韓媒BusinessKorea昨日報道,三星有意一口氣買下10臺單價為1.76億美元的EUV。三星如果真的這樣做,那就會提升其在7nm等先進工藝上的領先優勢。這一方面是由于EUV設備是未來集成電路發展的關鍵,另一方面則在于三星如果真能買下10臺,那么臺積電、Intel和格芯等廠商則會面臨幾乎未來一年內無EUV設備可買的風險。
因為根據EUV設備唯一供應商——荷蘭ASML的消息顯示,他們每年大概能生產12臺EUV設備。考慮到三星之前已經快對手一步購入了一些EUV設備,使得韓媒做出了這樣的猜測。但三星的計劃真的得逞嗎?
巨頭們的EUV布局,未來勝負的關鍵
在摩爾定律的指導下,經歷數十年發展的集成電路開始面臨瓶頸:工藝制程進入10nm之后,過往的可見光光刻技術似乎不能應對如此小的溝通,因此業界將目光投向了EUV(極紫外光)光刻。
利用這種波長為13.4nm的光源打造的EUV光刻設備能夠在晶圓上刻上先進工藝所需的電路。于是包括臺積電、三星、Intel和格芯在內的幾大先進晶圓代工廠都將目光投向了這個設備,并說出了他們在EUV光刻機上的布局和規劃:
首先在臺積電方面,雖然臺積電他們透露已經在7nm研發上使用了7nm工藝,并實現了EUV掃描機、光罩和印刷的集成。但根據臺積電聯席CEO 劉德銀在2016年的某會議上的演講透露,臺積電方面認為EUV光刻工藝直到2020年才能有效量產。按照臺積電的路線圖,也就就是說,臺積電會在5nm上采用EUV工藝取代現在的傳統光刻。已達到在新工藝上提高密度,簡化工藝并降低成本的目的。
來到三星這邊似乎則更為激進。在之前的報道中我們看到,三星計劃在7nm制程中采用EUV光刻。在ASML與今年7月的半導體設備站上宣布突破了250瓦EUV光源的瓶頸后(光源功率(source power)──也就是傳送到掃描機以實現晶圓曝光的EUV光子(photon)數量之量測值──直接等同于生產力,芯片制造商一直以來都堅持250瓦的光源功率是達成每小時125片晶圓(WPH)生產量的必要條件,即production-ready。),三星宣布將會在2018年推出使用EUV等先進制造技術的7nm新工藝。
來到Intel方面,作為制造巨頭,英特爾在先進制程方面的引進相當克制。在早前的制程大會上,在問到EUV的布局上面,英特爾方面表示,從他們方面看來,EUV光刻的產能和配套服務,目前還不能符合量產需求,因此他們會保持對新設備的關注,在適合的時候會進行公布。
來到格芯方面,在今年六月份,格芯公布了他們的7nm進度,根據他們的Roadmap,他們將會在2018年進入7nm,但是這時候用的是DUV技術,根據他們的布局,會在2019年引入EUV技術。
三星真能壟斷EUV光刻機?BusinessKorea的報道顯示,ASML從2000年開始就投入了EUV光刻的研究。在研發早期,三星和Intel就對ASML提供了極大的支持。
在2012年8月,三星宣布加入了ASML的客戶聯合投資計劃。根據協議規定,三星承諾在未來五年內(從2012年算起),向ASML的次時代微影技術投入2.76億歐元,占整個項目13.8億歐元籌款目標的15%。與此同時三星向ASML投資了5.03億歐元,取得ASML約3%股權。
但到了2016年,三星宣布出售價值約6.06億歐元的ASML股權,這占了當時ASML整體股權的1.45%。也就是說三星手上的ASML股權大約剩下1.55%。
英特爾方面也加入了三星的客戶聯合投資計劃,根據當時的報道,Intel參與ASML的計劃分為兩期,第一期目標為Intel投資5.53億歐元(6.8億美元)協助ASML開發18英寸晶圓制造工具,同時Intel將以17億歐元(21億美元)的代價收購ASML公司大約10%的盤前交易已發行股票。
第二期目標還要等ASML股東批準,它包括額外的2.76億歐元(3.4億美元)的有關EUV技術的R&D研發資金,以及價值8.38億歐元(10億美元)的5%盤后交易已發行股票。屆時Intel將持有ASML 15%股份,整個產權交易價值約為25億歐元(31億美元)。
作為協議的一部分,Intel需要提前購買ASML的450mm晶圓及EUV開發、生產工具。
臺積電方面也同時參與。當時消息顯示,臺積電將以8.38億歐元購買ASML的5%股權,并同意在下一代光刻技術如超紫外技術和450毫米光刻設備的研發上向ASML投資2.76億歐元。不過臺積電在2015年全部處理了ASML 股權,獲利6.95 億美元。
至于格芯方面,從公開信息查找,似乎他們并沒有參與這個計劃。
如果光從股權上看,則是Intel、三星、臺積電三者按照從先到后,如果這些股份占有董事會的決策權的話,那么Intel在ASML中的話事權似乎更大,三星想一下子包攬所有的EUV設備,是否會獲得來自Intel等的阻撓,這未能盡知。
這些基于股權話事的說法是來自作者的猜測,不過按照常理,Intel和三星等投入到ASML的計劃和股份中,除了推動EUV的進展,共同受益外,在未來競購中處于領先地位,應該也是他們前赴后繼投入的一個重要原因。
當然,至于隱藏在后面的具體細則,作者未能得知,希望有知情者透露。
我們不妨從EUV之前的購買狀況來分析一下。
根據ASML的公開信息顯示, 2016年第四季度賣掉了6臺EUV光刻機,而根據分析師透露,當中的五臺都是賣給了臺積電。
三星方面無疑是最大買主,據相關消息透露,他們已經購入了超過十臺的EUV設備,并將其裝設于韓國華城市的18號生產線(Line 18)全力搶占晶圓代工版圖。
至于英特爾方面,和他們的EUV規劃一樣,沒有消息透露他們買了多少臺設備,但在2015年,有消息泄露有美商一口氣買了好幾臺EUV光刻機。有人就猜測那是Intel。
至于格芯方面的具體布局依然是沒有消息源可尋。
正如開頭所說,ASML今年的EUV產能是12臺,全部銷售一空,但他們在明年會將產能提升到24臺。但根據ASML在7月發布的報告顯示,他們擠壓的EUV訂單已經達到了21臺。考慮到現在晶圓廠的競爭情況,未來的競爭肯定會加劇的。
綜上所述,三星想一口氣買下所有的EUV光刻機,也許只是一個大膽的設想。不過考慮三星之前斥巨資壟斷了OLED生產關鍵設備供應商CanonTokki多年的產能,可以看出三星再次做出這種事也有很大可能。通過內存瘋長掙得盤滿缽滿的韓國巨頭現在真可謂是財大氣粗,況且對ASML來說,Business is business,和誰不是做生意呢?
不知道大家怎么看到三星這個“陽謀”?
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原文標題:狠,三星想買斷所有EUV機臺 !
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