半導體配電工程為什么能用到弧光保護？

1.快速切除故障

半導體生產設備對供電連續性和穩定性要求極高。例如在芯片制造的光刻工序中，突然斷電可能導致正在加工的芯片報廢。弧光保護系統能在弧光故障發生的瞬間（通常在幾毫秒內）快速檢測并切除故障，減少停電范圍，降低對生產的影響。

2.保護人員安全

半導體生產環境中存在大量的電氣設備和復雜的電路。弧光故障發生時，會瞬間釋放出巨大的能量，產生強光、高溫和強烈的沖擊波。弧光保護可以及時切斷電源，防止人員被弧光傷害。

3.減少設備損壞

半導體制造設備昂貴且精密。弧光產生的高溫和強大的電磁力可能損壞設備的電氣元件和機械結構。弧光保護能夠有效避免故障電弧對半導體生產設備造成進一步損壞。

什么是弧光：

1、空氣被電離時，溫度隨之急劇上升產生電弧，這種放電稱之為電弧光放電

2、電流增大，光強增大

3、主要集中在200-400nm的紫外區、部分紫光。

弧光產生的原因：

1、設備元件老化、絕緣損壞

2、過電壓

3、人為失誤

4、污染、腐蝕

5、柜體結構不合理、維護不到位

弧光保護的意義：

1、在燃弧初期快速斷開故障點

2、使得快速恢復供電成為可能

3、延長一次設備的使用壽命

4、避免人員傷亡

5、可以實現中低壓母線保護功能

6、有效補充中低壓系統母線保護缺陷

（母差保護接線復雜、對CT要求高，安裝于中低壓母線上較為困難，且保護范圍受CT安裝位置限制）

弧光保護與傳統母線保護方案的比較：

環流原理的高阻抗母線保護

方案特點：是專用的母線保護方案，保護動作時間一般為35 ～ 60 ms。

方案缺點：接線復雜、對CT 要求高，安裝在中低壓開關柜有很多困難，也不經濟；

由于其保護范圍受到CT 安裝位置的限制，不能保護發生故障幾率較高的電纜接頭處的故障；

不能提供故障定位，實用性差。

弧光保護

方案特點：用于保護中低壓開關柜（母線室、手車室、電纜室）：

方案優點：動作時間快，相比于傳統的保護系統更具優越性；

采用弧光和電流過流雙重判據，增加了可靠性和安全性；

能對故障點準確地定位，可減少維修人員查找故障點的時間，大大減短了維修時間，從而保障事故檢修之后快速恢復供電。

弧光保護原理：

弧光保護裝置通過檢測母線室弧光、進線電流（母聯柜電流）判據啟動。

弧光保護裝置產品

性能特點：

每臺裝置可選采集6/12/18/24/30路探頭

弧光探頭通過塑料光纖直接傳輸光信號至弧光保護裝置

單判據動作時間3.8ms，雙判據動作時間7.8ms

高可靠性，通過國家權威檢測機構認證

弧光探頭：檢測范圍：角度≥180°半徑≥0.5m

感光類型：可見光/紫外光

功能特點：自帶濾光功能，無源型弧光傳感器探頭及光纖鏈路實時自檢，弧光光纖：雙股、阻燃不含金屬件，沒有電氣安全隱患

說明書（分ARB6和ARB4兩種）：

安裝實例

產品資質

審核編輯 黃宇