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通過(guò)砷化鎵制程的PN結(jié)測(cè)量建??梢缘贸鯲erilogA模型的正確性和通用性

iIeQ_mwrfnet ? 2018-04-22 11:51 ? 次閱讀

摘要:這兩年,化合物半導(dǎo)體的發(fā)展得到國(guó)家的大力支持,化合物半導(dǎo)體具有高的電子遷移率,高的反向擊穿電壓等特性,在移動(dòng)終端上得到廣泛的應(yīng)用。而創(chuàng)建化合物半導(dǎo)體的器件模型,供集成電路設(shè)計(jì)者用于設(shè)計(jì)復(fù)雜集成電路,是集成電路代工廠的關(guān)鍵技術(shù)之一?;衔锂愘|(zhì)PN結(jié),則是組成HBT的最基本結(jié)構(gòu),有必要系統(tǒng)地分析、創(chuàng)建PN結(jié)的電路仿真模型。經(jīng)過(guò)幾十年的發(fā)展,基于Si制程的PN結(jié)數(shù)學(xué)模型已經(jīng)完善,但缺乏對(duì)化合物半導(dǎo)體的異質(zhì)PN結(jié)模型的相關(guān)著述?;赟i制程的數(shù)學(xué)模型,應(yīng)用到砷化鎵制程,并用Verilog-A實(shí)現(xiàn)電路仿真模型的創(chuàng)建。最后,給出對(duì)應(yīng)模型參數(shù)的提取方法,確保模型DC特性、RF特性的仿真結(jié)果跟實(shí)際測(cè)試數(shù)據(jù)高度一致。通過(guò)對(duì)砷化鎵制程的PN結(jié)測(cè)量、建模,可以得出該Verilog-A模型的正確性、通用性。

引言

近年來(lái),我國(guó)大力發(fā)展化合物半導(dǎo)體的制造技術(shù)。跟Si制程的BJT、CMOS相比,由于GaAs制程的HBT pHEMT具有高的電子遷移速率,高的擊穿電壓等特性,被廣泛用來(lái)設(shè)計(jì)移動(dòng)終端的PA、LNA。

PN結(jié)是半導(dǎo)體器件最基本的結(jié)構(gòu),是組成晶體管、場(chǎng)效應(yīng)管等半導(dǎo)體器件的基本單元。因此,對(duì)化合物半導(dǎo)體的異質(zhì)PN結(jié)的電性能特性的測(cè)量和建模就尤為重要。

本文的從PN二極管的物理結(jié)構(gòu)、電特性測(cè)量、器件模型及其參數(shù)優(yōu)化,最后到模型的比對(duì)展開(kāi),論述一個(gè)半導(dǎo)體器件建模的整個(gè)過(guò)程。

器件的數(shù)學(xué)模型,科學(xué)家們做了大量的研究,同時(shí)還在不斷維護(hù)升級(jí)器件模型,使器件模型與不斷升級(jí)的半導(dǎo)體工藝相匹配。不同的半導(dǎo)體制程,比如Si、GaAs、GaN等,PN結(jié)的模型僅僅是模型參數(shù)上的差別。因此,在模型參數(shù)的提取上,通常的做法是通過(guò)建模軟件來(lái)調(diào)整參數(shù),使得仿真曲線和測(cè)量曲線重合??紤]到二極管的數(shù)學(xué)模型的相對(duì)比較簡(jiǎn)單,本文將采用建模上的常規(guī)做法提取參數(shù),順便簡(jiǎn)單介紹數(shù)學(xué)分析的提取手段。

最后,是器件的數(shù)學(xué)模型到電路仿真模型的實(shí)現(xiàn),本文采用語(yǔ)法靈活的Verilog-A語(yǔ)言來(lái)描述。并總結(jié)二極管建模過(guò)程中所需要經(jīng)歷的一般步驟。

1、PN結(jié)電性能測(cè)量

1.1DC特性

使用半導(dǎo)體分析儀,測(cè)量PN結(jié)的正向和反向DC特性。

通過(guò)砷化鎵制程的PN結(jié)測(cè)量建模可以得出VerilogA模型的正確性和通用性

圖1、二極管的DC IV曲線

1.2 RF特性

使用半導(dǎo)體分析儀和矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀組成的高頻測(cè)量環(huán)境,測(cè)試CV曲線。

矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀設(shè)置固定頻率110MHz,半導(dǎo)體分析儀掃偏壓-2~1.45V;得到一組S_vs_V數(shù)據(jù),轉(zhuǎn)換成Y_vs_V,再經(jīng)過(guò)數(shù)學(xué)變換: Zd=-2/(Y12+Y21),得到Zd_vs_V阻抗-偏壓曲線,如下:

通過(guò)砷化鎵制程的PN結(jié)測(cè)量建??梢缘贸鯲erilogA模型的正確性和通用性

圖2、二極管的Zd_vs_V/阻抗-偏壓曲線

從圖(2)可以得出,Zd的實(shí)部出現(xiàn)負(fù)值,等效為一個(gè)負(fù)電阻,這表明該P(yáng)N結(jié)反向偏壓的時(shí)候,在勢(shì)壘區(qū)發(fā)生量子隧穿效應(yīng)[1],即電子會(huì)越過(guò)勢(shì)壘形成負(fù)電阻。

在結(jié)電容提取上,由于矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀的頻率為110MHz,Zd的虛部近似為純電容,因此有:imag(Zd)=-1/(2*PI*freq*C),經(jīng)過(guò)換算可以得到C_vs_V曲線,作圖如下:

通過(guò)砷化鎵制程的PN結(jié)測(cè)量建??梢缘贸鯲erilogA模型的正確性和通用性

圖3、二極管的CV曲線,對(duì)數(shù)坐標(biāo)表示

2、數(shù)學(xué)模型

通過(guò)砷化鎵制程的PN結(jié)測(cè)量建??梢缘贸鯲erilogA模型的正確性和通用性

圖4、小信號(hào)等效電路

其中,DIODE為內(nèi)部本質(zhì)二極管(Intrinsic diode);二極管的結(jié)電容由Cs、Cd組成。Ls、Rs為引線的寄生電感、寄生電阻。另,根據(jù)DUT的測(cè)試結(jié)構(gòu),二極管還存在一組對(duì)地電容Cp,上述變換過(guò)程得知,測(cè)量的RF CV曲線是由π型網(wǎng)絡(luò)的Y12,Y21轉(zhuǎn)換得來(lái)的,這組對(duì)地電容Cp對(duì)CV曲線不產(chǎn)生影響。

2.1 DC數(shù)學(xué)模型[2]

Id=:

通過(guò)砷化鎵制程的PN結(jié)測(cè)量建??梢缘贸鯲erilogA模型的正確性和通用性

其中:

Is: saturation current(leakage current);N: emission coefficient(1≤N≤2);BV: Breakdown voltage;$vt=K * T/q;Ibv=Is * BV / $vt;

2.2 RF數(shù)學(xué)模型[2]

關(guān)于結(jié)電容的模型,采用電量Q來(lái)描述。

當(dāng)Vd<Fc*Vj時(shí):

通過(guò)砷化鎵制程的PN結(jié)測(cè)量建??梢缘贸鯲erilogA模型的正確性和通用性

當(dāng)Vd≥Fc*Vj時(shí):

通過(guò)砷化鎵制程的PN結(jié)測(cè)量建??梢缘贸鯲erilogA模型的正確性和通用性

其中:

Vj: Junction potentialM: Grading coefFc: Forward bias junct parmFcp = Fc * Vj;

通過(guò)砷化鎵制程的PN結(jié)測(cè)量建??梢缘贸鯲erilogA模型的正確性和通用性

3、模型參數(shù)提取

DC參數(shù)提取

二極管開(kāi)啟電壓附近,對(duì)數(shù)坐標(biāo)表示的IV曲線是線性的,在這個(gè)線性區(qū),Id的最后兩項(xiàng)Is和Vd*Gmin對(duì)Id的貢獻(xiàn)忽略不計(jì),如圖(4);因此,DC模型可以近似為:

兩邊取自然對(duì)數(shù),則有:

ln(Id)=ln(Is)+Vd/(N*$vt)

得到一條新的曲線,從線性區(qū)的斜率可以提取到N,把線性區(qū)延伸到Vd=0的軸,可以提取Is。

接著,在大電流區(qū)域,做Rs的提取。

而建模上的做法是調(diào)整模型參數(shù)值,使得模型曲線和測(cè)量曲線重疊。如圖:

通過(guò)砷化鎵制程的PN結(jié)測(cè)量建模可以得出VerilogA模型的正確性和通用性

通過(guò)砷化鎵制程的PN結(jié)測(cè)量建??梢缘贸鯲erilogA模型的正確性和通用性

通過(guò)砷化鎵制程的PN結(jié)測(cè)量建??梢缘贸鯲erilogA模型的正確性和通用性

圖5、參數(shù)提取

4、電路仿真模型創(chuàng)建

Verilog-A主要是描述組成電路網(wǎng)絡(luò)的節(jié)點(diǎn)以及分支的電壓和電流之間關(guān)系。圖(4)的等效電路模型,要實(shí)現(xiàn)Verilog-A描述,除了本質(zhì)二極管外,還需解決電阻,電感,電容元件。電阻性元件:V=R*I;電感性元件:V=L*ddt(I);電容性元件:I=C*ddt(V)。前兩種是寄生參數(shù)的等效元件,為理想元件。但二極管的節(jié)電容C不再是一個(gè)常量,而是偏置電壓Vd的函數(shù),因此,要用電量Q來(lái)表示,即:I=ddt(Q)。

且有:

Q=Qs+Qd;

其中:

Qd由渡越時(shí)間參數(shù)決定:Qd=Tt * Id。從PN結(jié)的阻抗特性上看,渡越時(shí)間參數(shù)Tt貢獻(xiàn)了一個(gè)負(fù)電阻,即PN結(jié)反向偏壓的時(shí)候,電子的量子隧穿效應(yīng)引起的[1]。

當(dāng)Vd<Fc*Vj時(shí):

通過(guò)砷化鎵制程的PN結(jié)測(cè)量建??梢缘贸鯲erilogA模型的正確性和通用性

上式,令

則,v=Vj*(1-u),有,=>

通過(guò)砷化鎵制程的PN結(jié)測(cè)量建??梢缘贸鯲erilogA模型的正確性和通用性

當(dāng)Vd≥Fc*Vj時(shí):

通過(guò)砷化鎵制程的PN結(jié)測(cè)量建??梢缘贸鯲erilogA模型的正確性和通用性

上式積分部分,令

則,? ,有??? ,

通過(guò)砷化鎵制程的PN結(jié)測(cè)量建??梢缘贸鯲erilogA模型的正確性和通用性

即:

通過(guò)砷化鎵制程的PN結(jié)測(cè)量建??梢缘贸鯲erilogA模型的正確性和通用性

根據(jù)上述公式,二極管的Verilog-A模型描述如下:

`include "disciplines.vams"`include "constants.vams"module PN_DIODE(anode, cathode); inout anode, cathode; electrical anode, cathode; parameter real Area = 2; //Area scaling factor parameter real Is = 1.2e-15; //Saturation current [A] parameter real Rs = 0.66; //Series resistance [Ohm] parameter real Ls = 170e-12; // Series inductance[H] parameter real N = 1.80; //Ideality parameter real Tt = 1.2e-10; //Transit time [s] parameter real Cjo = 2.3e-14; //Junction capacitance [F] parameter real Vj = 1.06; //Junction potential [v] parameter real M = 0.336; //Grading coef parameter real Fc = 0.99; //Forward bias junct parm parameter real BV = 25.45; //Breakdown Voltage parameter real Gmin = 1.4e-9; //minimum junction conductance real Vd, Id, Qd, Ibv; real f1, f2, f3, Fcp; electrical in1, in2; analog begin f1 = (Vj/(1 - M))*(1 - pow((1 - Fc), (1 - M))); f2 = pow((1 - Fc), (1 + M)); f3 = 1 - Fc * (1 + M); Fcp = Fc * Vj; Ibv = Is * BV / $vt; Vd = V(in1, cathode); Id = I(in1, cathode); // Intrinsic diode if (Vd < -5 * N * $vt) begin???????????????????? if (Vd == -BV)???????????????????? I(in1, cathode) <+ -Area * Ibv;???????????????????? else if (Vd > -BV) I(in1, cathode) <+ -Area * Is + Vd * Gmin;??????????????????????????? else??????????????????????????? I(in1, cathode) <+ -Area * Is * (exp( -(Vd + BV) / $vt) - 1 + BV / $vt);????????????? end????????????? else????????????? I(in1, cathode) <+ Area * Is * (exp(Vd? / (N * $vt)) - 1) + Vd * Gmin;????????????? // Capacitance (junction and diffusion)????????????? if (Vd <= Fcp)???????????????????? Qd = Tt * Id + Area * Cjo * Vj * (1 - pow((1 - Vd / Vj), (1 - M)))/(1 - M);????????????? else???????????????????? Qd = Tt * Id + Area * Cjo * (f1 + (1 / f2) * (f3 * (Vd - Fcp) + (0.5* M / Vj) * (Vd + Fcp) * (Vd - Fcp)));???????????????????????????????????????? I(in1, cathode) <+ ddt(Qd);???????????????????? V(in2, in1) <+ I(in2, in1) * Rs;???????????????????? V(anode, in2) <+ Ls * ddt(I(anode,in2));??????????? endendmodule

5、總結(jié)

本文中論述的是二極管的小信號(hào)模型,適用于半導(dǎo)體材料組成的PN結(jié)以及金屬半導(dǎo)體組成的肖特基PN結(jié)。另外,論述的二極管的模型參數(shù)適用于GaAs HBT制程的Base和Collector材料組成的異質(zhì)結(jié)。

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原文標(biāo)題:基于砷化鎵制程的異質(zhì)結(jié)器件建模實(shí)踐

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