碳化硅（SiC）作為一種高性能半導體材料，因其出色的熱穩定性、高硬度和高電子遷移率，在電力電子、微電子、光電子等領域得到了廣泛應用。在SiC器件的制造過程中，碳化硅片的減薄是一個重要環節，它可以提高器件的散熱性能，并有助于降低制造成本。然而，在減薄過程中，碳化硅表面往往會出現紋路，這些紋路不僅影響器件的外觀質量，還可能對器件的電學性能和可靠性產生不利影響。因此，如何減少減薄碳化硅紋路成為了一個亟待解決的問題。

現有減薄方法及紋路產生原因

目前，碳化硅片的減薄主要通過機械研磨、化學機械拋光（CMP）和濕法腐蝕等方法實現。機械研磨是常用的減薄方法，但該方法容易在碳化硅表面留下研磨紋路，且加工效率相對較低。CMP方法可以在一定程度上彌補機械研磨的不足，通過化學腐蝕和機械摩擦的共同作用，實現碳化硅表面的平滑化，但該方法對加工參數的控制要求較高，否則容易出現表面不均勻或均勻度差的問題。濕法腐蝕則是一種制備高純度、高質量薄膜的方法，但該方法需要花費較長時間，且需要一個良好的器皿配合。

碳化硅紋路產生的主要原因包括：

研磨顆粒的大小和分布：研磨顆粒過大或分布不均會導致研磨過程中碳化硅表面受力不均，從而產生紋路。

研磨壓力和研磨時間：過高的研磨壓力或過長的研磨時間都會加劇碳化硅表面的損傷，導致紋路產生。

研磨液的配比：研磨液中各成分的比例不當也會影響研磨效果，導致紋路產生。

碳化硅本身的性質：碳化硅的硬度和脆性較高，使得在研磨過程中更容易產生裂紋和紋路。

減少紋路的方法

針對碳化硅減薄過程中出現的紋路問題，可以從以下幾個方面入手，以減少紋路的產生：

優化研磨參數

精細控制研磨顆粒的大小和分布：選擇適當的研磨顆粒大小，并確保其分布均勻，以減少研磨過程中碳化硅表面的受力不均。

嚴格調控研磨壓力和研磨時間：根據碳化硅的硬度和脆性，合理設置研磨壓力和研磨時間，避免過高的壓力和過長的時間導致的表面損傷。

優化研磨液的配比：通過試驗確定最佳的研磨液配比，確保各成分之間的相互作用能夠最大限度地減少碳化硅表面的損傷。

改進研磨工藝

采用多步研磨工藝：將研磨過程分為粗磨、半精磨和精磨等多個步驟，逐步減小研磨顆粒的大小，以減少碳化硅表面的損傷和紋路。

引入超聲波輔助研磨：超聲波的振動作用可以均勻分散研磨顆粒，提高研磨效率，同時減少碳化硅表面的損傷。

應用先進的拋光技術

化學機械拋光（CMP）：通過化學腐蝕和機械摩擦的共同作用，實現碳化硅表面的平滑化。在CMP過程中，需要嚴格控制拋光液的成分、拋光壓力和拋光時間等參數。

激光燒蝕加超聲波剝離：這是一種新型的碳化硅減薄方法，通過激光形成炸點，并配合超聲波進行剝離，可以大幅度降低工藝成本，同時減少碳化硅表面的損傷和紋路。剝離下來的材料經過打磨拋光后還可以繼續外延生長或用于其他用途。

加強質量控制和檢測

定期檢測研磨設備和工藝參數：確保研磨設備和工藝參數的穩定性和準確性，避免因設備故障或參數偏差導致的碳化硅表面損傷和紋路產生。

采用先進的檢測技術：如原子力顯微鏡（AFM）、掃描電子顯微鏡（SEM）等，對碳化硅表面進行高精度檢測，及時發現并處理紋路問題。

結論

減少減薄碳化硅紋路是提高SiC器件質量和可靠性的重要環節。通過優化研磨參數、改進研磨工藝、應用先進的拋光技術以及加強質量控制和檢測等措施，可以有效地減少碳化硅表面的紋路產生。隨著SiC技術的不斷發展和應用領域的拓展，減少減薄碳化硅紋路的方法將不斷得到完善和推廣，為SiC器件的制造和應用提供更加可靠的技術支持。

高通量晶圓測厚系統

高通量晶圓測厚系統以光學相干層析成像原理，可解決晶圓/晶片厚度TTV（Total Thickness Variation，總厚度偏差）、BOW（彎曲度）、WARP（翹曲度），TIR（Total Indicated Reading 總指示讀數，STIR（Site Total Indicated Reading 局部總指示讀數），LTV（Local Thickness Variation 局部厚度偏差）等這類技術指標。

高通量晶圓測厚系統，全新采用的第三代可調諧掃頻激光技術，相比傳統上下雙探頭對射掃描方式；可一次性測量所有平面度及厚度參數。

靈活適用更復雜的材料，從輕摻到重摻 P 型硅 (P++)，碳化硅，藍寶石，玻璃，鈮酸鋰等晶圓材料。

重摻型硅（強吸收晶圓的前后表面探測）

粗糙的晶圓表面，（點掃描的第三代掃頻激光，相比靠光譜探測方案，不易受到光譜中相鄰單位的串擾噪聲影響，因而對測量粗糙表面晶圓）

低反射的碳化硅(SiC)和鈮酸鋰(LiNbO3)（通過對偏振效應的補償，加強對低反射晶圓表面測量的信噪比）

絕緣體上硅（SOI)和MEMS，可同時測量多層結構，厚度可從μm級到數百μm級不等。

1，可用于測量各類薄膜厚度，厚度最薄可低至 4 μm ，精度可達1nm。

2，可調諧掃頻激光的“溫漂”處理能力，體現在極端工作環境中抗干擾能力強，一改過去傳統晶圓測量對于“主動式減震平臺”的重度依賴，成本顯著降低。

3，靈活的運動控制方式，可兼容2英寸到12英寸方片和圓片測量。