隨著工業的迅猛發展，精密測量技術的重要性日益凸顯。位移測量作為幾何量精準測定的關鍵，不僅要求極高的測量精度，還必須適應多樣化的環境條件及材料特性，同時趨向于實現實時、無損傷的檢測方式。相較于傳統的接觸式測量技術，光譜共焦位移傳感器以其高速、高精度和強適應性等顯著優勢脫穎而出。本文將深入探討光譜共焦位移傳感器在光伏板硅片測量領域的應用。

硅片對射厚度檢測

檢測需求：

1． 對射安裝測試硅片的厚度。

2． 精度要求0．005mm

3． 速度要求：1s測試一片料

行業應用|立儀光譜共焦對光伏板硅片厚度測量

檢測方式：雙鏡頭對心安裝，利用一個標準厚度的標定塊，傳感器記錄下這個標準厚度，進行標定。然后將產品進行測量，動態測量多個點位，將多個點位的值保存下來，去除最大值最小值，然后余下的數據做平均。

行業應用|立儀光譜共焦對光伏板硅片厚度測量

檢測結果：測試五片料32組靜態重復性數據：靜態重復精度最大值為2.013μm；

光伏板硅片柵線厚度測量

測量需求：測量太陽能光伏板硅片刪線的厚度（難點：柵線不是一個平整面，自身有一定的曲率，對測量區域的選擇隨機性影響較大）。

行業應用|立儀光譜共焦對光伏板硅片厚度測量

測試方法：單探頭在二維運動平臺上進行掃描測量——將需要掃描測量的硅片選擇三個區域進行標記，用光譜共焦單探頭單側測量（柵線厚度是柵線高度-基底的高度差），掃描過程中得到柵線的輪廓圖，柵線厚度=柵線高度與硅片基底的高度差。

行業應用|立儀光譜共焦對光伏板硅片厚度測量

行業應用|立儀光譜共焦對光伏板硅片厚度測量

測量結果：測量結果數據對比最大誤差區間為0.001μm左右。

審核編輯 黃宇