一、基本原理

在白光干涉儀中，光源發(fā)出的光經(jīng)過擴(kuò)束準(zhǔn)直后，通過分光棱鏡被分成兩束相干光：一束作為參考光，另一束作為待測光。這兩束光在空間某點相遇時，會產(chǎn)生干涉現(xiàn)象，形成明暗相間的干涉條紋。干涉條紋的形態(tài)和位置取決于兩束光的相位差，而相位差則與它們經(jīng)過的光程差有關(guān)。

光學(xué)相移原理是通過多次等距改變參考光和待測光之間的光程差，實現(xiàn)干涉信號的相位調(diào)制。這種相位調(diào)制會導(dǎo)致干涉條紋的移動或變化，通過測量干涉條紋的變化量，可以計算出相位差，進(jìn)而得到待測物體的相關(guān)信息。

二、相移算法

相移算法是實現(xiàn)光學(xué)相移原理的關(guān)鍵技術(shù)。它通過多次等距改變光程差，獲得多幅干涉圖，并從干涉圖組中提取出視場各位置處的干涉光強(qiáng)。然后，將這些光強(qiáng)代入相應(yīng)的相移算法公式中，計算出視場中各位置處的相位。最后，結(jié)合白光干涉信號的光強(qiáng)峰值，可以找到零光程差位置（ZOPD）的粗略位置，并計算得到樣品的相對高度信息。

常用的相移算法包括三步相移法、五步相移法等。這些算法通過不同的相位調(diào)制方式和數(shù)據(jù)處理方法，可以實現(xiàn)高精度的相位測量。

三、應(yīng)用

白光干涉中的光學(xué)相移原理廣泛應(yīng)用于科學(xué)研究和工業(yè)領(lǐng)域。在科學(xué)研究中，它可用于測量微小物體的長度、形狀和表面質(zhì)量等；在工業(yè)領(lǐng)域，它可用于檢測機(jī)械零件的精度和表面狀態(tài)等。此外，白光干涉技術(shù)還可用于測量材料的折射率、厚度以及微納結(jié)構(gòu)的尺寸和形狀等信息。

四、優(yōu)勢

白光干涉技術(shù)具有高精度、高靈敏度和非接觸式測量等優(yōu)點。它能夠?qū)崿F(xiàn)納米級別的測量精度，并且不會對被測物體造成損傷。此外，白光干涉技術(shù)還具有測量速度快、操作簡便等優(yōu)點，使得它在科學(xué)研究和工業(yè)生產(chǎn)中具有廣泛的應(yīng)用前景。

綜上所述，白光干涉中的光學(xué)相移原理是一項重要的干涉測量技術(shù)原理。它基于光的波動性和相干性，通過改變光程差實現(xiàn)干涉信號的相位調(diào)制，進(jìn)而獲取待測物體的相關(guān)信息。這種原理在科學(xué)研究和工業(yè)領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用前景和重要的研究價值。

TopMap Micro View白光干涉3D輪廓儀

一款可以“實時”動態(tài)/靜態(tài) 微納級3D輪廓測量的白光干涉儀

1)一改傳統(tǒng)白光干涉操作復(fù)雜的問題，實現(xiàn)一鍵智能聚焦掃描，亞納米精度下實現(xiàn)卓越的重復(fù)性表現(xiàn)。

2)系統(tǒng)集成CST連續(xù)掃描技術(shù)，Z向測量范圍高達(dá)100mm，不受物鏡放大倍率的影響的高精度垂直分辨率，為復(fù)雜形貌測量提供全面解決方案。

3）可搭載多普勒激光測振系統(tǒng)，實現(xiàn)實現(xiàn)“動態(tài)”3D輪廓測量。

實際案例

1，優(yōu)于1nm分辨率，輕松測量硅片表面粗糙度測量，Ra=0.7nm

2，毫米級視野，實現(xiàn)5nm-有機(jī)油膜厚度掃描

3，卓越的“高深寬比”測量能力，實現(xiàn)光刻圖形凹槽深度和開口寬度測量。