如何降低半導體制造無塵車間設備振動問題的影響？-江蘇泊蘇系統集成有限公司

要降低無塵車間設備振動問題的影響，需要從設備選型與安裝、振動監測與控制、車間環境管理等方面綜合采取措施，以下是具體方法：

一：設備選型與安裝

1，選擇低振動設備：在采購設備時，優先選擇經過嚴格動平衡測試、振動水平低的設備。例如對于風機，可選擇采用先進的葉輪設計和制造工藝、運行時振動小的品牌和型號；對于泵類設備，可選用具有良好減振措施的磁力泵或屏蔽泵等。

2，正確安裝設備

（1）精確找正與找平：安裝設備時，使用高精度的測量工具，如激光水平儀、百分表等，確保設備安裝位置準確，水平度和垂直度偏差在允許范圍內，使設備各部件受力均勻，減少因安裝偏差導致的振動。

（2)合理連接與固定：設備的管道連接應采用柔性連接方式，如使用金屬軟管、橡膠軟接頭等，避免管道應力傳遞到設備上引起振動；同時，按照設備安裝說明書的要求，使用合適的螺栓和墊片，均勻擰緊連接螺栓，確保設備與基礎或支架連接牢固。

2，安裝隔振裝置

（1）選擇合適的隔振器：根據設備的重量、振動頻率和振幅等參數，選擇合適類型的隔振器，如光刻機隔振器、RC水泥型隔振器、剛機構承重型隔振器等。例如，對于重量較大、低頻振動明顯的設備，可選用鋼結構隔振器；對于高頻振動設備，RC水泥型隔振器可能具有更好的隔振效果；而對于對振動要求極高的精密設備，光刻機隔振器能提供更精準的隔振。

（2）正確安裝隔振器：嚴格按照隔振器的安裝說明書進行安裝，確保隔振器的安裝位置正確，受力均勻，避免出現偏載或傾斜現象，以充分發揮隔振器的隔振性能。

二：振動監測與控制

1，建立振動監測系統：在無塵車間內安裝振動傳感器，對關鍵設備的振動情況進行實時監測。通過數據分析軟件，對監測數據進行處理和分析，及時發現振動異常情況，并發出報警信號，以便工作人員及時采取措施。

2，實施主動減振控制：對于一些對振動敏感的關鍵設備，可以采用主動減振技術。例如，在設備上安裝主動減振器，通過傳感器實時監測設備的振動狀態，然后由控制器根據監測數據驅動主動減振器產生與振動方向相反的力，抵消部分或全部振動，實現對設備振動的主動控制。

3，定期維護與檢修設備：制定詳細的設備維護計劃，定期對設備進行檢查、保養和維修。例如，定期檢查設備的旋轉部件和往復運動部件的磨損情況，及時更換磨損嚴重的零部件；對設備進行動平衡和靜平衡測試，發現不平衡及時進行調整；檢查設備的潤滑系統，確保各部件得到良好的潤滑，減少摩擦引起的振動。

三：車間環境管理

1，隔絕外部振動源

（1）設置隔振溝或隔振墻：在無塵車間周圍設置隔振溝或隔振墻，切斷外部振動源通過地面傳播的路徑。隔振溝的深度和寬度應根據外部振動源的強度和頻率等因素進行設計，一般深度在 1-2 米左右，寬度在 0.5-1 米左右；隔振墻可采用具有良好隔振性能的材料，如橡膠混凝土等。

（2）優化車間布局：合理規劃車間內設備的布局，將對振動敏感的設備遠離可能的外部振動源，如車間出入口、道路附近等。同時，避免將高振動設備與敏感設備相鄰放置，減少設備之間的振動相互影響。

2,優化車間氣流

(1)組織合理設計通風系統：對車間的通風系統進行優化設計，合理選擇通風管道的尺寸、風速和風口布置方式，確保氣流均勻、穩定，減少氣流沖擊引起的管道振動和設備振動。例如，可采用變風量通風系統，根據車間內的實際需求自動調節風量和風速。

(2)安裝氣流穩定裝置：在通風管道內安裝氣流穩定裝置，如整流器、消聲器等，對氣流進行整流和消聲處理，降低氣流的紊流度和噪聲，減少氣流振動的產生。

3,穩定車間溫度環境：采用高精度的溫度控制系統，確保車間內溫度保持穩定，減少因溫度變化引起的設備零部件熱脹冷縮導致的振動。同時，對設備進行保溫處理，避免設備局部溫度變化過大。