(1)傳統8寸晶圓加工過程中涉及幾十道工序,目前都是采用人工搬運,容易產生污染物導致晶圓損壞,速度也比較慢,不良率很高。
(2)在半導體制造過程中,天車需要與多種設備和工序進行協同與配合。如果不同工序間的協同不順暢或配合不緊密,可能導致生產效率下降和產品質量問題。
晨控提供的解決方案:
(1)在半導體天車的行車軌道節點上安裝RFID讀寫器CK-S650-PA60S,當天車搬運FOUP晶圓盒經過軌道節點時自動識別晶圓盒內的TI標簽,確保所搬運的晶圓盒信息準確無誤。
(2)FOUP晶圓盒上安裝TI載碼體標簽,記錄了晶圓芯片的所有信息,如晶圓尺寸、制造日期、流程信息等,在搬運過程中,RFID讀寫器會將讀取到的信息實時上傳到管理系統。這樣管理人員可以實時掌握晶圓盒的搬運情況,并在必要時進行干預或調整,從而提高整體的工作效率。
(3)天車在封閉的軌道內運行,可以大大減少晶圓暴露在外界環境中的風險,從而有效避免污染問題,提高產品的良率。
晨控CK-S650系列讀寫器特點
●讀寫器采用高強度的鋁合金外殼,具有識別速度快、準確率高、識別距離適中、組網方便等特點,能完全平替歐姆龍V640系列產品。
●豐富的接口和協議:RS232/RS485/以太網、支持標準工業半導體HSMS、ModbusTCP協議,同時還支持1和N協議。
●操作方便:設備外置了三個模式開關選擇器,方便用戶直接設置工作模式、通信速率以及設備地址。讀卡器內部集成了射頻部分通信協議,用戶只需通過RS232/RS485/以太網通信接口發送接收數據便可完成標簽的讀取操作,無需理解復雜的射頻通信協議。
審核編輯 黃宇
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