當椅子、杯子也有了“眼睛”和“皮膚”……瘋狂暢想MEMS產業

如果有一天，你坐的椅子，喝水用的杯子也“長”了“眼睛”和“皮膚”，請不要詫異，這可能是MEMS新技術。

4月19日上午，由蘇州工業園區科技和信息化局主辦的科技創享匯系列活動之一“傳感世界，傳感未來——中國新興MEMS產業”在園區舉行。活動上，蘇州敏芯微電子技術有限公司（以下簡稱“蘇州敏芯”）CEO李剛博士為大家帶來新興MEMS產業方面的精彩講座。

李剛博士

李剛博士作為蘇州敏芯集成微型硅麥克風的post-CMOS集成工藝的發明者，有十年超凈間的豐富工作經驗，熟悉CMOS工藝和MEMS工藝，參與過三軸加速度計傳感器、集成浮柵可編程電容式微型硅麥克風、集成多晶硅壓力傳感器、集成慣性開關傳感器等多項MEMS重大項目。

講座上，李剛博士為大家介紹，MEMS技術是用可批量制作的集微型機構、微型傳感元件、微型執行器以及微電信號處理和控制電路為一體的自動化、智能化器件將電子系統與外部世界有機地聯系起來。“這是一個很有想象力的產業。整個產業還處于初期階段，大陸的MEMS產業鏈還未完全形成，產業鏈各個環節仍然有戰略卡位的機會，對中國MEMS初創企業來說，未來仍有足夠的增量市場、市場代替以及細分市場機會；國內有大量落后的4寸及6寸半導體代工廠，比較適合從紅海的半導體產業轉型藍海的MEMS加工，此外，國內大量落后的IC封裝廠也可以轉型做特殊的MEMS封裝；MEMS產業有寬廣的研究范圍，包括RF-MEMS，Bio- MEMS，NEMS，MOEMS，可靠性，封裝，材料；大量的大學及研究所在國家項目的支持下，從事MEMS技術的研究工作；數量眾多的華裔海歸人才帶來MEMS公司的工業經驗，先進技術以及寬闊的視野；龐大的‘物聯網’國家戰略孕育著無窮的增量市場。”

蘇州敏芯于2007年成立，與中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所合作進行MEMS壓力傳感器及微硅麥克風的量產工作，是中國大陸最早成立的MEMS創業公司之一，也是大陸最有影響力的MEMS初創公司，產品涵蓋了硅麥克風，硅壓力傳感器、加速度傳感器、力傳感器，涵蓋了消費類電子、醫療、工業控制以及汽車電子等領域。該公司是目前唯一實現盈利的主戰場在消費類的MEMS初創公司，在大陸MEMS初創公司中客戶資源優質，分別是華潤上華、中芯國際和華天的最大MEMS客戶，還突破了國內一線手機品牌客戶。2017年硅麥克風全球出貨量第五，2018年預計全球出貨量第四。

由蘇州工業園區主導的“第九屆中國國際納米技術產業博覽會（CHINANO Conference & Expo，以下簡稱納博會?）”即將于10月24-26日在蘇州國際博覽中心召開，屆時“傳感器與MEMS技術產業化國際研討會”也將同期召開，歡迎參會參展。