電子發燒友網報道(文/吳子鵬)近日,國家知識產權局在其官網正式對外發布了第二十五屆中國專利獎評審結果。根據《中國專利獎評獎辦法(2023年修訂)》《國家知識產權局關于評選第二十五屆中國專利獎的通知》規定,第二十五屆中國專利獎共評選出中國專利金獎預獲獎項目30項,中國外觀設計金獎預獲獎項目10項,中國專利銀獎預獲獎項目60項,中國外觀設計銀獎預獲獎項目15項,中國專利優秀獎預獲獎項目610項,中國外觀設計優秀獎預獲獎項目47項。
作為國民經濟支柱性行業之一,信息技術產業的重要組成部分,支撐經濟社會發展和保障國家安全的戰略性、基礎性和先導性產業,半導體領域創新是衡量一個國家科技發展水平的核心指標之一。此次評選,有多家國內知名的半導體企業入選,包括深圳新聲半導體有限公司、中微半導體設備(上海)股份有限公司、華海清科股份有限公司、廣東風華高新科技股份有限公司、山東天岳先進科技股份有限公司、北京智芯微電子科技有限公司等。
新聲半導體入選的專利是《體聲波諧振器》,該專利通過實現平坦的電極和壓電薄膜結構,極大提升了諧振器的品質因數。新聲半導體的該項技術已成功應用于手機、平板電腦、物聯網設備及可穿戴裝置等多種通信產品中,為這些設備提供了更加穩定和高效的射頻解決方案。這一成果不僅滿足了5G通信的高性能需求,也讓新聲在體聲波諧振器技術領域實現了全球領先的地位。
雖然相較于其他入選的半導體企業而言,新聲半導體的成立時間較短,不過該公司的技術創新能力得到了業界的廣泛認可。除了本次入選的專利,近一段時間以來,新聲半導體有多項專利結果公開,包括《一種聲表面波諧振器及濾波器》專利,該專利申請于2024年11月;《一種溫度補償型聲表面波諧振器的制作方法》專利,該專利申請于2024年11月。同時,該公司還有多項“集成電路布圖設計專有權公告”發布于國家知識產權局官網。
在高效、高質量的創新推動下,新聲半導體的產品已經在智能通訊設備(智能手機、平板等)、物聯網和可穿戴等領域落地,高質量完成技術創新到商業落地的成果轉化。
中微公司入選的專利是《一種化學氣相沉積裝置及其清潔方法》,根據專利介紹,該專利是一種化學氣相沉積裝置,包括反應腔,位于反應腔上方的反應區域和位于反應腔底部的排氣區域,聯通到反應腔外部的抽氣裝置;所述排氣區域包括一個隔離裝置,將排氣區域分隔為內外排布的一個排氣腔和一個存儲腔,所述隔離裝置包括一個側壁,側壁上開設有氣體開口使排氣腔和存儲腔之間聯通,所述排氣區域還包括一個可上下移動的刮擦部件,其可以在所述排氣口的上下兩端之間移動。
華海清科入選的專利是《化學機械拋光機及具有它的化學機械拋光設備》,這項技術助推國產CMP設備向著更高水平發展。目前,華海清科推出的CMP設備包括Universal-300系列、Universal-200系列和Universal-150系列。其中,Universal-300 T是在華海清科先進CMP設備基礎上,根據行業前沿技術需求開發的領先型12英寸CMP設備。該設備基于華海清科自主知識產權的創新技術,配備性能優越的拋光單元,集成多種終點檢測技術,并搭載更先進的組合清洗技術,展現出更卓越的清潔效果。該設備可實現晶圓納米級全局平坦化,滿足先進制程技術需求,已在集成電路、先進封裝、大硅片等制造工藝中批量應用。
除了上述具體介紹的公司和專利,此次入選的公司和專利還有風華高科和該公司的《一種抗硫化片式電阻器及其制造方法》專利,天岳先進和該公司的《一種高平整度、低損傷大直徑單晶碳化硅襯底》專利,芯可鑒科技、智芯微和國網信息通信共同研發的《用于制備高壓 LDMOS器件的方法及器件》等。這些公司和專利的入選,代表了國產半導體產業的高水平發展,也表示國產半導體企業對于專利保護越來越重視。
作為國民經濟支柱性行業之一,信息技術產業的重要組成部分,支撐經濟社會發展和保障國家安全的戰略性、基礎性和先導性產業,半導體領域創新是衡量一個國家科技發展水平的核心指標之一。此次評選,有多家國內知名的半導體企業入選,包括深圳新聲半導體有限公司、中微半導體設備(上海)股份有限公司、華海清科股份有限公司、廣東風華高新科技股份有限公司、山東天岳先進科技股份有限公司、北京智芯微電子科技有限公司等。
新聲半導體的體聲波諧振器
新聲半導體成立于2021年3月,是國家重點扶持的高新技術企業。新聲半導體致力于設計與銷售各類濾波器,包括BAW、SAW、TC-SAW、TF-SAW、IPD等,提供從濾波器、雙工器、多工器到模組的全系列產品,覆蓋6GHz以下全頻段。新聲半導體入選的專利是《體聲波諧振器》,該專利通過實現平坦的電極和壓電薄膜結構,極大提升了諧振器的品質因數。新聲半導體的該項技術已成功應用于手機、平板電腦、物聯網設備及可穿戴裝置等多種通信產品中,為這些設備提供了更加穩定和高效的射頻解決方案。這一成果不僅滿足了5G通信的高性能需求,也讓新聲在體聲波諧振器技術領域實現了全球領先的地位。
雖然相較于其他入選的半導體企業而言,新聲半導體的成立時間較短,不過該公司的技術創新能力得到了業界的廣泛認可。除了本次入選的專利,近一段時間以來,新聲半導體有多項專利結果公開,包括《一種聲表面波諧振器及濾波器》專利,該專利申請于2024年11月;《一種溫度補償型聲表面波諧振器的制作方法》專利,該專利申請于2024年11月。同時,該公司還有多項“集成電路布圖設計專有權公告”發布于國家知識產權局官網。
在高效、高質量的創新推動下,新聲半導體的產品已經在智能通訊設備(智能手機、平板等)、物聯網和可穿戴等領域落地,高質量完成技術創新到商業落地的成果轉化。
中微公司的化學氣相沉積裝置
中微公司是一家以中國為基地、面向全球的微觀加工高端設備公司,為集成電路和泛半導體行業提供極具競爭力的高端設備和高品質的服務。中微開發的等離子體刻蝕設備和化學薄膜設備是制造各種微觀器件的關鍵設備,可加工微米級和納米級的各種器件。中微公司入選的專利是《一種化學氣相沉積裝置及其清潔方法》,根據專利介紹,該專利是一種化學氣相沉積裝置,包括反應腔,位于反應腔上方的反應區域和位于反應腔底部的排氣區域,聯通到反應腔外部的抽氣裝置;所述排氣區域包括一個隔離裝置,將排氣區域分隔為內外排布的一個排氣腔和一個存儲腔,所述隔離裝置包括一個側壁,側壁上開設有氣體開口使排氣腔和存儲腔之間聯通,所述排氣區域還包括一個可上下移動的刮擦部件,其可以在所述排氣口的上下兩端之間移動。
華海清科的化學機械拋光設備
華海清科是一家擁有核心自主知識產權的高端半導體裝備制造商,公司主要產品包括CMP裝備、減薄裝備、劃切裝備、濕法裝備、晶圓再生、關鍵耗材與維保服務,打造了“裝備+服務”的平臺化戰略布局。公司核心團隊成員來自半導體行業專業人才,公司主要產品及服務已廣泛應用于集成電路、先進封裝、大硅片、第三代半導體、MEMS、Micro LED等制造工藝。華海清科入選的專利是《化學機械拋光機及具有它的化學機械拋光設備》,這項技術助推國產CMP設備向著更高水平發展。目前,華海清科推出的CMP設備包括Universal-300系列、Universal-200系列和Universal-150系列。其中,Universal-300 T是在華海清科先進CMP設備基礎上,根據行業前沿技術需求開發的領先型12英寸CMP設備。該設備基于華海清科自主知識產權的創新技術,配備性能優越的拋光單元,集成多種終點檢測技術,并搭載更先進的組合清洗技術,展現出更卓越的清潔效果。該設備可實現晶圓納米級全局平坦化,滿足先進制程技術需求,已在集成電路、先進封裝、大硅片等制造工藝中批量應用。
除了上述具體介紹的公司和專利,此次入選的公司和專利還有風華高科和該公司的《一種抗硫化片式電阻器及其制造方法》專利,天岳先進和該公司的《一種高平整度、低損傷大直徑單晶碳化硅襯底》專利,芯可鑒科技、智芯微和國網信息通信共同研發的《用于制備高壓 LDMOS器件的方法及器件》等。這些公司和專利的入選,代表了國產半導體產業的高水平發展,也表示國產半導體企業對于專利保護越來越重視。
結語
半導體是一個典型的資本和技術密集型行業,而且是高度密集。當前,國產半導體產業高速發展,更應該重視知識產權的保護,專利為發明創造提供了法律保護,防止他人未經許可制造、使用、銷售或進口相關技術。對于國產半導體企業而言,優質的專利不僅是創新實力的體現,也更加有利于企業的可持續發展。
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