在半導體制造的復雜工藝中，超純試劑和超純氣體是保障晶圓表面清潔與蝕刻精度的核心材料。然而，痕量金屬雜質如Fe、Cu、Na等卻成為制約晶圓廠良率提升的關鍵因素。

季豐電子CA實驗室以領先的技術優勢，可助力晶圓廠攻克這一難題，為客戶提供專業的超純試劑與氣體管道金屬雜質檢測服務。

一半導體制造中的檢測需求

1超純試劑的關鍵作用

● SC1、BOE、DHF等超純試劑被廣泛用于清潔和蝕刻硅片表面，去除顆粒、氧化層以及金屬化污染物，確保硅片表面疏水性的形成。

● 精準的配比與痕量金屬檢測是提升制程良率的重要保障。

2超純氣體的核心價值

● 氮氣作為惰性吹掃氣體，保護硅片免受活性氧和水分的影響。

● 微量金屬雜質對半導體器件性能與可靠性造成顯著影響。

二CA實驗室的技術優勢

1專業的樣品前處理方式

● 純凈度保障：避免引入額外雜質。

● 多種前處理手段：如直接進樣、稀釋進樣、超純水稀釋等，針對不同樣品需求提供精準處理方案。

2高靈敏度檢測技術

● 安捷倫ICP-MS/MS & ICP-OES設備：

● ppb甚至ppt級別的檢測限，精準識別痕量金屬雜質。

● 雙重質量過濾消除干擾，保障實驗結果可靠性。

● 多元素同步檢測：快速分析多種金屬雜質，適應半導體多樣化需求。

3顆粒度測試能力

? 超精密光學系統：精準識別0.1微米以上顆粒。

? 高效穩定：確保生產線上每次檢測結果一致。

4定制化服務

● 提供針對超純氣體管道、超純試劑的采樣與檢測方案，如氣袋法和吸收液法。

● 確保檢測方案與晶圓廠具體需求無縫銜接。

5快速響應機制

● 實驗室保證快速響應客戶需求，縮短檢測周期，為生產過程保駕護航。

三總結

CA實驗室以其領先的痕量金屬檢測技術，為半導體行業提供從超純試劑到超純氣體的全方位解決方案。通過定制化服務、高效檢測和快速響應，CA實驗室不僅幫助客戶提高產品良率，更推動了半導體產業的品質升級。我們期待與更多行業伙伴攜手，共同邁向更高水平的技術發展。

季豐電子

季豐電子成立于2008年，是一家聚焦半導體領域，深耕集成電路檢測相關的軟硬件研發及技術服務的賦能型平臺科技公司。公司業務分為四大板塊，分別為基礎實驗室、軟硬件開發、測試封裝和儀器設備，可為芯片設計、晶圓制造、封裝測試、材料裝備等半導體產業鏈和新能源領域公司提供一站式的檢測分析解決方案。

季豐電子通過國家級專精特新“小巨人”、國家高新技術企業、上海市“科技小巨人”、上海市企業技術中心、研發機構、公共服務平臺等企業資質認定，通過了ISO9001、 ISO/IEC17025、CMA、CNAS、IATF16949、ISO/IEC27001、ISO14001、ANSI/ESD S20.20等認證。公司員工近1000人，總部位于上海，在浙江、北京、深圳、成都等地設有子公司。