雙層膠工藝是什么
文章來源：Tom聊芯片智造
原文作者：Tom
隨著線條寬度的不斷縮小，為了防止膠上圖形出現太大的深寬比，提高對比度，應該采用很薄的光刻膠。但薄膠會遇到耐腐蝕性的問題。由此開發出了 雙層光刻膠技術，這也是所謂超分辨率技術的組成部分。
涂雙層膠一般不是為了增加厚度，如果僅僅為了增加厚度，完全沒必要做雙層，因為雙層膠工藝難度極大，而且各種厚度的光刻膠都可以買到。而雙層膠工藝一般是在Lift-off工藝中使用的較多。
一般的lift off膠分辨率較低，如下圖所示，無法做更精細的結構：
而雙層膠結構可以看出上層膠的開口較小，而下層膠的開口較大，這樣在鍍膜的時候，可以做出的圖形更小。
雙層膠的工藝是什么樣的？
1，底層膠涂覆，烘烤
2，第二層膠涂敷，烘烤
3，曝光
4，顯影
為什么下面的膠溶解的更多？
該雙層膠，上層是光刻膠，可曝光可顯影，下層膠不感光但可溶于堿溶液。顯影時，先將上層的光刻膠顯影出圖案，之后顯影劑開始以各向同性方式溶解底層。這樣就制作出了上下兩層開口不同的效果。
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原文標題：雙層膠工藝是什么？
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