應(yīng)用

在半導(dǎo)體制造過程中，晶圓的質(zhì)量控制至關(guān)重要。晶圓缺陷檢測系統(tǒng)是確保產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵工具之一。該系統(tǒng)主要利用非接觸式激光傳感器對晶圓進(jìn)行缺陷測試，通過同步位置信號和傳感器信號來確定缺陷的具體位置。

挑戰(zhàn)

同步精度：實(shí)現(xiàn)位置信號與傳感器信號的高度同步，是精準(zhǔn)檢測缺陷的關(guān)鍵。位移傳感器和激光傳感器必須在微秒級別的精度下協(xié)同工作，才能保證檢測結(jié)果的可靠性。

數(shù)據(jù)采集精度：傳感器的精度非常高，達(dá)到了千分之一的精度，這對數(shù)據(jù)采集設(shè)備提出了更高的要求。采集設(shè)備不僅需要與傳感器匹配，還必須能夠處理大量的高精度數(shù)據(jù)，以確保檢測結(jié)果的準(zhǔn)確性。

解決方案

針對這些挑戰(zhàn)，簡儀提供了一套有效的解決方案。使用PCIe-5515搭配數(shù)字重觸發(fā)功能，可以將位置傳感器的信號發(fā)送到數(shù)字觸發(fā)口。這樣，在觸發(fā)的時(shí)刻可以快速采集數(shù)據(jù)并進(jìn)行分析，從而實(shí)現(xiàn)位置信號與數(shù)據(jù)的同步。此外，5500系列數(shù)采模塊即使在高采樣率下也能保持極高的精度，能夠?qū)`敏的傳感器信號進(jìn)行高精度采集。后期通過加入濾波等功能進(jìn)一步優(yōu)化信號處理，確保了數(shù)據(jù)采集的準(zhǔn)確性和可靠性。

使用的簡儀產(chǎn)品

硬件

PCIe-5515：16通道模擬輸入，2通道模擬輸出，24通道數(shù)字輸入輸出，高精度數(shù)據(jù)采集模塊。具有數(shù)字重觸發(fā)功能，確保數(shù)據(jù)采集的精準(zhǔn)同步。

5500系列數(shù)采模塊：提供高精度、高采樣率的數(shù)據(jù)采集能力，支持靈敏傳感器的信號采集。

軟件

開源免費(fèi)的銳視測控軟件平臺

為什么選擇簡儀

銳視測控平臺：提供了一個(gè)強(qiáng)大且易于使用的開發(fā)環(huán)境，幫助客戶快速實(shí)現(xiàn)項(xiàng)目開發(fā)。

快速開發(fā)：基于銳視開發(fā)軟件，客戶可以迅速完成從概念到實(shí)際應(yīng)用的轉(zhuǎn)變。

成熟的產(chǎn)品：簡儀產(chǎn)品經(jīng)過長期市場驗(yàn)證，具有可靠的性能和穩(wěn)定性。

POC驗(yàn)證服務(wù)：簡儀提供售前的POC驗(yàn)證服務(wù)，幫助客戶驗(yàn)證產(chǎn)品性能和適用性。

供貨速度：簡儀能夠快速供貨，確保項(xiàng)目按時(shí)進(jìn)行。

技術(shù)支持和快速響應(yīng)能力：簡儀提供優(yōu)質(zhì)的本地化技術(shù)支持，快速響應(yīng)客戶需求，幫助客戶解決問題，確保了測試任務(wù)的順利進(jìn)行。

通過采用簡儀的解決方案，客戶成功克服了晶圓缺陷檢測系統(tǒng)中的挑戰(zhàn)，實(shí)現(xiàn)了缺陷的精準(zhǔn)定位和高效數(shù)據(jù)采集。簡儀的產(chǎn)品不僅滿足了系統(tǒng)所需的高性能技術(shù)需求，還通過完善的服務(wù)和支持簡化了開發(fā)流程，加速了項(xiàng)目的落地實(shí)施。