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我國半導體用鎳鉑靶材的制備關鍵技術及產業化獲突破

半導體動態 ? 來源:網絡整理 ? 作者:工程師吳畏 ? 2018-08-16 11:52 ? 次閱讀

經過刻苦攻關,云南省國際合作計劃專項——“半導體器件用鎳鉑靶材的制備關鍵技術及產業化”取得重大突破,建立了生產線并取得良好經濟效益,鎳鉑靶材替代了進口產品并遠銷海外。近日,由貴研鉑業股份有限公司承擔的該項目通過驗收,總體評價為優秀。

項目實施過程中,技術團隊開展了鎳鉑靶的真空熔鑄及塑性加工等方面的研究,在鎳鉑靶的微觀結構及擇優取向控制、含脆性相靶材的塑性加工技術、異型靶材的沖壓成型技術;刀具的選型、裝夾工具設計及機加工優化技術;靶材與背板的高可靠性焊接技術;加工過程中產生的邊角料清洗再利用技術、Pt的綠色高效化學提純技術4個方面取得重大突破。該技術團隊先后入選昆明市科技創新團隊,云南省創新團隊培育對象、云南省工人先鋒號。

據悉,項目實施以來,取得了良好經濟社會效益。貴研鉑業股份有限公司建成了年產1000片鎳鉑靶產品示范生產線,形成了長方狀、碗狀和圓形3種外形,5種不同Pt含量的鎳鉑靶材產品,技術性能指標及尺寸精度滿足了用戶使用要求。產品不但實現了替代進口,還出口至美國知名半導體公司。累計銷售各類鎳鉑靶材1300片,實現產值1.05億元,銷售利潤1946.39萬元,其中出口創匯517.2萬美元。2017年,產品獲得第19屆深圳高交會優秀產品獎。期間,技術團隊申請發明專利20件,授權9件,發表論文22篇;引進海歸博士1人,培養在職博士生4人,培養碩士研究生3人。

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