單晶硅、多晶硅、藍寶石等晶體生長基礎促進了半導體工業和電子工業的發展。晶體生長是指氣相、液相物料在穩定溫度環境中轉換成固相晶體的過程。其中生長爐內的溫度控制對晶核的形成與生長質量十分重要,既要確保溫度恒定,防止過冷或過熱,也有確保隨時可控,實現不同溫度梯度的生長需求。
對此,數之能提供接入溫控儀PLC的數據采集解決方案,實現晶體生長全過程的溫度實時監控、異常告警、遠程控制、遠程維護等功能,為企業提供高效可靠的管理手段,確保晶體生長的安全可靠。
實現功能
實現對爐內溫度、真空狀態、冷卻水流量、晶體質量以及設備電力參數(電壓、電流)的全面數據采集,并在可視化平臺上進行直觀展示,使管理人員能夠迅速掌握設備運行狀態,及時發現并應對任何異常情況。
系統具備異常數據監測功能,一旦檢測到異常,將立即通過微信、短信、電子郵件等多種通訊方式向管理人員發送警報,以便他們迅速定位問題、采取應對措施,確保設備的安全穩定運行和產品質量的安全可控。
支持遠程對長晶爐進行操控與維護,包括遠程編程、調試、程序上傳與下載等操作,提高工作效率與靈活性,降低運維成本,使相關工作得以更加便捷地開展。
采集的數據將被存儲至數據庫、MES及ERP系統中,為后續的數據分析與產能優化提供有力支持,幫助技術人員深入洞察生產過程中的規律與趨勢,優化生產工藝和參數配置。
審核編輯 黃宇
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