晶圓廠簡(jiǎn)介
晶圓廠是生產(chǎn)硅片,集成電路就是在晶圓上以各種工藝生產(chǎn)的。晶圓廠也可以生產(chǎn)電路,晶圓生產(chǎn)好集成電路后要切割和封裝,封裝就是將生產(chǎn),切割好的集成電路引線,加外殼供用戶使用。晶圓廠的英寸指它生產(chǎn)的集成電路的硅片的尺寸,越大其生產(chǎn)出的集成電路越多,其單個(gè)的成本越低,當(dāng)然也越難生產(chǎn)。因?yàn)槌叽缭黾右槐叮ㄖ睆剑娣e增加四倍。同樣的工藝流程和時(shí)間,產(chǎn)出就增加四倍。
晶圓廠工作環(huán)境分析
并不是想要討論晶圓廠是否能創(chuàng)造工作機(jī)會(huì),而是想了解在鄰近晶圓廠之處擁有設(shè)計(jì)/工程團(tuán)隊(duì)的價(jià)值;意法半導(dǎo)體(STMicroelectronics,ST)位于Rousset的晶圓廠就是一個(gè)例子,該公司微控制器暨數(shù)位IC事業(yè)群(MDG)策略規(guī)劃總監(jiān)Jean-ClaudeNataf告訴我,Rousset生產(chǎn)線目前滿載產(chǎn)量為每周9,000片晶圓,公司的工程團(tuán)隊(duì)經(jīng)理與晶圓廠的工作人員,以彼此之間能快速互動(dòng)回饋而自豪。
另一個(gè)例子是法國(guó)格勒諾布爾/里昂(Grenoble/Lyon)區(qū)域正快速崛起的影像技術(shù)產(chǎn)業(yè)聚落;市場(chǎng)研究機(jī)構(gòu)YoleDeveloppement分析師PierreCambou解釋,影像技術(shù)的創(chuàng)新通常會(huì)需要制造技術(shù)的演進(jìn),而反過來也能建立一個(gè)技術(shù)驅(qū)動(dòng)的環(huán)境。根據(jù)市場(chǎng)消息,有十幾位Apple的工程師遷移到Grenoble成立了一個(gè)研發(fā)中心,這正是因?yàn)樵搮^(qū)域有影像感測(cè)器專家,也有半導(dǎo)體制造──以ST為首;Canbou表示:“你需要有晶圓廠,”才能形成產(chǎn)業(yè)生態(tài)系統(tǒng)。
以上的例子清楚顯示,并不一定要節(jié)省制造部門的人力;他們證明了在研究人員、設(shè)計(jì)者、工程師、技術(shù)人員、晶圓廠營(yíng)運(yùn)者以及管理階層之間的密切聯(lián)系,能產(chǎn)生具建設(shè)性與創(chuàng)造性的交互作用。
原本認(rèn)為,半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展歷史告訴我們,那些轉(zhuǎn)向“輕晶圓廠”(fab-lite)業(yè)務(wù)模式,以及對(duì)無晶圓廠運(yùn)動(dòng)抱持質(zhì)疑態(tài)度的后進(jìn)者,終究會(huì)被自家晶圓廠的壓得喘不過氣;晶片制造生產(chǎn)線需要持續(xù)的大量投資才能維持現(xiàn)狀,再加上晶片產(chǎn)業(yè)很容易受到高低起伏的市場(chǎng)周期影響。簡(jiǎn)而言之,包括我自己在內(nèi)的產(chǎn)業(yè)觀察者,一直有個(gè)結(jié)論是除了英特爾(Intel)與三星(Samsung),晶圓廠對(duì)現(xiàn)今大多數(shù)半導(dǎo)體廠商來說都是沉重的負(fù)擔(dān)。
在造訪Rousset時(shí),還婉拒了ST要帶我參觀8吋晶圓廠的邀請(qǐng)──有點(diǎn)懶得換上無塵衣,總覺得晶圓廠不就是都長(zhǎng)那樣?但我錯(cuò)了…ST事業(yè)群副總裁暨微控制器部門的總經(jīng)理MichelBuffa做了一次很棒的響導(dǎo),改變了我對(duì)晶圓廠的偏見;我很慶幸我后來還是參觀了晶圓廠。
那時(shí)Buffa問我有沒有看過SMIF…。我沒有,而且我老實(shí)對(duì)他說我不知道那是什么;所謂的SMIF是標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械介面(StandardMechanicalInterface)的縮寫,是一種專為半導(dǎo)體晶圓廠與無塵室環(huán)境開發(fā)的隔離技術(shù),SMIF晶圓盒(pod)能與制造設(shè)備上的自動(dòng)化機(jī)械介面對(duì)接;而因?yàn)镾MIF晶圓盒內(nèi)的8吋晶圓片是保存于經(jīng)過謹(jǐn)慎控制的設(shè)定環(huán)境,ST能讓整個(gè)Rousset晶圓廠保持在class1000的高等級(jí)。
ST的晶圓廠導(dǎo)覽員還解釋該公司如何要求管理人員定期巡視Rousset晶圓廠的生產(chǎn)線;管理者需要親眼看到實(shí)際操作,與作業(yè)員交談,并參與“chantier”會(huì)議──這種會(huì)議參與者包括作業(yè)員、技術(shù)人員以及管理人員,共同討論生產(chǎn)線上以及作業(yè)區(qū)遭遇的問題并解決問題。
當(dāng)然,包括我美國(guó)同事在內(nèi)的矽谷老資格們,可能會(huì)覺得這座晶圓廠的制程技術(shù)太舊,才用150納米到80納米技術(shù),又沒有FinFET、7納米,甚至連14納米都沒有…但這就是Rousset晶圓廠的價(jià)值所在,因?yàn)镾T的業(yè)務(wù)鎖定EEPROM與大量市場(chǎng)的MCU,并非智慧型手機(jī)用的應(yīng)用處理器,MCU的產(chǎn)品生命周期很長(zhǎng)。
晶圓廠有沒有輻射
半導(dǎo)體晶圓廠主要生產(chǎn)的產(chǎn)品是半導(dǎo)體晶體棒或是半導(dǎo)體晶片。常見的有硅片、鎵砷片、銦磷片等等。其主要原料是含有上述元素的化合物,比如二氧化硅、氧化砷等等。至于毒性,要具體分析。原料上,二氧化硅并沒有毒,但是粉末狀的二氧化硅氣溶膠就會(huì)引起塵肺和肺癌,就是有毒的。另外,半導(dǎo)體廠常用的摻雜原料多數(shù)有毒,比如硅烷、砷烷等,或是三甲基鎵等等化合物。它們或直接是劇毒物質(zhì),或其與空氣、水等反應(yīng)后生成的物質(zhì)有毒。另外,傳統(tǒng)生產(chǎn)晶圓的廠,會(huì)對(duì)晶體棒進(jìn)行切割,其加工過程中產(chǎn)生的粉末也是有害的,原理和粉塵差不多。
關(guān)于輻射、據(jù)我了解,半導(dǎo)體晶圓廠的輻射并不大。輻射分為電磁輻射和電離輻射。電磁輻射,通電的電線就會(huì)有輻射,但是一般能量很小,不會(huì)有任何影響。電離輻射,比較危險(xiǎn),但晶圓廠似乎用不到吧。頂多X射線探傷用一下?這個(gè)我不確切知道。
總之,半導(dǎo)體相關(guān)行業(yè)有毒的多,但嚴(yán)格執(zhí)行規(guī)章、正確操作設(shè)備,是完全安全的。一般生產(chǎn)設(shè)備都有嚴(yán)格的防護(hù)措施,廢棄物有后處理工藝。
晶圓廠環(huán)境害員工罹癌?三星否認(rèn)且進(jìn)行研究
根據(jù)業(yè)界消息,三星電子(SamsungElectronics)已委托第三方機(jī)構(gòu),在自家半導(dǎo)體工廠進(jìn)行一項(xiàng)健康與安全性獨(dú)立研究;采取此舉動(dòng)的原因,是有多個(gè)韓國(guó)勞工團(tuán)體發(fā)動(dòng)了大規(guī)模的抗議,要求三星對(duì)因工作而罹患癌癥、甚至死亡的員工與家屬提供賠償。一篇美聯(lián)社的報(bào)導(dǎo)指出,三星所委托進(jìn)行的研究預(yù)計(jì)期間為一年,將由顧問機(jī)構(gòu)EnvironInternational的職業(yè)健康與安全專家所組成的獨(dú)立小組負(fù)責(zé);不過該報(bào)導(dǎo)并未提及研究所需費(fèi)用的相關(guān)信息。
據(jù)了解,數(shù)個(gè)韓國(guó)勞工團(tuán)體在1月份時(shí)就向韓國(guó)政府有關(guān)當(dāng)局提出控訴,指由于三星晶圓廠員工因長(zhǎng)期曝露在廠區(qū)的輻射與苯(benzene)等化學(xué)藥劑中,導(dǎo)致罹患血癌與淋巴癌等疾病。但三星始終撇清責(zé)任,否認(rèn)該公司廠房有使用苯化學(xué)物,也舉出過去的研究澄清,并沒有證據(jù)顯示其職場(chǎng)工作環(huán)境與員工罹病有關(guān)聯(lián)性。
另一篇路透社的報(bào)導(dǎo)則指出,三星部分員工所工作、并導(dǎo)致罹患疾病的芯片制造生產(chǎn)線,后來已經(jīng)改成芯片測(cè)試與LED生產(chǎn)線。
「我們已經(jīng)召集了一個(gè)成員包含國(guó)際知名專家的研究小組,以確保此次研究的客觀與透明化;」報(bào)導(dǎo)引述了三星內(nèi)存部門總經(jīng)理ChoSoo-in的聲明:「我們也會(huì)確保此次研究的程序涵蓋所有與三星半導(dǎo)體制造廠房有關(guān)的安全性議題。」接下來三星也將與來自學(xué)術(shù)研究機(jī)構(gòu)的專家們針對(duì)研究結(jié)果進(jìn)行檢討。
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