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用于芯片制造的襯底類型有哪些,分別用在哪些產品中?

中科院半導體所 ? 來源:Tom聊芯片智造 ? 2024-05-23 11:49 ? 次閱讀

襯底(substrate)是由半導體單晶材料制造而成的晶圓片,襯底可以直接進入晶圓制造環節生產半導體器件,也可以進行外延工藝加工生產外延片。

襯底的類型有哪些,分別用在哪些產品中?

芯片種類繁多,并不是只有單晶硅片做襯底,不同類型的襯底根據其特性被用于不同的芯片產品。對于其他襯底大多數人知之甚少,下面詳細介紹下。

基板(襯底)種類匯總

1,單晶硅片

目前最普遍的襯底材料,廣泛用于制造集成電路IC)、微處理器、存儲器、MEMS器件、功率器件等

2,SOI襯底

用于高性能、低功耗的集成電路,如高頻模擬數字電路、RF器件和電源管理芯片。

3,SiGe襯底

SiGe ,鍺硅,是一種硅和鍺任意摩爾比的合金,分子式為 Si 1? x Ge x,常用外延的方式制作。用于異質結雙極晶體管,混合信號電路,射頻等領域。

4,化合物半導體襯底

砷化鎵襯底(GaAs):微波和毫米波通信器件等 氮化鎵襯底(GaN):用于射頻功率放大器,HEMT等 碳化硅襯底(SiC):用于電動汽車、電源轉換器等電力器件

磷化銦襯底(InP):用于激光器、光探測器等

5,藍寶石襯底

用于LED制造、RFIC(射頻集成電路)等

6,鍺襯底

用于紅外光電器件

7,LN(鈮酸鋰)

用于聲表濾波器,mems等

8,LT(鉭酸鋰)

用于聲表濾波器,mems等

9,玻璃基板

用于LCD、OLED、光學濾波器等



審核編輯:劉清

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原文標題:用于芯片制造的基板(襯底)有哪些種類?

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