是德科技(Keysight Technologies, Inc.)近期發(fā)布了一款名為4881HV的高壓晶圓測試系統(tǒng),進一步豐富了其半導體測試產品線。該系統(tǒng)能夠在單次測試中高效地覆蓋從低壓到高達3kV的高壓參數(shù)測試,顯著提升了功率半導體制造商的生產效率。
以往,制造商在測試晶圓時,需要分別使用高壓和低壓測試設備。然而,隨著市場對多功能、高性能功率半導體以及新一代半導體器件如碳化硅(SiC)和氮化鎵(GaN)的需求快速增長,客戶急需一種能更準確、高效地測試設備并縮短產品上市時間的解決方案。
是德科技的這款新測試系統(tǒng)正是為了解決這些挑戰(zhàn)而設計的。它允許功率器件制造商在生產過程中執(zhí)行PCM和WAT操作。這款全新的測試系統(tǒng)具備以下顯著優(yōu)勢:
首先,其高壓性能滿足了未來需求。高壓開關矩陣(HV-SWM)可支持高達3kV的測試要求,并可擴展至29個引腳,同時與精密的源測量單元(SMU)實現(xiàn)無縫集成。這一特性使得系統(tǒng)能夠在任何引腳上實現(xiàn)從低電流到亞皮安(pA)級分辨率,直至3kV高壓的靈活測試。此外,該系統(tǒng)還支持高壓電容測量和各種參數(shù)測試。
其次,一次性測試提高了生產效率。HV-SWM允許使用單一的測試系統(tǒng)替代傳統(tǒng)的高壓和低壓測試系統(tǒng)組合,不僅提高了工作效率,還顯著減少了測試所需的場地和時間。同時,該系統(tǒng)通過與是德科技的SPECS-FA軟件無縫集成,進一步提升了整體生產流程的效率。
最后,該系統(tǒng)具備更高的安全性和可靠性。測試系統(tǒng)內置了保護電路和機器控制措施,確保操作人員和設備在測試過程中不會受到高壓浪涌的影響。同時,該系統(tǒng)還嚴格遵循包括SEMI S2標準在內的各項安全法規(guī),確保使用過程中的安全性與可靠性。
是德科技晶圓測試解決方案業(yè)務副總裁兼總經理Shinji Terasawa表示:“是德科技在測試先進半導體方面有著豐富的經驗,我們很高興推出這款全新的功率半導體晶圓測試系統(tǒng)。我們的使命是通過提供前沿的解決方案,不斷滿足半導體行業(yè)快速變化的需求,并引領市場的發(fā)展。這一創(chuàng)新成果體現(xiàn)了我們對行業(yè)的堅定承諾。”
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