堂(圣母大教堂)。

德累斯頓Salzgasse大街的圣母大教堂

這個漂亮的教堂教育19世紀,在二戰中被被戰火毀滅。之后被重建,直到2005年才完工,它被看做是和諧的象征。

經過二十分鐘的長途跋涉,我們到達了格羅方德的FAB 1 complex工廠。

近距離接觸格羅方德的復雜的Fab 1。

這片區域是在1996年開辟出來的,第一條200mm的晶圓制造潔凈室與1999年在這里揭幕。這條潔凈室在不久以后就被清空了設備,并重新配置了300mm的半導體設備。這個目前只處理300mm直徑的晶圓。

因此它將來是否做450毫米的晶圓?這固然使這個地方避免成為一個被遺棄的晶圓廠,同時避免將所有的精力轉移到格羅方德在紐約的FAB 8。


歡迎來到格羅方德的 fab 1

今天的主持人,第一個發言者是Fab 1的副總裁和總經理Rutger Wijburg。他曾經在NXP工作過,在2011年10月1日加入了格羅方德,Wijburg整理出2011年間影響格羅方德28nm生產的幾個因素。他給記者們作了一個熱情的演講,在江湖中,他提及到在歐洲保留制造業的重要性。

格羅方德FAB 1的副總裁和總經理 Rutger Wijburg

Winburg同樣提到20nm硅晶圓生產fab和一個超過三十億美元擴張計劃去建立12000平方英尺的潔凈室以提高其制造能力,這就是為我們所知的Annex。

Fab1 complex的更多細節,之前的fab30和fab36屬于超威半導體公司。

黃光之下的世界

很少機會你可以進入正在運行的晶圓工廠。工程部經理通常都會非常保護他們的領域,同時會關注到在這樣一次到訪之后,故障率會大幅攀升。但允許進入的記者已經準備好了“全副裝備”,使用防脫落的潔凈室紙質筆記本和不接觸里面的任何東西。需要留意的是前端晶圓盒運送車在機器之間運送一箱一箱的晶片。FOUP是前端開啟時警員運送盒的簡稱,每個盒子里面的空氣都是額外干凈的,且每個盒子可以運送25個300mm直徑的晶圓。然而,這個簡稱在我們的詞匯里一般認作foup,一個現在已經有著其特定意思的詞。


德國的記者團,聆聽和記錄集成電路制作的復雜性。

黃色燈光是用來降低能量輸入到抵制和進程中。然而晶圓是在級旗艦運輸的。一個芯片制造商允許在其工廠拍照,而不顧忌泄露機密,這種做法實際上也是很罕有的。這個和接下來的照片都格羅方德里面的照片,在發布之前經過了仔細審查。

薄鋼板在適當的位置去減小負載,而更多的設備是帶來負載的。

擴張的模件仍然相當空,然而一些設備已經適合用,同時其他的已經合格了。

格羅方德的向導說更多有版港版制造的設備已經在運送過來,用來減弱負載,同時減小對地板的傷害。



把他帶到橋上

一個芯片生產所需的直徑為30mm的晶圓

格羅方德的fab 1的五個潔凈室都是通過高架橋連接的,這樣的話潔凈室的清潔度得到保證。



獵奇者的獎勵

在餐館德累斯頓的潔凈室的過程穿這個帶有服裝。手套、頭套和口罩的清潔服最后終于得到了回報,我們瞥見了在高處的foup-運輸工具,編號001.

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