什么是集成電路新建項(xiàng)目機(jī)電二次配？ -江蘇泊蘇系統(tǒng)集成有限公司

集成電路新建項(xiàng)目機(jī)電二次配是在集成電路工廠建設(shè)過(guò)程中的一個(gè)重要環(huán)節(jié)，主要涉及到在一次機(jī)電安裝完成后，針對(duì)生產(chǎn)設(shè)備的具體需求進(jìn)行的二次機(jī)電系統(tǒng)配置與調(diào)整。以下是其詳細(xì)介紹：

一：主要內(nèi)容

1，電氣系統(tǒng)二次配

（1）設(shè)備配電：從一次配電系統(tǒng)的配電箱或配電柜引出分支線路，為每一臺(tái)生產(chǎn)設(shè)備提供精準(zhǔn)的電力供應(yīng)，確保設(shè)備能獲得穩(wěn)定、符合要求的電壓和電流。

（2)特殊電力需求配置：集成電路生產(chǎn)設(shè)備中有部分設(shè)備對(duì)電力質(zhì)量要求極高，如光刻機(jī)等，二次配會(huì)針對(duì)這類設(shè)備進(jìn)行特殊的電力配置，包括安裝高精度的穩(wěn)壓器、濾波器等，以消除電力波動(dòng)和干擾。

(3)接地與防雷系統(tǒng)完善：除了滿足設(shè)備正常運(yùn)行的接地需求外，還需針對(duì)集成電路生產(chǎn)的高精度要求，進(jìn)一步優(yōu)化靜電釋放接地系統(tǒng)，確保生產(chǎn)環(huán)境中的靜電能夠快速、安全地導(dǎo)入大地，防止靜電對(duì)芯片等敏感部件造成損害。

(4)通風(fēng)與空調(diào)系統(tǒng)（HVAC）二次配

(5)潔凈室氣流優(yōu)化：根據(jù)生產(chǎn)工藝對(duì)潔凈度的要求，通過(guò)調(diào)整風(fēng)口位置、數(shù)量和形狀，以及安裝空氣導(dǎo)流板等措施，優(yōu)化潔凈室內(nèi)的氣流組織，確保空氣均勻流動(dòng)，減少渦流和死角，提高潔凈室的潔凈度和溫濕度均勻性。

(6)局部環(huán)境控制：對(duì)于一些對(duì)環(huán)境條件要求極為苛刻的生產(chǎn)工序，如光刻、刻蝕等，需要在設(shè)備附近設(shè)置局部的微環(huán)境控制系統(tǒng)，通過(guò)安裝小型的空調(diào)機(jī)組、空氣凈化設(shè)備等，為這些關(guān)鍵設(shè)備營(yíng)造出最適宜的生產(chǎn)環(huán)境。

2,純水與工藝氣體系統(tǒng)二次配

(1)純水分配系統(tǒng)：將一次配提供的純水通過(guò)二次配管道輸送到各個(gè)生產(chǎn)設(shè)備的用水點(diǎn)，并且根據(jù)不同設(shè)備對(duì)水質(zhì)的具體要求，在用水點(diǎn)附近設(shè)置水質(zhì)監(jiān)測(cè)和調(diào)節(jié)裝置，確保供應(yīng)的純水質(zhì)量穩(wěn)定且符合設(shè)備運(yùn)行需要。

(2)工藝氣體輸送：從氣體站輸送來(lái)的各種工藝氣體，如氮?dú)狻⒀鯕狻⒐柰榈龋枰ㄟ^(guò)二次配的管道系統(tǒng)精確地分配到每一臺(tái)需要的設(shè)備處。在二次配過(guò)程中，要確保氣體管道的材質(zhì)符合氣體性質(zhì)要求，防止氣體泄漏和污染。

二：重要性

1，滿足生產(chǎn)工藝需求：集成電路生產(chǎn)工藝復(fù)雜且精度要求極高，不同的生產(chǎn)環(huán)節(jié)對(duì)機(jī)電環(huán)境的要求各不相同。機(jī)電二次配能夠根據(jù)具體設(shè)備和工藝的需求，精確調(diào)整和優(yōu)化機(jī)電系統(tǒng)，為生產(chǎn)提供穩(wěn)定、適宜的環(huán)境。

2，提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量：通過(guò)合理的機(jī)電二次配，可以減少設(shè)備故障和停機(jī)時(shí)間，提高生產(chǎn)效率。同時(shí)，精準(zhǔn)的環(huán)境控制有助于降低產(chǎn)品的次品率，提高產(chǎn)品質(zhì)量和一致性。

3，保障生產(chǎn)安全：集成電路生產(chǎn)過(guò)程中涉及到許多危險(xiǎn)化學(xué)品和高精密設(shè)備，機(jī)電二次配在完善接地、防雷、通風(fēng)等系統(tǒng)方面發(fā)揮著重要作用，能夠有效預(yù)防安全事故的發(fā)生，保障生產(chǎn)人員和設(shè)備的安全。

集成電路新建項(xiàng)目機(jī)電二次配的施工流程是怎樣的？

集成電路新建項(xiàng)目機(jī)電二次配的施工流程一般可分為施工準(zhǔn)備、管道與橋架安裝、設(shè)備安裝與連接、系統(tǒng)調(diào)試與測(cè)試、竣工驗(yàn)收等多個(gè)階段，以下是詳細(xì)介紹：

三：施工準(zhǔn)備階段

1，圖紙會(huì)審與技術(shù)交底：施工團(tuán)隊(duì)仔細(xì)審查機(jī)電二次配的施工圖紙，與設(shè)計(jì)單位溝通，理解設(shè)計(jì)意圖，明確施工要求和技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)，同時(shí)對(duì)施工人員進(jìn)行技術(shù)交底。

2，施工方案制定：根據(jù)項(xiàng)目特點(diǎn)和要求，制定詳細(xì)的施工方案，包括施工進(jìn)度計(jì)劃、施工方法、質(zhì)量控制措施、安全保障措施等。

3，材料與設(shè)備采購(gòu)：根據(jù)施工圖紙和預(yù)算，采購(gòu)所需的各種材料、設(shè)備和構(gòu)配件，并確保其質(zhì)量符合要求，具備相關(guān)的質(zhì)量證明文件。

4，場(chǎng)地準(zhǔn)備：清理施工現(xiàn)場(chǎng)，確保施工區(qū)域干凈、整潔，具備良好的施工條件。同時(shí)，根據(jù)施工需要，搭建臨時(shí)設(shè)施，如倉(cāng)庫(kù)、辦公室、加工區(qū)等。

5，管道與橋架安裝階段

（1）管道預(yù)制：根據(jù)施工圖紙和現(xiàn)場(chǎng)實(shí)際測(cè)量尺寸，在加工區(qū)對(duì)管道進(jìn)行預(yù)制加工，包括切割、坡口加工、焊接、彎曲等操作。

（2）管道安裝：按照先主管后支管的順序，將預(yù)制好的管道運(yùn)至施工現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行安裝。管道安裝應(yīng)遵循相關(guān)規(guī)范和標(biāo)準(zhǔn)，確保管道的坡度、垂直度、水平度等符合要求。

（3）橋架安裝：根據(jù)設(shè)計(jì)要求，確定橋架的安裝位置和走向，進(jìn)行橋架的安裝。橋架安裝應(yīng)牢固、平整，連接可靠，接地良好。

（4）支吊架安裝：根據(jù)管道和橋架的重量和尺寸，安裝相應(yīng)的支吊架。支吊架的安裝應(yīng)位置準(zhǔn)確、間距合理、牢固可靠，確保能夠承受管道和橋架的重量。

6，設(shè)備安裝與連接階段

（1)設(shè)備就位：根據(jù)設(shè)備安裝圖紙和設(shè)備到貨清單，將設(shè)備運(yùn)輸?shù)街付ǖ陌惭b位置，采用合適的吊裝設(shè)備和方法，將設(shè)備準(zhǔn)確就位。

(2)設(shè)備連接：將各類機(jī)電設(shè)備與已安裝好的管道、橋架等進(jìn)行連接，包括管道與設(shè)備的法蘭連接、螺紋連接，電氣設(shè)備與橋架內(nèi)電纜的接線等。

(3)設(shè)備調(diào)試：在設(shè)備連接完成后，對(duì)設(shè)備進(jìn)行單機(jī)調(diào)試，檢查設(shè)備的運(yùn)行狀況，如電機(jī)的轉(zhuǎn)向、轉(zhuǎn)速、溫度等是否正常，設(shè)備的各項(xiàng)性能指標(biāo)是否符合要求。

7,系統(tǒng)調(diào)試與測(cè)試階段

(1)電氣系統(tǒng)調(diào)試：對(duì)整個(gè)電氣系統(tǒng)進(jìn)行調(diào)試，包括配電柜、配電箱的送電調(diào)試，檢查電氣設(shè)備的運(yùn)行參數(shù)，如電壓、電流、功率等是否正常，測(cè)試電氣系統(tǒng)的保護(hù)裝置是否靈敏可靠。

(2)通風(fēng)與空調(diào)系統(tǒng)調(diào)試：?jiǎn)?dòng)通風(fēng)與空調(diào)系統(tǒng)，調(diào)整風(fēng)機(jī)的風(fēng)量、風(fēng)壓，檢查空調(diào)機(jī)組的制冷、制熱效果，測(cè)試潔凈室的溫濕度、潔凈度等參數(shù)是否符合設(shè)計(jì)要求。

(3)純水與工藝氣體系統(tǒng)調(diào)試：對(duì)純水系統(tǒng)進(jìn)行沖洗、消毒，檢測(cè)水質(zhì)是否符合生產(chǎn)要求。對(duì)工藝氣體系統(tǒng)進(jìn)行壓力測(cè)試、泄漏測(cè)試，確保氣體輸送系統(tǒng)的安全可靠。

(4)系統(tǒng)聯(lián)動(dòng)調(diào)試：在各子系統(tǒng)調(diào)試完成的基礎(chǔ)上，進(jìn)行系統(tǒng)聯(lián)動(dòng)調(diào)試，模擬生產(chǎn)過(guò)程中的實(shí)際工況，檢查各系統(tǒng)之間的協(xié)同工作能力，確保整個(gè)機(jī)電系統(tǒng)能夠穩(wěn)定、高效運(yùn)行。

8,竣工驗(yàn)收階段

(1)施工自查：施工單位完成施工任務(wù)后，首先進(jìn)行自查，對(duì)施工質(zhì)量進(jìn)行全面檢查，整理施工資料，包括施工圖紙、施工記錄、檢驗(yàn)報(bào)告、調(diào)試報(bào)告等。

(2)預(yù)驗(yàn)收：在施工單位自查合格的基礎(chǔ)上，建設(shè)單位組織相關(guān)人員進(jìn)行預(yù)驗(yàn)收，對(duì)機(jī)電二次配工程的施工質(zhì)量、設(shè)備運(yùn)行情況、系統(tǒng)調(diào)試效果等進(jìn)行全面檢查，提出整改意見。

(3)正式驗(yàn)收：預(yù)驗(yàn)收合格后，由建設(shè)單位組織設(shè)計(jì)單位、施工單位、監(jiān)理單位等相關(guān)部門進(jìn)行正式驗(yàn)收。驗(yàn)收合格后，各方簽署竣工驗(yàn)收?qǐng)?bào)告，機(jī)電二次配工程正式交付使用。