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泛林集團推出第三代低溫電介質蝕刻技術Lam Cryo 3.0,助力3D NAND邁向千層新紀元

CHANBAEK ? 來源:網絡整理 ? 作者:網絡整理 ? 2024-08-05 09:31 ? 次閱讀

半導體技術日新月異的今天,美國領先的半導體設備制造商泛林集團(Lam Research)再次引領行業創新,正式推出其經過嚴格生產驗證的第三代低溫電介質蝕刻技術——Lam Cryo 3.0。這一里程碑式的技術突破,不僅鞏固了泛林集團在3D NAND閃存蝕刻領域的霸主地位,更為全球存儲技術的未來發展鋪設了堅實的基石。

Lam Cryo 3.0作為泛林集團深厚技術積累的結晶,是對其高深寬比蝕刻解決方案(如Flex和Vantex系列)的一次重大升級。該技術集成了最先進的硬件設計與智能軟件算法,實現了前所未有的介電蝕刻精度與穩定性,確保了蝕刻過程的均勻性、可重復性以及極低的缺陷率。這些特性對于構建復雜而精密的3D NAND結構至關重要,尤其是在面對未來1000層乃至更高層數的技術挑戰時,其重要性更是不言而喻。

針對1000層3D NAND所帶來的極端蝕刻要求,Lam Cryo 3.0進行了深度優化,能夠有效應對因層數激增而帶來的熱管理難題、蝕刻深度控制挑戰及表面形貌控制復雜性等。這一技術突破不僅提升了生產效率,降低了生產成本,更為3D NAND閃存向更高容量、更低功耗的進化路徑掃清了技術障礙。

隨著Lam Cryo 3.0的推出,泛林集團正攜手全球存儲產業伙伴,共同開啟3D NAND閃存技術的新篇章,推動數據存儲技術邁向更加輝煌的千層時代。

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