近日，中微晶園成功研發出基于Cavity-SOI工藝的MEMS絕壓壓力傳感器產品，可應用于高度計、無人機、充氣泵、汽車胎壓監測等領域。該系列化產品采用了先進的Cavity-SOI工藝，結合了MEMS技術的創新設計與精湛工藝，具有高精度、高可靠、低功耗、穩定性強、抗干擾能力強、工作溫度范圍廣泛、芯片尺寸微型化等突出特點。這標志著中微晶園在MEMS技術領域又一次獲得了重大突破，填補了公司高端壓力傳感器的空白，拓展了公司高精度、高可靠產品的種類，提升了公司壓力傳感器產品的市場競爭力，為未來的MEMS壓力傳感器產品系列化發展打下堅實基礎。
團隊目前正在進行絕壓產品壓力量程系列化拓展，預計6月底前完成100~2000kPa絕壓壓力量程產品全覆蓋及量產化，產品應用領域涵蓋汽車工業、工業自動化、醫療設備等。中微晶園定當不負眾望，披荊斬棘，致力于技術創新和產品優化，為客戶提供更多高性能、高可靠性的MEMS傳感器產品。
審核編輯：劉清
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原文標題：奮力拼搏，勇攀高峰丨中微晶園成功研發基于Cavity-SOI工藝的MEMS絕壓壓力傳感器系列化產品
文章出處：【微信號：CETC-CKS，微信公眾號：中科芯集成電路有限公司】歡迎添加關注！文章轉載請注明出處。
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