如何提高防震基座的安裝精度？-江蘇泊蘇系統集成有限公司

一：安裝前的準備工作

1，精確測量與場地準備

（1)在安裝防震基座之前，需要對安裝場地進行精確測量。使用高精度的水準儀、經緯儀或全站儀等測量儀器，測量地面的平整度和水平度，確保地面的平整度誤差在允許范圍內。例如，對于高精度半導體設備的防震基座安裝，地面平整度誤差一般要求控制在 ±1mm/m 以內。

(2)根據設備的布局和防震基座的尺寸，在地面上精確標記出基座的安裝位置。標記應清晰、準確，誤差不超過幾毫米，為后續的安裝提供準確的參考。

2,基座和設備的檢驗

(1）對防震基座本身進行質量檢驗，檢查其尺寸精度、表面平整度、材料質量等。例如，檢查基座的平面度，使用塞尺或光學平面度測量儀，確保平面度誤差符合設備要求，一般高端半導體設備防震基座平面度誤差要求在 ±0.02mm 以內。

（2）對即將安裝的設備進行檢查，了解設備的重心位置、重量分布、底部接口形狀和尺寸等信息。根據設備的特點，提前確定安裝方式和調整措施，確保設備與防震基座能夠精準匹配。

3，安裝工具和材料準備

（1）選擇高精度的安裝工具，如激光水平儀、高精度扭矩扳手等。激光水平儀能夠提供精確的水平和垂直參考線，幫助安裝人員調整基座的位置；高精度扭矩扳手可以確保螺栓擰緊力矩符合要求，保證基座的連接穩定性。

（2）準備合適的安裝材料，如高精度墊片、地腳螺栓等。墊片的厚度精度應能達到微米級別，用于精確調整基座的水平度和高度；地腳螺栓的材質和規格應符合設計要求，確保牢固連接基座和地面。

二：安裝過程中的操作要點

1，精確安裝定位

（1）利用激光對準技術或精密定位銷等方式，將防震基座精確地放置在預先標記好的安裝位置上。在放置過程中，要緩慢、平穩，避免碰撞導致基座位置偏移。例如，對于一些小型精密的防震基座，可以使用光學對準系統，將基座上的定位標記與地面上的標記精確對準，定位精度可達到 ±0.1mm。

（2）對于有多個防震基座的大型設備安裝，要使用高精度的測量工具，如電子水平儀，確保各個基座之間的水平度和高度差在允許范圍內。一般要求相鄰基座的高度差不超過 ±0.05mm，以保證設備安裝后的整體穩定性。

2，精細調整與找平

（1）在初步定位后，使用高精度墊片對防震基座進行精細調整。通過在基座底部不同位置添加或更換不同厚度的墊片，調整基座的水平度和高度。在調整過程中，持續使用水平儀進行監測，直到基座的水平度達到設備要求。例如，在安裝光刻機的防震基座時，水平度誤差可能需要控制在 ±0.01mm/m 以內。

（2）對于需要精確垂直安裝的基座，使用經緯儀或激光鉛垂儀進行垂直度調整。調整過程中要注意多個方向的垂直度，確保基座在各個平面內的垂直度都符合要求，以保證設備安裝后的正常運行。

3，牢固連接與固定

（1）使用地腳螺栓將防震基座牢固地固定在地面上。在擰緊螺栓時，要按照規定的扭矩值，使用高精度扭矩扳手進行操作，確保每個螺栓的擰緊力矩一致。例如，對于一些重型半導體設備的防震基座，地腳螺栓的擰緊力矩誤差應控制在 ±5% 以內，以保證基座與地面的連接強度和穩定性。

（2）對于采用焊接方式連接的部分，要選擇合適的焊接工藝和材料，確保焊接質量。焊接后要進行無損檢測，如超聲波探傷或射線探傷，檢查焊接部位是否存在缺陷，保證連接的可靠性。

三：安裝后的檢查與校準

1，安裝質量檢查

（1）安裝完成后，使用高精度的測量儀器對防震基座的安裝精度進行全面檢查。包括檢查基座的水平度、垂直度、平面度以及與相鄰基座的相對位置關系等。檢查結果要與設備安裝要求進行對比，確保所有參數都在允許范圍內。

（2）對基座與設備的連接部位進行檢查，查看是否有松動、變形或間隙過大等情況。如果發現問題，要及時進行調整和修復，避免在設備運行過程中出現振動或位移。

2，設備安裝后的校準

（1)在設備安裝到防震基座上之后，要對設備進行校準。對于一些有高精度要求的設備，如光刻機、電子束曝光機等，要使用設備自帶的校準系統或專業的校準工具，對設備的關鍵參數進行校準。例如，光刻機需要校準曝光劑量、焦距等參數，確保設備在防震基座上能夠正常運行，達到預期的生產精度。

(2)根據設備的運行要求和安裝精度標準，進行空載和負載試運行。在試運行過程中，監測設備的振動情況、運行穩定性和產品質量等指標。如果發現異常振動或產品質量下降等情況，要及時分析原因，可能需要對防震基座的安裝精度進行再次調整。