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三星、SK海力士探索激光解鍵合技術

CHANBAEK ? 來源:網絡整理 ? 2024-07-12 09:29 ? 次閱讀

半導體技術的浩瀚星空中,三星電子與SK海力士正攜手點亮一顆璀璨的新星——高帶寬存儲器(HBM)晶圓工藝技術的重大革新。據韓媒最新報道,這兩家行業巨頭已正式邁入下一代HBM的技術探索之旅,其核心在于引入一種旨在防止晶圓翹曲的新技術,這一變革預示著HBM制造領域的新篇章。

技術革新:激光解鍵合技術的崛起

半導體制造的精密工藝中,晶圓解鍵合是一項至關重要的環節,它關乎到最終產品的質量與性能。傳統上,這一過程依賴于機械方式,即使用刀片將主晶圓與載體晶圓分離。然而,隨著HBM層數的不斷增加,如12層乃至16層的堆疊設計,晶圓變得越來越薄,傳統機械解鍵合方法逐漸顯露出其局限性。當晶圓厚度降至30微米以下時,機械剝離不僅效率低下,更存在損壞晶圓的風險,從而增加了后續蝕刻、拋光、布線等工藝步驟的復雜性和成本。

正是在這一背景下,三星電子與SK海力士攜手合作伙伴,共同探索激光解鍵合技術的新路徑。激光解鍵合,顧名思義,是利用激光的高能量密度特性,以非接觸的方式精確地將晶圓從載體上分離,從而避免了機械剝離可能帶來的損傷。這一技術的引入,不僅解決了超薄晶圓剝離的難題,更為HBM的進一步小型化、高性能化提供了有力支撐。

供應鏈變革:新材料與新設備的涌現

技術革新往往伴隨著供應鏈的重塑。隨著激光解鍵合技術的逐步應用,相關的材料和設備供應鏈也將發生深刻變化。傳統的機械解鍵合設備市場,主要由日本東京電子和德國SüSS MicroTec等少數幾家企業主導,而激光解鍵合技術的興起,則有望吸引更多新玩家加入,形成更為激烈的競爭格局。

同時,針對激光解鍵合的特殊需求,晶圓解鍵合粘合劑也需進行相應升級。美國3M、日本信越化學、日產化學等業界領先企業,正積極研發適應激光解鍵合工藝的新型粘合材料,以確保晶圓在剝離過程中的穩定性和安全性。

展望未來:HBM4與更廣闊的應用前景

作為下一代HBM的標志性產品,HBM4在堆疊DRAM存儲器的底部采用了基于系統半導體的“基礎芯片”,這一設計對工藝精度和晶圓厚度提出了更高要求。因此,激光解鍵合技術被視為HBM4制造過程中的理想選擇。隨著技術的不斷成熟和供應鏈的逐步完善,HBM4有望在AI服務器、高性能計算等領域得到廣泛應用,進一步推動相關產業的快速發展。

綜上所述,三星電子與SK海力士在HBM晶圓工藝技術上的這一重大革新,不僅展現了企業在技術創新方面的卓越實力,更為整個半導體行業帶來了新的發展機遇和挑戰。隨著激光解鍵合技術的深入研究和廣泛應用,我們有理由相信,未來的HBM將更加小型化、高性能化,為人類社會帶來更加豐富的科技體驗。

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