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eXcelon ?工藝介紹

jf_64961214 ? 來源:jf_64961214 ? 作者:jf_64961214 ? 2024-10-24 06:27 ? 次閱讀

eXcelon ? 和eXcelon ? 3 技術是一種傳感器工藝,可從根本上提高背照式CCD 和EMCCD 探測器在寬光譜范圍內的靈敏度。這兩種技術都顯著減少了標準具效應(由設備背面薄化硅中的相長和相消性推理引起的條紋出現問題),同時在 750 – 1100 nm 范圍 (NIR) 范圍內成像。

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主要特點

增強靈敏度

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eXcelon 技術比標準薄型背照式 CCD 在更寬的波長范圍內提高了靈敏度。通過提高 500 nm 以下和 625 nm 以上的靈敏度,eXcelon 能夠獲得 15-20% 的最大量子效率提升。

減少標準具和暗電流

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eXcelon 技術減少了 NIR 波長范圍內薄型背照式 CCD 傳感器上存在的標準具。

此外,采用 eXcelon 技術的薄型背照式 CCD 傳感器能夠提供比深耗盡型背照式傳感器更低水平的暗電流,同時在較低波長下保持高量子效率。

eXcelon3

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eXcelon3 為 EMCCD 探測器開發。傳統的背照式 EMCCD 具有單光子靈敏度,但它們在紫外和近紅外區域缺乏高 QE,并且在近紅外區域存在標準具效應。

eXcelon3 克服了這兩個限制,將 UV 區域的 QE 提高了 3 倍,將 NIR 區域的 QE 提高了 1.3 倍。

它還可以將標準具降低高達 70%,峰峰值條紋幅度低于 10%。

審核編輯 黃宇

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